一种镀膜材料蒸发装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公布了一种镀膜材料蒸发装置，包括底板、固定座、镀膜坩埚、储存皿和密封板，底板的顶部右侧固定安装有电极以及设置在电极两侧的偏转磁极，固定座固定连接在底板的顶部并位于电极的左侧，镀膜坩埚通过底部固接的转动块转动连接在固定座的顶部，且镀膜坩埚的顶部圆周均匀开设有六组放置腔，储存皿放置在对应的放置腔内，其中五个储存皿的顶部均设有密封板；本实用新型专利技术的有益效果是，在对其中一个储存皿内的镀膜药剂进行蒸发时，由于其它的储存皿顶部均被设置的密封板堵住，从而有效的避免了蒸发的镀膜药剂对其的镀膜药剂造成污染。染。染。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜材料蒸发装置


[0001]本技术涉及一种蒸发装置，具体涉及一种镀膜材料蒸发装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，电子蒸发其原理是镀膜机内通过电极产生电子束打到镀膜药剂上从而使镀膜药剂蒸发附着在被镀膜产品上，在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得很大的动能轰击到的蒸发材料上，把动能转化成热使蒸发材料加热气化，而实现电子束蒸发镀膜。
[0003]如公开号为CN215103494U的专利一种真空镀膜蒸发装置，包括工作台，所述工作台顶部设有旋转台，所述旋转台顶部设有镀膜坩埚，且所述工作台顶部设有电极本体，所述镀膜坩埚开设有若干个放置腔，若干个所述放置腔内均设有储存皿，若干个所述储存皿外壁均固定连接有把手，且所述镀膜坩埚开设有与所述把手相对应的避让槽；本技术中通过设置的多个储存皿分别位于多个放置腔内，储存皿能够盛放镀膜药剂，由于放置腔与避让槽连通，并且避让槽的宽度小于放置腔的直径，能够使储存皿稳定的放置在放置腔内部，储存皿上的把手位于避让槽内，可以通过把手直接的操作储存皿，便于对储存皿进行处理。
[0004]该蒸发装置在使用过程中，如果在多个储存皿中放置不同的镀膜药剂，并对其中一个储存皿内的镀膜药剂进行材料蒸发的时候会对其他储存皿内的镀膜药剂产生污染，从而使得被污染的镀膜药剂蒸发后在零件表面形成的膜中含有其他材料的杂质，影响了镀膜的效果。
[0005]因此，有必要提出一种镀膜材料蒸发装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]为解决上述问题，本技术提供了一种镀膜材料蒸发装置，本技术是通过以下技术方案来实现的。
[0007]一种镀膜材料蒸发装置，包括底板、固定座、镀膜坩埚、储存皿和密封板，所述底板的顶部右侧固定安装有电极以及设置在电极两侧的偏转磁极，所述固定座固定连接在底板的顶部并位于电极的左侧，所述镀膜坩埚通过底部固接的转动块转动连接在固定座的顶部，且镀膜坩埚的顶部圆周均匀开设有六组放置腔，所述储存皿放置在对应的放置腔内，其中五个所述储存皿的顶部均设有密封板。
[0008]优选的，所述固定座内的顶部固定安装有电机，且电机的输出轴头部贯穿到固定座的顶部并固接有主动齿轮，所述转动块的外表面上固接有与主动齿轮啮合的从动齿轮。
[0009]优选的，所述固定座的顶部圆周均匀固接有复数个支撑柱，且支撑柱的顶部滚动连接有滚珠，所述镀膜坩埚的底部开设有与对应滚珠滚动连接的环形槽。
[0010]优选的，各所述放置腔的两侧内壁上对称开设有通槽，所述通槽内均固定连接有
弹簧，所述弹簧的另一端固定连接有与对应通槽滑动连接的卡块，所述卡块的自由端在弹簧的作用下抵接在对应的储存皿外壁上。
[0011]优选的，所述固定座的顶部中心处固接有竖杆，所述镀膜坩埚与转动块上共同开设有一个供竖杆穿设的通孔，所述竖杆的顶端固定连接有圆板，各所述密封板的一侧均固接有支杆，所述支杆的自由端均通过转动连接的铰接座与圆板的外侧壁固定连接。
[0012]优选的，剩余一个所述储存皿的顶部设有弧形挡板，且弧形挡板的一侧通过连接杆与圆板的外侧壁固定连接。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014](1)本镀膜材料蒸发装置，在对其中一个储存皿内的镀膜药剂进行蒸发时，由于其它的储存皿顶部均被设置的密封板堵住，从而有效的避免了蒸发的镀膜药剂对其的镀膜药剂造成污染，当其中一个储存皿内的镀膜药剂蒸发完后，启动电机转动，并通过相互啮合的主动齿轮与从动齿轮带动镀膜坩埚转动，从而便于对下一个储存皿内的镀膜药剂进行蒸发。
