一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法技术

本发明专利技术提供一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法，所述金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法包括以下步骤：S1、将金属材料表面钝化膜试样固定在双束显微镜系统的样品台上，采用电子束沉积第一铂保护层；S2、在第一铂保护层上采用离子束沉积第二铂保护层；S3、采用离子束在第二铂保护层的一侧挖槽切取截面；S4、对截面进行离子束抛光；S5、利用电子束成像对钝化膜进行测试与表征。本发明专利技术所述的金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法，对于纳米级的金属材料表面钝化膜的膜层厚度，一是可以直观进行观察，二是测试过程较简单，三是误差小，能够准确、有效的对金属材料表面钝化膜实现保护、分辨和测量。分辨和测量。分辨和测量。

【技术实现步骤摘要】
一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法


[0001]本专利技术涉及金属材料表面钝化膜测试领域，具体而言，涉及一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法。

技术介绍

[0002]目前对于金属表面钝化膜层测试表征主要是依据金属材料覆盖层的测试标准《GB/T31563金属覆盖层厚度测量扫描电镜法》和《GB/T6462金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法》。GB/T31563主要是利用扫描电子显微镜对金相制样的截面进行厚度的观察和测试。GB/T6462则主要是利用金相显微镜对金相制样的截面进行观察和测量。所有的测试方法均是基于对表面覆盖层试样取截面进行金相制样，而试样在金相制备时会出现磨抛导致覆盖层的破损、脱落、倾斜和部分区域的掩盖。同时，两个现行标准主要应用于金属材料表面较厚(μm及以上尺度)覆盖层的检测与分析，对于纳米级钝化膜，由于其膜层界面难以清晰分辨而无法进行有效的测试与表征。
[0003]近年来，X射线光电子能谱法是纳米级钝化膜测试与分析的主要手段，是通过离子溅射功能对表面钝化膜进行溅射，以溅射速率和溅射时间来推算膜层厚度。然而不同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法，其特征在于，所述金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法包括以下步骤：S1、将金属材料表面纳米级钝化膜试样固定在双束显微镜系统的样品台上，采用电子束沉积第一铂保护层；S2、在所述第一铂保护层上采用离子束沉积第二铂保护层；S3、采用离子束在所述第二铂保护层的一侧挖槽切取截面；S4、对所述截面进行离子束抛光；S5、利用电子束成像对钝化膜进行测试与表征。2.根据权利要求1所述的一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法，其特征在于，在步骤S1中，所述电子束沉积第一铂保护层的工艺参数为：电压为2～5kV，束流为1.5～3.0nA，选定的区域为10
×2×
(0.1～0.5)μm，沉积时间为20～50s。3.根据权利要求1所述的一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法，其特征在于，在步骤S2中，所述离子束沉积第二铂保护层的工艺参数为：电压为20～30kV，束流为0.3～0.6nA，选定的区域为10
×2×
(2～5)μm，沉积时间为2～5min。4.根据权利要求1所述的一种金属材料表面纳米级钝化膜的测试表征方法，其特征在于，在步骤S3中，在所述第二铂...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓，陈洁明，潘恒沛，张先锋，刘岩，高灵清，陈庆垒，
申请(专利权)人：洛阳船舶材料研究所中国船舶集团有限公司第七二五研究所，
类型：发明
国别省市：