本申请涉及一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统。根据本申请一些实施例的方法包含：采集多张第一模板图像，其中多张第一模板图像中的每一者包括第一模板区域；基于多张第一模板图像制作均值图像；采集多张第二模板图像，其中多张第二模板图像中的每一者包括第二模板区域；基于多张第二模板图像制作和值图像；以及将均值图像和和值图像进行识别，以确定第二模板区域在和值图像中的位置。与现有技术相比，本申请提供的用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统能够有效地克服相机信噪比对图像定位精度的影响，提高图像定位精度，并降低图像识别精度误差。并降低图像识别精度误差。并降低图像识别精度误差。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统
[0001]本申请大体上涉及半导体
，更具体地，涉及一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统。
技术介绍
[0002]在半导体大规模集成电路制造或工艺检测过程中，半导体晶圆会经过多个制造工艺阶段，由多个不同的设备进行处理或检测。晶圆键合工艺已经成为半导体制造技术集成发展和实用化的关键技术。晶圆键合是指将两片平整的晶圆面对面贴合起来，并施加以一定的压力、温度、电压等外部条件，在原有的两片晶圆间的界面产生原子或者分子间的结合力，如共价键、金属键、分子键等，使两表面间的键合能达到一定强度，而使这两片晶圆结为一体。
[0003]在晶圆键合工艺中，需要将两片晶圆对准键合。通常使用模板图像来达到这一目的。然而，在依靠模板图像对晶圆进行定位的过程中，现有的方法着重提高光学分辨率来达到亚像素级别的定位，而忽视了相机信噪比对定位精度的影响。
[0004]因此，需要对现有技术的方案进行改进，以解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
[0005]本申请的目的之一在于提供一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统，其解决了由于相机信噪比导致的图像定位精度低的问题。
[0006]根据本申请的一个层面，本申请提供了一种用于晶圆键合的图像识别方法，其包括：采集多张第一模板图像，其中多张第一模板图像中的每一者包括第一模板区域；基于多张第一模板图像制作均值图像；采集多张第二模板图像，其中多张第二模板图像中的每一者包括第二模板区域；基于多张第二模板图像制作和值图像；以及将均值图像和和值图像进行识别，以确定第二模板区域在和值图像中的位置。
[0007]根据本申请的一个层面，本申请提供了一种用于晶圆键合的图像识别装置，其包括：第一采集模块，其经配置以采集多张第一模板图像，其中多张第一模板图像中的每一者包括第一模板区域；第一处理模块，其经配置以基于多张第一模板图像制作均值图像；第二采集模块，其经配置以采集多张第二模板图像，其中多张第二模板图像中的每一者包括第二模板区域；第二处理模块，其经配置以基于多张第二模板图像制作和值图像；以及识别模块，将均值图像和和值图像进行识别，以确定第二模板区域在和值图像中的位置。
[0008]根据本申请的一个层面，本申请还提供了一种非易失性计算机可读存储媒体，该非暂时性计算机可读存储媒体存储有一个或多个程序，该一个或多个程序可被一个或多个处理器执行，以实现如本申请中所述的用于晶圆键合的图像识别方法。
[0009]根据本申请的一个层面，本申请还提供了一种用于晶圆键合的图像识别系统，其包括：处理器；存储有计算机可执行指令的非易失性计算机可读存储媒体，其耦合至处理器；载台，其用以支撑晶圆；其中，处理器经配置以执行计算机可执行指令以在所述晶圆上
实施本申请中所述的用于晶圆键合的图像识别方法。本申请提供的一种用于晶圆键合的图像识别方法、装置以及系统，其能够有效地克服相机信噪比对图像定位精度的影响，提高图像定位精度，并降低图像识别精度误差。
附图说明
[0010]在下文中将简要地说明为了描述本申请实施例或现有技术所必要的附图以便于描述本申请的实施例。显而易见地，下文描述中的附图仅只是本申请中的部分实施例。对本领域技术人员而言，在不需要创造性劳动的前提下，依然可以根据这些附图中的例示来获得其他实施例的附图。
[0011]图1为根据本申请一些实施例的用于晶圆键合的图像识别方法流程图。
[0012]图2为根据本申请一些实施例的采集多张第一模板图像的具体流程图。
[0013]图3为根据本申请一些实施例的采集多张第二模板图像的具体流程图。
[0014]图4为根据本申请另一些实施例的用于晶圆键合的图像识别方法流程图。
[0015]图5为根据本申请一些实施例的用于晶圆键合的图像识别装置的结构框图。
具体实施方式
[0016]为更好的理解本申请的精神，以下结合本申请的部分优选实施例对其作进一步说明。
[0017]以下详细地讨论本申请的各种实施方式。尽管讨论了具体的实施，但是应当理解，这些实施方式仅用于示出的目的。相关领域中的技术人员将认识到，在不偏离本申请的精神和保护范围的情况下，可以使用其他部件和配置。
[0018]图1为根据本申请一些实施例的用于晶圆键合的图像识别方法流程图。以下结合图2至3来具体描述如图1所示的本申请一些实施例的用于晶圆键合的图像识别方法。
