本发明专利技术提供一种散热性优异的弹性波装置。弹性波装置(10)具备：支承构件，包含支承基板(14)；压电层(16)，设置在支承构件上；以及IDT电极(11)，设置在压电层(16)的第1主面(16a)，在支承构件设置有在压电层(16)侧开口的气隙部(14c)，支承构件(14)具有面向气隙部(14c)的内侧壁(14e)，高热传导膜(17)直接或间接地层叠在压电层(16)的第2主面(16b)的至少一部分，并且到达支承构件(14)的内侧壁(14e)。并且到达支承构件(14)的内侧壁(14e)。并且到达支承构件(14)的内侧壁(14e)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本专利技术涉及具有包含铌酸锂或钽酸锂的压电层的弹性波装置。
技术介绍
[0002]以往，已知具有包含铌酸锂、钽酸锂的压电层的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1中，公开了如下的弹性波装置，即，在具有腔的支承基板上设置有包含铌酸锂或钽酸锂的压电层。在该弹性波装置中，在腔的上方，在压电层的上表面设置有IDT电极。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利技术专利第10491192号说明书
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在专利文献1所记载的那样的以往的弹性波装置中，要求改善散热性。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种散热性优异的弹性波装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]本专利技术具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有相互对置的第1主面、第2主面；以及IDT电极，设置在所述压电层的所述第1主面，具有多根电极指，在所述支承构件设置有在所述压电层侧开口的气隙部，所述气隙部在所述支承构件的厚度方向上与所述IDT电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有面向所述气隙部的内侧壁，所述弹性波装置还具备：高热传导膜，直接或间接地层叠在所述压电层的所述第2主面的至少一部分，并且到达所述支承构件的所述内侧壁，所述高热传导膜的热导率比所述压电层高。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术，能够提供一种散热性优异的弹性波装置。
附图说明
[0013]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
[0014]图2是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的剖视图，是沿着图1的I
‑
I线的部分的剖视图。
[0015]图3的(a)～图3的(d)是用于说明本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子的各主视剖视图。
[0016]图4的(a)～图4的(c)是用于说明本专利技术的第1实施方式的弹性波装置的制造方法的一个例子的各主视剖视图。
[0017]图5的(a)以及图5的(b)是用于说明本专利技术的第1实施方式的弹性波装置的制造方法的一个例子的各主视剖视图。
[0018]图6的(a)～图6的(d)是用于说明本专利技术的第1实施方式的弹性波装置的制造方法的另一个例子的各主视剖视图。
[0019]图7的(a)～图7的(c)是用于说明本专利技术的第1实施方式的弹性波装置的制造方法的另一个例子的各主视剖视图。
[0020]图8是本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0021]图9是本专利技术的第3实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0022]图10是本专利技术的第4实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0023]图11是本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0024]图12是本专利技术的第6实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0025]图13的(a)以及图13的(b)是示出利用了厚度剪切模式的弹性波装置的外观的简图式立体图以及示出压电层上的电极构造的俯视图。
[0026]图14是沿着图13的(a)中的A
‑
A线的部分的剖视图。
[0027]图15的(a)是用于说明在以往的弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视图，图15的(b)是用于说明利用了厚度剪切模式的弹性波装置的振动的示意性主视剖视图。
[0028]图16是用于说明厚度剪切模式的体波的振幅方向的图。
[0029]图17是示出利用了厚度剪切模式的弹性波装置的谐振特性的图。
[0030]图18是示出在将相邻的电极指的中心间距离设为p并将压电层的厚度设为d的情况下的d/2p和作为谐振器的相对带宽的关系的图。
[0031]图19是示出利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的俯视图。
[0032]图20是示出使d/p无限接近于0的情况下的相对带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0
°
，θ，ψ)的映射的图。
[0033]图21是示出d/2p、金属化比MR和相对带宽的关系的图。
具体实施方式
[0034]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0035]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是本专利技术的第1实施方式的弹性波装置的剖视图。另外，图2是沿着图1中的I
‑
I线的部分的剖视图。
