一种硫系玻璃表面减反射结构及其制备方法技术

本发明专利技术公开的硫系玻璃表面减反射结构，包括硫系玻璃及设置在硫系玻璃内呈无序排列的多个减反射微结构，每个减反射微结构为上端大、下端小的类圆锥孔，每个减反射微结构的上端设于硫系玻璃的表面，每个减反射微结构的下端伸入硫系玻璃内。本发明专利技术减反射结构的减反射效果优越，可广泛应用于夜视仪、红外热成像仪、红外透镜仪等仪器设备。本发明专利技术方法的制备效率高，制备的减反射结构的深纵比高，减反效果好，且在较宽的光谱范围及较广的入射角下均能表现出良好的减反射效果，并具有更高的机械稳定性和更好的耐久性，此外，该方法制备的减反射微结构的形状、大小和质量的一致性及均匀性高，且操作简单，可大幅降低硫系玻璃表面减反射结构的生产成本。射结构的生产成本。射结构的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硫系玻璃表面减反射结构及其制备方法


[0001]本专利技术涉及硫系玻璃表面减反射微结构的制备
，具体是一种硫系玻璃表面减反射结构及其制备方法。

技术介绍

[0002]硫系玻璃是以硫化物、硒化物和锑化物为主要成分的无机玻璃，在中远红外波段具有优良的透过特性，是一种优良的红外透射材料。红外透射元件可制成红外成像仪用透镜、红外探测器窗口、高速飞行器的头盔、整流罩等，在军事、医疗、环境科学等领域具有重要的应用价值和发展前景，已成为国内外关注和广泛研究的热点。但是硫系玻璃折射率非常高，导致其表面反射率特别大，为了能够使硫系玻璃更好地发挥自身优势，必须通过有效的方法来降低其表面的反射率。
[0003]目前，降低反射率的途径主要分为两种，即利用减反射镀膜与减反射结构降低反射率。减反射镀膜是在基底表面沉积的一层或多层薄膜涂层，利用减反射镀膜降低反射率的方法即镀膜的方法，为目前最常采用的方法。但是由于硫系玻璃的折射率极大，采用镀膜的方式降低反射率，对入射波长和入射角、镀膜材料选择、薄膜厚度控制等均有很高的要求，且常规的镀膜材料与硫系玻璃的物化特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硫系玻璃表面减反射结构，其特征在于，包括硫系玻璃及设置在硫系玻璃内的多个减反射微结构，所述的多个减反射微结构在所述的硫系玻璃内呈无序排列，每个所述的减反射微结构为上端大、下端小的类圆锥孔，每个所述的减反射微结构的上端设于所述的硫系玻璃的表面，每个所述的减反射微结构的下端伸入所述的硫系玻璃内。2.根据权利要求1所述的硫系玻璃表面减反射结构，其特征在于，相邻的两个所述的减反射微结构之间的距离为3～4μm。3.根据权利要求1所述的硫系玻璃表面减反射结构，其特征在于，所述的硫系玻璃为As
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Se、Ge
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Sb
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Se、Ge
‑
As
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S或Ge
‑
As
‑
Se硫系玻璃。4.权利要求1～3中任一项所述的硫系玻璃表面减反射结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)搭建飞秒激光制备系统搭建一飞秒激光制备系统，该飞秒激光制备系统包括飞秒激光器、半波片、棱镜、衰减器、电子快门、第一分束器、功率计、反射镜、透镜、CCD相机、第二分束器、LED灯、物镜、两片石英片、可旋转的支架、载物台、三维移动平台和计算机，所述的飞秒激光器、半波片、棱镜、衰减器、电子快门、第一分束器、反射镜、第二分束器、物镜和两片石英片沿所述的飞秒激光器出射的飞秒激光的走向依次设置，所述的功率计与所述的第一分束器相连，所述的CCD相机设于所述的反射镜的正上方，所述的透镜设于所述的CCD相机与所述的反射镜之间，所述的LED灯设于所述的第二分束器的一侧，所述的电子快门用于控制飞秒激光的曝光时间，所述的载物台固定在所述的三维移动平台上，所述的三维移动平台可前后、左右和上下移动，所述的两片石英片的厚度不同，所述的两片石英片固定在所述的支架上并悬设在所述的载物台的上方，所述的支架的旋转和所述的三维移动平台的移动由所述的计算机控制；2)将洗净后的待加工的硫系玻璃样品固定在所述的载物台上，使硫系玻璃样品的表面保持水平，通过所述的计算机调节所述的三维移动平台的位置，直到从所述的CCD相机中能清楚地看到待加工的硫系玻璃样品的表面，并确定飞秒激光器的参数...

【专利技术属性】
技术研发人员：张培晴，李敏，李娆，闫孟飞，王乐唯，宋宝安，林常规，张巍，戴世勋，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：