[0015](2)本镀膜材料蒸发装置，通过在固定座上设置的支撑柱、滚珠与镀膜坩埚底部开设的环形槽配合可加强镀膜坩埚在使用过程中的稳定效。
[0016](3)本镀膜材料蒸发装置，通过设置的弹簧与卡块便于对放置在放置腔内的储存皿具有较好的固定作用，同时将密封板设为转动连接可便于起到密封效果的同时便于将储存皿从放置腔内取出进行处理。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1：为现有技术的结构示意图；
[0019]图2：本技术所述整体的结构示意图；
[0020]图3：本技术所述前侧剖视图；
[0021]图4：本技术所述固定座与密封板的结构示意图；
[0022]图5：本技术所述镀膜坩埚的结构示意图一；
[0023]图6：本技术所述镀膜坩埚的结构示意图二。
[0024]附图标记如下：
[0025]1、底板；11、电极；12、偏转磁极；
[0026]2、固定座；21、电机；22、主动齿轮；23、支撑柱；24、滚珠；25、竖杆；
[0027]3、镀膜坩埚；31、转动块；32、放置腔；33、从动齿轮；34、环形槽；35、通槽；36、弹簧；37、卡块；38、通孔；
[0028]4、储存皿；
[0029]5、密封板；51、圆板；52、支杆；53、铰接座；54、弧形挡板；55、连接杆。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]如图2
‑
6所示，本技术提供以下实施例：
[0032]实施例一
[0033]一种镀膜材料蒸发装置，包括底板1、固定座2、镀膜坩埚3、储存皿4和密封板5，底板1的顶部右侧固定安装有电极11以及设置在电极11两侧的偏转磁极12，固定座2固定连接在底板1的顶部并位于电极11的左侧，镀膜坩埚3通过底部固接的转动块31转动连接在固定座2的顶部，且镀膜坩埚3的顶部圆周均匀开设有六组放置腔32，储存皿4放置在对应的放置腔32内，其中五个储存皿4的顶部均设有密封板5。
[0034]进一步的，固定座2内的顶部固定安装有电机21，且电机21的输出轴头部贯穿到固定座2的顶部并固接有主动齿轮22，转动块31的外表面上固接有与主动齿轮22啮合的从动齿轮33。当其中一个储存皿4内的镀膜药剂蒸发完后，启动电机21转动，并通过相互啮合的主动齿轮22与从动齿轮33带动镀膜坩埚3转动，从而便于对下一个储存皿4内的镀膜药剂进行蒸发。
[0035]进一步的，各放置腔32的两侧内壁上对称开设有通槽35，通槽35内均固定连接有弹簧36，弹簧36的另一端固定连接有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜材料蒸发装置，其特征在于：包括底板(1)、固定座(2)、镀膜坩埚(3)、储存皿(4)和密封板(5)，所述底板(1)的顶部右侧固定安装有电极(11)以及设置在电极(11)两侧的偏转磁极(12)，所述固定座(2)固定连接在底板(1)的顶部并位于电极(11)的左侧，所述镀膜坩埚(3)通过底部固接的转动块(31)转动连接在固定座(2)的顶部，且镀膜坩埚(3)的顶部圆周均匀开设有六组放置腔(32)，所述储存皿(4)放置在对应的放置腔(32)内，其中五个所述储存皿(4)的顶部均设有密封板(5)。2.根据权利要求1所述一种镀膜材料蒸发装置，其特征在于：所述固定座(2)内的顶部固定安装有电机(21)，且电机(21)的输出轴头部贯穿到固定座(2)的顶部并固接有主动齿轮(22)，所述转动块(31)的外表面上固接有与主动齿轮(22)啮合的从动齿轮(33)。3.根据权利要求1所述一种镀膜材料蒸发装置，其特征在于：所述固定座(2)的顶部圆周均匀固接有复数个支撑柱(23)，且支撑柱(23)的顶部滚动连接有滚珠(24)，所述镀膜坩埚(...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙连仲，
申请(专利权)人：沈阳美誉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：