【技术实现步骤摘要】
基于法布里珀罗谐振腔的光学压力标准的压力测量装置
[0001]本公开涉及光学压力标准技术，尤其涉及一种基于法布里珀罗谐振腔的光学压力标准的压力测量装置。
技术介绍
[0002]压力是工业生产和科学研究中常用的测量参数之一，压力标准是统一我国压力量值的标准。基于法布里珀罗(Fabry
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Perot，FP)谐振腔的光学压力标准中，由于FP谐振腔中的高反射率镜片的表面镀有的介质膜使得FP谐振腔中的光的反射发生相移，因此为了提高该光学压力标准的准确性，引入了反射相移修正系数。该反射相移修正系数需要通过介质膜的反射相移色散系数来确定。
[0003]现有技术中，介质膜的反射相移色散系数与高反射率镜片的镀膜的技术参数相关，可以通过高反射率镜片的材料参数与镀膜工艺参数采用薄膜传输矩阵的方法计算得到介质膜的反射相移色散系数。
[0004]但是，这种方式中高反射率镜片的材料参数与镀膜工艺参数，需要依赖于高反射率镜片生产厂家提供，无法保证数据的准确性，进而无法保证获取的反射相移色散系数的准确性，且计算过程繁琐，进...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于法布里珀罗谐振腔的光学压力标准的压力测量装置，其特征在于，包括：第一法布里珀罗谐振腔、第二法布里珀罗谐振腔、处理模块；其中，所述第一法布里珀罗谐振腔和第二法布里珀罗谐振腔具有相同的反射相移色散系数、且腔长不同；所述处理模块，用于在满足所述第一法布里珀罗谐振腔和所述第二法布里珀罗谐振腔同处于真空中时，获取能在所述第一法布里珀罗谐振腔中产生谐振的第一激光的频率值，并获取能在所述第二法布里珀罗谐振腔中产生谐振的第二激光的频率值；所述处理模块，还用于在满足所述第一法布里珀罗谐振腔和所述第二法布里珀罗谐振腔处于同一预设气体压力中时，获取能在所述第一法布里珀罗谐振腔中产生谐振的第三激光的频率值，并获取能在所述第二法布里珀罗谐振腔中产生谐振的第四激光的频率值；所述处理模块，还用于根据所述第一激光的频率值、所述第二激光的频率值、所述第三激光的频率值、所述第四激光的频率值、以及所述第一法布里珀罗谐振腔的腔长和所述第二法布里珀罗谐振腔的腔长，确定所述第一法布里珀罗谐振腔和所述第二法布里珀罗谐振腔的反射相移色散系数，以使所述压力测量装置基于所述反射相移色散系数，确定气体压力量值。2.根据权利要求1所述的压力测量装置，其特征在于，还包括：第一激光器、第二激光器；在满足所述第一法布里珀罗谐振腔和所述第二法布里珀罗谐振腔同处于真空中时，所述压力测量装置通过所述第一激光器发出并传输第一激光至所述第一法布里珀罗谐振腔，以使所述第一激光在所述第一法布里珀罗谐振腔中产生谐振，并通过所述第二激光器发出并传输第二激光至所述第二法布里珀罗谐振腔，以使所述第二激光在所述第二法布里珀罗谐振腔中产生谐振；在满足所述第一法布里珀罗谐振腔和所述第一法布里珀罗谐振腔处于同一预设气体压力中时，所述压力测量装置通过所述第一激光器发出并传输第三激光至所述第一法布里珀罗谐振腔，以使所述第三激光在所述第一法布里珀罗谐振腔中产生谐振，并通过所述第二激光器发出并传输第四激光至所述第二法布里珀罗谐振腔，以使所述第四激光在所述第二法布里珀罗谐振腔中产生谐振。3.根据权利要求2所述的压力测量装置，其特征在于，还包括：第一频率计、第二频率计、标准激光频率源；所述压力测量装置通过所述第一频率计接收所述标准激光频率源发出的标准激光和所述第一激光，并测量获取所述第一激光与所述标准激光之间的第一拍频；所述压力测量装置通过所述第二频率计接收所述标准激光频率源发出的标准激光和所述第二激光，并测量获取所述第二激光与所述标准激光之间的第二拍频；所述压力测量装置通过所述第一频率计接收所述标准激光频率源发出的标准激光和所述第三激光，并测量获取所述第三激光与所述标准激光之间的第三拍频；所述压力测量装置通过所述第二频率计接收所述标准激光频率源发出的标准激光和所述第四激光，并测量获取所述第四激光与所述标准激光之间的第四拍频。4.根据权利要求3所述的压力测量装置，其特征在于，所述处理模块，还用于根据所述标准激光的频率值、所述第一拍频，确定所述第一激光的频率值；根据所述标准激光的频率值、所述第二拍频，确定所述第二激光的频率值；根据
所述标准激光的频率值、所述第三拍频，确定所述第三激光的频率值；根据所述标准激光的频率值、所述第四拍频，确定所述第四激光的频率值。5.根据权利要求1
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4任一项所述的压力测量装置，其特征在于，所述第一法布里珀罗谐振腔的腔长等于2倍的所述第二法布里珀罗谐振腔的腔长。6.根据权利要求3
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