[0019]在一些实施例中，采集多张第一模板图像(步骤S10)。其中多张第一模板图像中的每一者具有第一模板区域。图2为根据本申请一些实施例的采集多张第一模板图像的具体流程图。
[0020]在一些实施例中，采集第一模板图像(步骤S102)。
[0021]在一些实施例中，在第一模板图像中搜索第一模板区域(步骤S104)。可通过任何已知的方法来搜索第一模板区域，例如基于自动搜索的方法或者基于手动搜索的方法等。
[0022]在一些实施例中，使第一模板区域位于第一模板图像的中心(步骤S106)。在该步骤中，可以使用多种方法使第一模板区域位于第一模板图像的中心。例如，可通过移动的方式将第一模板区域的中心移动到第一模板图像的中心；或者也可以通过裁减第一模板图像的边界，使得第一模板区域的边缘与经裁减后的第一模板图像的边界之间的距离都相同，从而使第一模板区域位于第一模板图像的中心。然而，在一些实施例中，步骤S106并不是必须的，可以省略步骤S106。
[0023]在一些实施例中，将图像传感器聚焦于第一模板区域(步骤S108)。在一些实施例中，图像传感器可为相机。通过设置相机的ROI(Region of Interest)区域的位置和大小，从而使得相机的ROI区域包含第一模板区域。将图像传感器聚焦于第一模板区域的主要目的在于：筛除不关心的区域，从而可提高处理器的运行速度。然而，在一些实施例中，在不考
虑处理器的运行速度的情况下，也可以省略步骤S108。
[0024]在一些实施例中，对第一模板区域进行多次曝光(步骤S110)。在该步骤中，使用图像传感器(例如：相机)对第一模板图像的第一模板区域进行多次曝光，以获得多张第一模板图像。
[0025]参见图1和图2，在一些实施例中，基于多张第一模板图像制作均值图像(步骤S20)。在该步骤中，将多张第一模板图像中的相同位置处的像素值累加起来，并求出其平均值，从而得到均值图像。在一些实施例中，在步骤S110中对第一模板区域进行16次曝光，得到16张第一模板图像。通过将这16张第一模板图像中的每一者上相同位置处的像素值累加起来，除以16，从求出平均值，得到这16张第一模板图像的均值图像。应当理解，16张第一模板图像仅仅只是本申请的优选实施例，在一些实施例中，第一模板图像可以有其他任何数量，在此不做限定。通过制作均值图像，可以将模板图像中的噪声降低，提高信噪比。
[0026]在一些实施例中，采集多张第二模板图像(步骤S30)。其中本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，所述用于晶圆键合的图像识别方法包括：采集多张第一模板图像，其中所述多张第一模板图像中的每一者包括第一模板区域；基于所述多张第一模板图像制作均值图像；采集多张第二模板图像，其中所述多张第二模板图像中的每一者包括第二模板区域；基于所述多张第二模板图像制作和值图像；以及将所述均值图像和所述和值图像进行识别，以确定所述第二模板区域在所述和值图像中的位置。2.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，采集多张第一模板图像包括：将图像传感器聚焦于所述第一模板图像的所述第一模板区域；以及对所述第一模板图像的所述第一模板区域进行多次曝光，以获得所述多张第一模板图像。3.根据权利要求2所述的用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，采集多张第一模板图像还包括：在将图像传感器聚焦于所述第一模板图像的第一模板区域之前，使所述第一模板图像的所述第一模板区域位于所述第一模板图像的中心。4.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，采集多张第二模板图像包括：对所述第二模板图像进行多次曝光，以获得所述多张第二模板图像。5.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，所述用于晶圆键合的图像识别方法还包括：制作多张所述和值图像；将所述均值图像和所述多张所述和值图像中的每一者进行识别，以获得多组识别结果；以及计算所述多组识别结果的方差。6.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，基于几何识别算法将所述均值图像和所述和值图像进行识别。7.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的图像识别方法，其特征在于，所述第一模板区域的形状和尺寸与所述第二模板区域的形状和尺寸相同。8.一种用于晶圆键合的图像识别装置，其特征在于，所述用于晶圆键合的图像识别装置包括：第一采集模块，其经配置以采集多张第一模板图像，其中所述多张第一模板图像中的每一者包括第一模板区域；第一处理模块，其经配置以基于所述多张第一模板图像制作均值图像；第二采集模块，其经配置以采集多张第二模板图像，其中所述多张第二模板图像中的每一者包括第二模板区域；第二处理模块，其经配置以基...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙宝，赵捷，唐安伦，周坚，
申请(专利权)人：拓荆键科海宁半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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