本申请涉及一种导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备，包括导气筒、动力源、推动件和弹性组件，导气筒沿设定方向导气，推动件被配置为在设定方向上可移动地安装于承重体上，动力源被配置于承重体，且用于驱动推动件移动。弹性组件被构造为在设定方向上可弹性形变的连接导气筒和推动件之间。本申请的技术方案，可以提高导气装置的入口端与外部通道的出口端的气密性，降低外部通道内物质的外逸，有助于降低设备的维护周期，降低设备的维护成本，并且提高资源利用率。并且提高资源利用率。并且提高资源利用率。
【技术实现步骤摘要】
导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备
[0001]本申请涉及导气装置
，特别是涉及导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备。
技术介绍
[0002]导气装置是指能够对气流进行引流的装置，其可以应用在各种气体流通的处理设备中，譬如镀膜设备、清洗设备、加热设备。通常地，处理设备具有提供处理环境的处理腔体，处理腔体内通常设置有容纳工件并供气体流通的通道结构，在该处理腔体的尾部通常设置有连通处理腔外部和该通道结构的导气装置，导气装置的入口端与该通道结构的出口端配接。
[0003]在相关技术中，导气装置的入口端与该通道结构的出口端气密性较差，如此会使得该通道结构内外侧气氛连通，通道结构内侧流场因外侧流场而波动，通道结构的出口端以及外侧沉积大量粉尘，进而缩短了设备的维护周期，提高了设备的维护成本，并造成了资源的浪费。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对相关技术中，导气装置的入口端与通道结构气密封性较差引起设备维护成本提高、资源浪费的问题，提供一种导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备。
[0005]第一方面，本申请提供了一种导气装置，所述导气装置包括：
[0006]导气筒，沿设定方向导气；
[0007]动力源和推动件，所述推动件被配置为在所述设定方向上可移动地安装于承重体上；所述动力源被配置于所述承重体，且用于驱动所述推动件移动；及
[0008]弹性组件，被构造为在所述设定方向上可弹性形变的连接在所述导气筒和推动件之间。
[0009]在其中一个实施例中，所述弹性组件包括导向结构和弹性件，所述导向结构包括导向件，所述导向件的一端沿所述设定方向可移动地设置在所述推动件上，另一端固定连接所述导气筒，所述弹性件套设于所述导向件的两端之间。
[0010]在其中一个实施例中，所述导向结构还包括第一导向套和夹紧块，所述导气筒具有夹持部；
[0011]所述第一导向套和所述夹紧块均套设在所述导向件的所述另一端，且所述夹持部夹持在所述夹紧块和所述第一导向套之间。
[0012]在其中一个实施例中，所述导向结构还包括挡位件，所述挡位件设置于所述导向件的所述一端的端部，所述第一导向套位于所述夹紧块和所述弹性件之间，所述夹紧块位于所述挡位件和所述第一导向套之间。
[0013]在其中一个实施例中，所述导向结构还包括垫板，所述垫板套设在所述导向件，且
位于所述第一导向套和所述弹性件之间；
[0014]和/或，所述导向结构还包括设置于所述导向件的限位件，所述推动件上设置有安装孔，所述导向件穿设安装孔，所述弹性件限位于推动件和垫板之间，限位件位于推动件背离弹性件的一侧。
[0015]在其中一个实施例中，所述导气筒沿所述设定方向移动地套设在所述承重体上，所述导气筒的入口端和所述导气筒的出口端被配置为位于所述承重体与所述设定方向垂直的方向的相背两侧；
[0016]所述弹性组件包括弹性件，所述推动件固接所述导气筒的出口端，所述弹性件套设于位于所述承重体和所述出口端之间的所述导气筒上。
[0017]在其中一个实施例中，所述弹性组件还包括第二导向套，所述第二导向套设在所述承重体和所述导气筒之间；
[0018]和/或，所述弹性组件还包括第三导向套，所述第三导向套设置在所述推动件和所述导气筒之间。
[0019]在其中一个实施例中，所述弹性组件还包括第一伸缩管，所述第一伸缩管套设于所述导气筒上，且配置为固定连接在所述承重体和所述推动件之间；
[0020]和/或，所述弹性组件还包括第二伸缩管，所述第二伸缩管的一端固定连接所述推动件，另一端用于与抽气管对接，所述第二伸缩管与所述导气筒的出口端连通。
[0021]在其中一个实施例中，所述导气装置还包括密封垫，所述密封垫被配置为设置于所述导气筒的入口端。
[0022]在其中一个实施例中，所述导气筒包括在所述设定方向上连通的第一筒段和第二筒段，所述第二筒段被配置为穿设所述承重体，所述第一筒段被配置为与外部通道对接；
[0023]所述第三筒段的流通面积小于所述第二筒段的流通面积。
[0024]在其中一个实施例中，所述导气筒还包括第三筒段，所述第三筒段连接在所述第一筒段和所述第二筒段之间，所述第三筒段的流通面积在所述设定方向上朝向所述第二筒段递减。
