ICP分析装置和ICP分析方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及ICP分析装置和ICP分析方法，该ICP分析装置在ICP分析中能够自动地执行从装置的校正到试样分析，具有：混合部，其具有两个入口端和一个出口端；共用流路，其一端与ICP部连接，另一端与出口端连接；主流路，其一端与入口端中的一个连接；自动采样器，其与主流路的另一端连接；流路切换部，其将一个出口与多个入口中的任一个连接；副流路，其一端与混合部的其余入口端连接，另一端与出口连接；校正液配管，其一端插入到校正液容器中，另一端与入口中的一个连接；内标准配管，其一端插入到内标元素溶液容器中，另一端与另一入口连接；一台蠕动泵，其输送主流路和副流路内的液体；以及控制部，其控制自动采样器和流路切换部。其控制自动采样器和流路切换部。其控制自动采样器和流路切换部。

【技术实现步骤摘要】
ICP分析装置和ICP分析方法


[0001]本专利技术涉及ICP(Inductively Coupled Plasma：电感耦合等离子体)分析装置和ICP分析方法。

技术介绍

[0002]在ICP质量分析装置中，将液态的试样雾化后向电感耦合等离子体焰中导入，使该试样中的目标元素离子化，将生成的离子用于质量分析，由此进行该试样的定性分析、定量分析。另外，在ICP发光分光分析装置中，将液态的试样雾化后向电感耦合等离子体焰中导入，对该试样中的目标元素被加热激发而产生的光进行分光分析，由此进行该试样的定性分析、定量分析。在此，将ICP质量分析装置和ICP发光分光分析装置等利用电感耦合等离子体的分析装置统称为ICP分析装置，将使用了这些装置的分析统称为ICP分析。
[0003]在ICP分析装置中，由于试样所含有的目标元素以外的其他成分的影响，使试样的粘性和挥发性等物理性质变化，由此使试样的送液、喷雾的状况变化，而对分析结果造成影响(将这样的现象称为物理干涉)。为了修正这样的物理干涉带来的影响，在利用ICP分析装置的定量分析中，将以预定的浓度含有预定的内标元素的内标元素溶液以预定量添加到液态的试样中，然后进行该试样的ICP分析，基于目标元素和内标元素的检测强度比求出该试样中的目标元素的浓度。然而，在同时分析多个试样的情况下，通过手工作业向各试样中添加一定量的内标元素溶液是烦杂的。因此开发了具备向试样中自动地添加内标元素溶液的机构的ICP分析装置(例如参照专利文献1)。
[0004]这样的具备内标元素溶液的自动添加机构的ICP分析装置具备：主流路，其用于采集液态的试样；副流路，其用于采集内标元素溶液；以及共用流路，其经由由T字管等构成的混合部与所述主流路和所述副流路连结。经由所述主流路采集的液态的试样和经由所述副流路采集的内标元素溶液在所述混合部汇合而混合，经由所述共用流路向用于形成等离子体焰的焰炬(等离子体焰炬)导入。
[0005]在具有上述结构的ICP分析装置中，在所述主流路和所述副流路配设有用于压送构成各流路的软质管内的液体的蠕动泵。蠕动泵通过伴随着转子的旋转而蠕动地挤压软质管，从而压送该管内的液体，在其结构上，送液量周期性地变化。因此，在所述主流路和所述副流路各设置一台蠕动泵的情况下，由于各蠕动泵中的转子的旋转周期的偏差，使导入到等离子体焰炬的试样液体与内标元素溶液的混合比产生波动，使定量值产生偏差。
[0006]因此，为了防止这样的混合比的波动，有时利用一台多通道蠕动泵进行所述主流路中的试样液体的送液和所述副流路中的内标元素溶液的送液。在多通道蠕动泵中，能够沿着转子的外周配置多个软质管，因此通过使用该泵，能够使与各管的内径对应的流量的液体以同一周期在构成主流路的管和构成副流路的管中流动。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：日本特开2016
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061574号公报

