一种空间便于调节的真空镀膜机制造技术

技术编号:38176986 阅读:15 留言:0更新日期:2023-07-19 12:45
本实用新型专利技术公开了一种空间便于调节的真空镀膜机,属于镀膜设备技术领域,其包括底座,所述底座上设有箱体,所述箱体的正面设有合页,所述合页的侧面设有箱门,所述箱门的侧面设有把手,所述箱体的侧面设有支撑架,所述支撑架上设有加热组件。该空间便于调节的真空镀膜机,通过设置螺纹杆和齿轮,第二电机通过螺纹杆带动连接架和一级升降节向上移动,一级升降节向上移动时带动齿轮同步移动,齿轮在第一齿条的侧面移动并旋转,齿轮旋转时通过第二齿条带动二级升降节向上移动,二级升降节带动底板向上使箱体内空间减少,实现了调节箱体内的空间,便于根据镀膜产品的体积和数量调节到合适的空间,避免能源的浪费。避免能源的浪费。避免能源的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种空间便于调节的真空镀膜机


[0001]本技术属于镀膜设备
,具体为一种空间便于调节的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,但是,现有的真空镀膜机内壁空间都是恒定的,在遇到镀膜产品较少、体积较小时,仍需要较多的能源将整个镀膜机抽至真空,并进行镀膜工作,这样导致大量的工作空间被浪费,进而造成能源的浪费,使得生产的成本增加,因此需要一种空间便于调节的真空镀膜机来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]为了克服上述缺陷,本技术提供了一种空间便于调节的真空镀膜机,解决了需要真空镀膜机内部空间固定,对少量产品进行镀膜时会造成能源浪费的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种空间便于调节的真空镀膜机,包括底座,所述底座上设有箱体,所述箱体的正面设有合页,所述合页的侧面设有箱门,所述箱门的侧面设有把手,所述箱体的侧面设有支撑架,所述支撑架上设有加热组件,所述加热组件上设有抽真空组件,所述抽真空组件设在箱体的侧面,所述箱体内设有调节组件,所述调节组件上设有底板,所述底板内设有密封组件。
[0005]作为本技术的进一步方案:所述密封组件包括第一电机,所述第一电机设在底板下,所述第一电机的输出端设有驱动皮带轮,所述驱动皮带轮的侧面设有传动皮带。
[0006]作为本技术的进一步方案:所述传动皮带的侧面设有支撑皮带轮,所述支撑皮带轮内设有转轴,所述转轴设在底板内,所述支撑皮带轮上设有挡块。
[0007]作为本技术的进一步方案:所述挡块的侧面设有挡杆,所述挡杆滑动连接底板内,所述挡杆的侧面设有密封条,所述密封条与箱体内壁贴合。
[0008]作为本技术的进一步方案:所述调节组件包括调节箱,所述调节箱设在箱体内,所述调节箱内滑动连接有一级升降节,所述一级升降节内滑动连接有二级升降节,所述二级升降节内设有第一齿条。
[0009]作为本技术的进一步方案:所述第一齿条的侧面啮合有齿轮,所述齿轮铰接在一级升降节内,所述齿轮的侧面啮合有第二齿条,所述第二齿条设在调节箱内。
[0010]作为本技术的进一步方案:所述调节箱下设有第二电机,所述第二电机的输出端设有螺纹杆,所述螺纹杆的侧面连接有连接架,所述连接架设在一级升降节下。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果在于:
[0012]1、该空间便于调节的真空镀膜机,通过设置螺纹杆和齿轮,当需要将箱体内空间调小时,启动第二电机,第二电机通过螺纹杆带动连接架和一级升降节向上移动,一级升降节向上移动时带动齿轮同步移动,齿轮在第一齿条的侧面移动并旋转,齿轮旋转时通过第二齿条带动二级升降节向上移动,二级升降节带动底板向上使箱体内空间减少,实现了调节箱体内的空间,便于根据镀膜产品的体积和数量调节到合适的空间,避免能源的浪费。
[0013]2、该空间便于调节的真空镀膜机,通过设置挡块和挡杆,底板移动到对应位置后,启动第一电机,第一电机通过驱动皮带轮带动传动皮带移动,传动皮带带动支撑皮带轮在转轴的侧面旋转,支撑皮带轮带动挡块旋转,挡块挤压挡杆向外移动,挡杆带动密封条向外移动,密封条将箱体内贴合,实现了底板与箱体之间的密封,避免影响箱体内的真空环境,提高装置的稳定性。
[0014]3、该空间便于调节的真空镀膜机,通过设置底座和支撑架,底座对箱体起到支撑和限位作用,将箱体固定并且使其与地面分离,避免箱体接触地面造成损坏,支撑架对加热组件起到支撑和限位作用,限制加热组件稳定固定在箱体的侧面。
附图说明
[0015]图1为本技术立体的结构示意图;
[0016]图2为本技术箱体剖面的结构示意图;
[0017]图3为本技术密封组件立体的结构示意图;
[0018]图4为本技术调节组件剖面的结构示意图;
[0019]图中:1、底座;2、箱体;3、合页;4、把手;5、箱门;6、抽真空组件;7、加热组件;8、密封组件;801、第一电机;802、驱动皮带轮;803、传动皮带;804、挡杆;805、密封条;806、挡块;807、转轴;808、支撑皮带轮;9、调节组件;901、调节箱;902、螺纹杆;903、第二电机;904、一级升降节;905、二级升降节;906、第一齿条;907、齿轮;908、第二齿条;909、连接架;10、支撑架;11、底板。
具体实施方式
[0020]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0021]如图1