[0025]在其中一个实施例中，所述推动件上配置有引导部，所述引导部用于与所述承重体配接，用于引导所述推动件沿所述设定方向移动。
[0026]第二方面，本申请提供了一种腔体结构，包括：
[0027]处理腔体；
[0028]通道结构，设于所述处理腔体内，用于容纳基片并流通气体；
[0029]如上述任一实施例所述的导气装置，所述推动件和所述动力源均安装于所述处理腔体上，且所述导气筒的入口端与所述通道结构的出口端对接连通。
[0030]在其中一个实施例中，所述通道结构用于承载所述基片的载具所构造形成，所述载具被构造为沿所述设定方向流通气体。
[0031]第三方面，本申请提供了一种腔体结构的使用方法，包括:
[0032]将装载有基片的所述通道结构输送至所述处理腔体内，并使得所述通道结构的出口端与所述导气筒的入口端对接以共同形成处理空间；
[0033]向所述处理空间通入处理气体。
[0034]第四方面，本申请提供了一种处理设备，所述处理设备包括如上述任一实施例所
述的腔体结构。
[0035]上述导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备，在实际作业时，导气筒经弹性组件、推动件安装在承重体上，动力源安装于承重体，导气筒的入口端用于与通道结构的出口端对接。当动力源推动推动件朝向导气筒的入口端移动，推动件压缩弹性组件中的弹性件，被压缩的弹性件作用弹性力于导气筒，使得导气筒的入口端紧紧贴合在外部通道的出口端，使得导气筒与外部通道能够密封对接，两者之间具有较好的气密性，如此可以提高导气装置的入口端与外部通道的出口端的气密性，降低外部通道内物质的外逸，有助于降低设备的维护周期，降低设备的维护成本，并且提高资源利用率。
附图说明
[0036]图1为一个或多个实施例中的导气装置的应用示意图；
[0037]图2为一个或多个实施例中的弹性组件的结构示意图；
[0038]图3为一个或多个实施例中的导气装置的应用示意图。
[0039]附图标记说明：
[0040]1000、腔体结构；100、导气装置；F、设定方向；K、连接孔；10、导气筒；11、第一筒段；12、第三筒段；13、第二筒段；14、夹持部；20、动力源；30、推动件；31、引导部；40、弹性组件；41、导向结构；41a、导向件；41b、第一导向套；41c、夹紧块；41d、挡位件；41e、垫板；41f、限位件；43、第二导向套；44、第三导向套；45、第一伸缩管；46、第二伸缩管；42、弹性件；50、密封垫；200、处理腔体；201、腔盖；210、通道结构；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种导气装置，其特征在于，所述导气装置包括：导气筒，沿设定方向导气；动力源和推动件，所述推动件被配置为在所述设定方向上可移动地安装于承重体上；所述动力源被配置于所述承重体，且用于驱动所述推动件移动；及弹性组件，被构造为在所述设定方向上可弹性形变的连接在所述导气筒和推动件之间。2.根据权利要求1所述的导气装置，其特征在于，所述弹性组件包括导向结构和弹性件，所述导向结构包括导向件，所述导向件沿所述设定方向连接在所述导气筒和所述推动件之间；所述导向件与所述导气筒和所述推动件中的至少一者沿所述设定方向可相对移动，且与另一者固定连接，所述弹性件套设于所述导向件。3.根据权利要求2所述的导气装置，其特征在于，所述导向结构还包括第一导向套和夹紧块，所述导气筒具有夹持部；所述第一导向套和所述夹紧块均固定套设在所述导向件，且所述夹持部夹持在所述夹紧块和所述第一导向套之间。4.根据权利要求3所述的导气装置，其特征在于，所述导向结构还包括挡位件，所述挡位件设置于所述导向件与所述夹持部连接的一端，所述第一导向套位于所述夹紧块和所述弹性件之间，所述夹紧块位于所述挡位件和所述第一导向套之间。5.根据权利要求4所述的导气装置，其特征在于，所述导向结构还包括垫板，所述垫板套设在所述导向件，且位于所述第一导向套和所述弹性件之间；和/或，所述导向结构还包括设置于所述导向件的限位件，所述推动件上设置有安装孔，所述导向件穿设安装孔，并相对所述安装孔可移动，所述弹性件限位于推动件和垫板之间，限位件位于推动件背离弹性件的一侧。6.根据权利要求1所述的导气装置，其特征在于，所述导气筒沿所述设定方向移动地套设在所述承重体上，所述导气筒的入口端和所述导气筒的出口端被配置为位于所述承重体与所述设定方向垂直的方向的相背两侧；所述弹性组件包括弹性件，所述推动件固接所述导气筒的出口端，所述弹性件套设于位于所述承重体和所述出口端之间的所述导气筒上。7.根据权利要求6所述的导气装置，其特征在于，所述弹性组件还包括第二导向套，所述第二导向套设在所述承重体和所述导气筒之间；和/或，所述弹性组件还包括第三导向套...
【专利技术属性】
技术研发人员：施述鹏，严大，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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