一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底制造技术

技术编号:38215744 阅读:10 留言:0更新日期:2023-07-25 11:24
本实用新型专利技术公开了一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,属于金刚石合成装置技术领域,其中,包括基座,所述基座上表面开设有定位槽,所述定位槽共有多个,均开设在基座上表面,所述基座上表面搭接有衬底主体,所述衬底主体表面设置有限位槽,所述限位槽共有多个,该利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,通过设置定位槽和限位槽,在对单晶金刚石进行测温时,人们将单晶金刚石放置在限位槽内,避免测温过程中偏移,在定位槽和限位槽的作用下,增强了该装置的稳定性,通过设置把手,在对该装置进行使用时,人们可用工具夹持把手,进而将衬底主体移出进行清洗和更换,在把手的作用下,更便于人们将衬底主体移出进行清洗和更换。换。换。

【技术实现步骤摘要】
一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底


[0001]本技术涉及金刚石合成装置
,更具体地说,它涉及一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底。

技术介绍

[0002]金刚石是一种性能优越的矿物材料,在很多领域都有广泛的应用,化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一,通过解离含碳的混合气体,活性炭原子在衬底(晶种)上沉积形成金刚石,化学气相沉积法合成单晶金刚石工艺中,温度是晶体合成重要影响因素,在晶体的合成过程中,衬底表面的温度无法直接测得,常使用红外测温设备进行非接触式的温度测量,被测物的红外放射率直接影响了测温的结果,现有的衬底不便于对单晶金刚石进行限位,且不便于更换清洗。

技术实现思路

[0003](1)要解决的技术问题
[0004]针对现有技术存在的不足,本技术的目的在于提供一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,其具有便于限位和便于更换清洗的特点。
[0005](2)技术方案
[0006]为实现上述目的,本技术提供了一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,包括基座,所述基座上表面开设有定位槽,所述定位槽共有多个,均开设在基座上表面,所述基座上表面搭接有衬底主体,所述衬底主体表面设置有限位槽,所述限位槽共有多个,均开设在衬底主体表面。
[0007]使用本技术方案的一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底时,人们将限位槽对准定位槽,使衬底主体搭接在基座上表面,人们将单晶金刚石放置在限位槽内,避免测温过程中发生偏移。
[0008]进一步地,所述限位槽设置在定位槽内,所述衬底主体上表面固定连接有把手。
[0009]进一步地,所述把手共有两个,且对称固定连接在衬底主体上表面。
[0010](3)有益效果
[0011]综上所述,本技术具有以下有益效果:
[0012]1、该利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,通过设置定位槽和限位槽,在对单晶金刚石进行测温时,人们将单晶金刚石放置在限位槽内,避免测温过程中偏移,在定位槽和限位槽的作用下,增强了该装置的稳定性;
[0013]2、该利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,通过设置把手,在对该装置进行使用时,人们可用工具夹持把手,进而将衬底主体移出进行清洗和更换,在把手的作用下,更便于人们将衬底主体移出进行清洗和更换。
附图说明
[0014]为了更清楚的说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术中描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一种实施方式,对于本领域普通技术人员来说,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术立体结构示意图。
[0016]附图中的标记为:
[0017]1、基座;2、定位槽;3、衬底主体;4、限位槽;5、把手。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面对本技术具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述,以进一步阐述本技术,显然,所描述的具体实施方式仅仅是本技术的一部分实施方式,而不是全部的样式。
[0019]实施例:
[0020]以下结合附图1对本技术作进一步详细说明。
[0021]请参阅图1,本技术提供一种技术方案:一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,包括基座1,基座1上表面开设有定位槽2,定位槽2共有多个,均开设在基座1上表面,基座1上表面搭接有衬底主体3,衬底主体3表面设置有限位槽4,限位槽4共有多个,均开设在衬底主体3表面。
[0022]通过采用上述技术方案,通过设置定位槽2和限位槽4,在对单晶金刚石进行测温时,人们将单晶金刚石放置在限位槽4内,避免测温过程中偏移,在定位槽2和限位槽4的作用下,增强了该装置的稳定性。
[0023]具体的,限位槽4设置在定位槽2内,衬底主体3上表面固定连接有把手5。
[0024]通过采用上述技术方案,通过设置把手5,在对该装置进行使用时,人们可用工具夹持把手5,进而将衬底主体3移出进行清洗和更换,在把手5的作用下,更便于人们将衬底主体3移出进行清洗和更换。
[0025]具体的,把手5共有两个,且对称固定连接在衬底主体3上表面。
[0026]本技术的工作原理为:
[0027]首先人们将基座1移动至指定的位置,然后人们将限位槽4对准定位槽2,使衬底主体3搭接在基座1上表面,人们将单晶金刚石放置在限位槽4内,避免测温过程中发生偏移,在对衬底主体3进行更换时,人们用工具夹持把手5,进而将衬底主体3移出进行清洗和更换。
[0028]本具体实施例仅仅是对本技术的解释,其并不是对本技术的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)上表面开设有定位槽(2),所述定位槽(2)共有多个,均开设在基座(1)上表面,所述基座(1)上表面搭接有衬底主体(3),所述衬底主体(3)表面设置有限位槽(4),所述限位槽(4)共有多个,均开设在衬底主体(3)表面。2....

【专利技术属性】
技术研发人员:张存升邵增明沈磊韩乾飞郑明欣
申请(专利权)人:河南宝晶新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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