4所示,本技术提供一种技术方案:一种空间便于调节的真空镀膜机,包括底座1,底座1上设有箱体2,箱体2的正面设有合页3,合页3的侧面设有箱门5,箱门5的侧面设有把手4,箱体2的侧面设有支撑架10,支撑架10上设有加热组件7,加热组件7上设有抽真空组件6,抽真空组件6设在箱体2的侧面,通过设置支撑架10和把手4,支撑架10对加热组件7起到支撑和限位作用,限制加热组件7可以稳定的固定在箱体2的侧面,把手4方便打开和关闭箱门5,提高了装置的便捷性,并且旋转把手4可以将箱门5锁紧密封,提高箱体2的真空密闭效果;
[0022]箱体2内设有调节组件9,调节组件9上设有底板11,调节组件9包括调节箱901,调节箱901设在箱体2内,调节箱901内滑动连接有一级升降节904,一级升降节904内滑动连接有二级升降节905,二级升降节905内设有第一齿条906,第一齿条906的侧面啮合有齿轮907,齿轮907铰接在一级升降节904内,齿轮907的侧面啮合有第二齿条908,第二齿条908设在调节箱901内,调节箱901下设有第二电机903,第二电机903的输出端设有螺纹杆902,螺
纹杆902的侧面连接有连接架909,连接架909设在一级升降节904下,通过设置螺纹杆902和齿轮907,螺纹杆902可以利用与连接架909螺纹连接的特性,通过自身的旋转带动连接架909移动,使得升降的过程更加稳定,齿轮907可以在向上移动时,通过与第二齿条908的啮合而旋转,齿轮907旋转时可以通过带动第一齿条906使二级升降节905向上移动,提高了装置升降的效率,减小了调节组件9的占用空间,提高了升降的行程;
[0023]底板11内设有密封组件8,密封组件8包括第一电机801,第一电机801设在底板11下,第一电机801的输出端设有驱动皮带轮802,驱动皮带轮802的侧面设有传动皮带803,传动皮带803的本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空间便于调节的真空镀膜机,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上设有箱体(2),所述箱体(2)的正面设有合页(3),所述合页(3)的侧面设有箱门(5),所述箱门(5)的侧面设有把手(4),所述箱体(2)的侧面设有支撑架(10),所述支撑架(10)上设有加热组件(7),所述加热组件(7)上设有抽真空组件(6),所述抽真空组件(6)设在箱体(2)的侧面,所述箱体(2)内设有调节组件(9),所述调节组件(9)上设有底板(11),所述底板(11)内设有密封组件(8)。2.根据权利要求1所述的一种空间便于调节的真空镀膜机,其特征在于:所述密封组件(8)包括第一电机(801),所述第一电机(801)设在底板(11)下,所述第一电机(801)的输出端设有驱动皮带轮(802),所述驱动皮带轮(802)的侧面设有传动皮带(803)。3.根据权利要求2所述的一种空间便于调节的真空镀膜机,其特征在于:所述传动皮带(803)的侧面设有支撑皮带轮(808),所述支撑皮带轮(808)内设有转轴(807),所述转轴(807)设在底板(11)内,所述支撑皮带轮(808)上设有挡块(806)。4.根据权利要求3所述的一种空间便于调节的真空...

【专利技术属性】
技术研发人员:林正聪余德付高东良王学良黄培杨志刚
申请(专利权)人:成都精诚光学器材有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1