[0036]如图2所示，弹性波装置10具有压电性基板12和设置在压电性基板12上的IDT电极11。压电性基板12具有作为支承构件的支承基板14、电介质层15和压电层16。在支承基板14上，隔着电介质层15设置有压电层16。
[0037]支承基板14具有第1主面14a以及第2主面14b。第1主面14a以及第2主面14b相互对置。在第1主面14a设置有凹部14c。进而，支承基板14具有支承部14d。支承部14d是包围凹部14c并且经由电介质层15对压电层16进行支承的部分。
[0038]压电层16设置在电介质层15上，使得封住凹部14c。在本实施方式中，该凹部14c构成了气隙部G。气隙部G被支承基板14、电介质层15以及压电层16包围。
[0039]压电层16具有第1主面16a以及第2主面16b。第1主面16a以及第2主面16b相互对置。第1主面16a以及第2主面16b中的第2主面16b是支承基板14侧的主面。
[0040]压电层16包含LiNbO3等铌酸锂或者LiTaO3等钽酸锂。另外，在本说明书中，所谓某
个构件包含某种材料，包含如下情况，即，包含弹性波装置的电特性不劣化的程度的微量的杂质。
[0041]如图1所示，在压电层16的第1主面16a设置有IDT电极11。IDT电极11具有第1汇流条22以及第2汇流条23和多个第1电极指24以及多个第2电极指25。第1汇流条22以及第2汇流条23相互对置。多个第1电极指24周期性地配置。多个第1电极指24的一端分别与第1汇流条22连接。多个第2电极指25周期性地配置。多个第2电极指25的一端分别与第2汇流条23连接。多个第1电极指24以及多个第2电极指25彼此相互交错对插。在第1主面16a设置有布线电极22a、23a。布线电极22a、23a与IDT电极11电连接。
[0042]将相邻的第1电极指24以及第2电极指25相互对置的方向设为电极指对置方向。在本实施方式中，电极指对置方向与多个第1电极指24以及多个第2电极指25延伸的方向正交。以下，有时将第1电极指24以及第2电极指25仅记载为电极指。
[0043]另外，气隙部G只要在支承构件的厚度方向上与IDT电极11的至少一部分重叠即可。
[0044]在弹性波装置10中，通过对IDT电极11施加交流电压，从而激励弹性波。弹性波装置10例如构成为本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上，具有相互对置的第1主面、第2主面；以及IDT电极，设置在所述压电层的所述第1主面，具有多根电极指，在所述支承构件设置有在所述压电层侧开口的气隙部，所述气隙部在所述支承构件的厚度方向上与所述IDT电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有面向所述气隙部的内侧壁，所述弹性波装置还具备：高热传导膜，直接或间接地层叠在所述压电层的所述第2主面的至少一部分，并且到达所述支承构件的所述内侧壁，所述高热传导膜的热导率比所述压电层高。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述支承构件具有所述支承基板和设置在所述支承基板与所述压电层之间的电介质层。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，所述支承基板以及所述电介质层中的至少一者的热导率比所述压电层的热导率高。4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述支承构件仅由所述支承基板构成。5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，所述支承基板的热导率比所述压电层的热导率高。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，在所述压电层的所述第2主面设置有附加膜，所述附加膜设置在所述压电层的所述第2主面和所述高热传导膜之间，所述附加膜包含热导率比所述支承构件低的材料。7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，在所述内侧壁设置有凹凸部。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，在所述气隙部中，所述支承构件具有与所述压电层对置的底面。9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，所述高热传导膜到达所述支承构件的位于所述气隙部的所述底面。10.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述气隙部是贯通所述支承构件的贯通孔。11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述高热传导膜是电介质膜。12.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述高热传导膜由ALD成膜法即原子层沉积成膜法形成。13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，所述高热传导膜包含氧化铝、氧化硅、氮化硅以及氮氧化硅中的一种。14.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置构成为能够利用板波。15.根据权利要求1～13中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置构成为能够利用厚度剪切模式的体波。16.根据权利要求15所述的弹性波装置，其中，将所述压电层的厚度设为d，将相邻的所述电极指彼此的中心间距离设为p，在该情况下，d/p为0.5以下。17.根据权利要求16所述的弹性波装置，其中，d/p为0.24以下。18.根据权利要求16或17所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：井上和则，久保新太郎，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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