技术实现思路

[0010]专利技术要解决的问题
[0011]在ICP分析装置的校正时，需要代替上述那样的试样和内标元素溶液的混合液而将预定的校正液向等离子体焰导入。因此，在具有上述那样的结构的以往的ICP分析装置中，首先，在将构成主流路的管的端部和构成副流路的管的端部这两者插入到收纳有校正液的容器(以下称为校正液容器)中的状态下，利用所述多通道蠕动泵将该校正液向等离子体焰炬导入来进行校正作业，然后，将构成所述主流路的管从所述校正液容器重新向收纳有试样的容器插入，并且将构成所述副流路的管从所述校正液容器重新向收纳有内标元素溶液的容器(以下称为内标元素溶液容器)插入，来进行试样的分析。然而，这样的管的重新插入需要分析担任人员通过手工作业来进行，因此在上述以往的ICP分析装置中，无法自动地执行从装置的校正到试样的分析的处理。
[0012]此外，如果构成为将主流路和副流路分别与自动采样器连接，利用该自动采样器进行在主流路中流动的液体的切换和在副流路中流动的液体的切换这两者，则能够自动地执行从装置的校正到测量对象试样的分析的处理。但是，在该情况下，需要主流路的切换与副流路的切换这样不同的动作的控制，装置变得大型。另外也可以考虑：在仅将主流路与自动采样器连接且构成副流路的管始终插入到内标元素溶液容器中的状态下，自动地执行从装置校正到试样分析的处理，但在该情况下，由于在校正时也从副流路向等离子体焰炬供给内标元素溶液，因此有可能无法进行准确的校正。在仅将主流路与自动采样器连接且构成副流路的管始终插入到内标元素溶液容器中的结构中，为了在校正时停止从副流路向等离子体焰炬的内标元素溶液的供给，需要设为利用各自的蠕动泵进行主流路中的送液和副流路中的送液的结构，但在该情况下，由于各蠕动泵中的转子的旋转周期的偏差，使得向等离子体焰炬导入的试样液体与内标元素溶液的混合比产生波动。
[0013]本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，在ICP分析中，能够在不使用大型装置且不降低校正精度的情况下自动地进行从装置校正到试样的分析的处理。
[0014]用于解决问题的方案
[0015]为了解决上述问题而完成的本专利技术的ICP分析装置具有：
[0016]ICP部，其生成电感耦合等离子体；
[0017]液体混合部，其具有两个入口端和一个出口端；
[0018]共用流路，其一端与所述ICP部连接，另一端与所述液体混合部的所述出口端连接；
[0019]主流路，其一端与所述液体混合部的所述两个入口端中的一个入口端连接；
[0020]自动采样器，其从多个液体容器中的一个择一地采集液体并向所述主流路的另一端供给；
[0021]流路切换部，其具有一个出口侧口和多个入口侧口，将所述出口侧口与所述多个入口侧口中的一个择一地连接；
[0022]副流路，其一端与所述液体混合部的所述两个入口端中的另一个入口端连接，另一端与所述流路切换部的所述出口侧口连接；
[0023]校正液配管，其与所述流路切换部的所述多个入口侧口中的一个入口侧口连接而向该一个入口侧口引导校正液；
[0024]内标元素溶液配管，其与所述流路切换部的所述多个入口侧口中的另一个入口侧口连接而向该另一个入口侧口引导内标元素溶液；
[0025]一台蠕动泵，其将所述主流路内的液体从该主流路的所述另一端向所述一端输送，并且将所述副流路内的液体从该副流路的所述另一端向所述一端输送；以及
[0026]控制部，其控制所述自动采样器和所述流路切换部。
[0027]另外，为了解决上述问题而完成的本专利技术的ICP分析方法是使用ICP分析装置的ICP分析方法，该ICP分析装置具有：
[0028]ICP部，其生成电感耦合等离子体；
[0029]液体混合部，其具有两个入口端和一个出口端；
[0030]共用流路，其一端与所述ICP部连接，另一端与所述液体混合部的所述出口端连接；
[0031]主流路，其一端与所述液体混合部的所述两个入口端中的一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ICP分析装置，其中，该ICP分析装置具有：ICP部，其生成电感耦合等离子体；液体混合部，其具有两个入口端和一个出口端；共用流路，其一端与所述ICP部连接，另一端与所述液体混合部的所述出口端连接；主流路，其一端与所述液体混合部的所述两个入口端中的一个入口端连接；自动采样器，其从多个液体容器中的一个择一地采集液体并向所述主流路的另一端供给；流路切换部，其具有一个出口侧口和多个入口侧口，将所述出口侧口与所述多个入口侧口中的一个择一地连接；副流路，其一端与所述液体混合部的所述两个入口端中的另一个入口端连接，另一端与所述流路切换部的所述出口侧口连接；校正液配管，其与所述流路切换部的所述多个入口侧口中的一个入口侧口连接而向该一个入口侧口引导校正液；内标元素溶液配管，其与所述流路切换部的所述多个入口侧口中的另一个入口侧口连接而向该另一个入口侧口引导内标元素溶液；一台蠕动泵，其将所述主流路内的液体从该主流路的所述另一端向所述一端输送，并且将所述副流路内的液体从该副流路的所述另一端向所述一端输送；以及控制部，其控制所述自动采样器和所述流路切换部。2.根据权利要求1所述的ICP分析装置，其中，该ICP分析装置还具有：冲洗液配管，其与所述流路切换部的所述多个入口侧口中的又一个入口侧口连接而向该又一个入口侧口引导冲洗液。3.一种ICP分析方法，其是使用ICP分析装置的ICP分析方法，该ICP分析装置具有：ICP部，其生成电感耦合等离子体；液体混合部，其具有两个入口端和一个出口端；共用流路，其一端与所述ICP部连接，另一端与所述液体混合部的所述出口端连接；主流路，其一端与所述液体混合部的所述两个入口端中的一个入口端连接；自动采样器，其从多个液体容器中的一个择一地采集液体并向所述主流路的另一端供给；流路切换部，其具有一个出口侧口和多个入口侧口，将...

【专利技术属性】
技术研发人员：大森敬久，堀贵翔，松井祐一郎，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：