线形加热器和部分位于线形加热器的相对侧的光学谐振器制造技术

提供了线形加热器和部分位于线形加热器的相对侧的光学谐振器。特别地，本文提供的设备包括：一个或多个输入端；一个或多个输出端；一个或多个光波导，被配置为：从一个或多个输入端中的至少一个输入端接收光信号；以及将光信号传送到一个或多个输出端中的至少一个输出端；光学谐振器，被配置为调制或过滤光信号；以及加热器，被配置为加热光学谐振器，加热器是线形的并且具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，并且光学谐振器包括在加热器的第一侧的第一部分和在加热器的第二侧的第二部分。第一部分和在加热器的第二侧的第二部分。第一部分和在加热器的第二侧的第二部分。

【技术实现步骤摘要】
线形加热器和部分位于线形加热器的相对侧的光学谐振器

技术介绍

[0001]在绝缘体上硅(silicon
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on
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insulator)上实现的光学谐振器通常需要将它们的谐振频率热调谐到期望的频率。但是，目前的光学谐振器和加热器通常是环形的，环形加热器位于光学谐振器的内部或外部。由此，在与光学谐振器相对的一侧辐射的来自加热器的热量通常被浪费，因为该热量没有被导向光学谐振器。
附图说明
[0002]为了更好地理解本文描述的各种示例并更清楚地展示它们可以如何实施，现在将仅通过示例的方式参考附图，其中：
[0003]图1描绘了根据现有技术的示例设备。
[0004]图2描绘了根据非限制性示例的示例设备，该示例设备包括线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0005]图3描绘了根据非限制性示例的另一个示例设备，该示例设备包括线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0006]图4描绘了根据非限制性示例的另一个示例设备，该示例设备包括线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0007]图5描绘了根据非限制性示例的另一个示例线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0008]图6描绘了根据非限制性示例的另一个示例设备线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0009]图7描绘了根据非限制性示例的另一个示例线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0010]图8描绘了根据非限制性示例的另一个示例线形加热器和部分位于该线形加热器的相对侧的光学谐振器。
[0011]熟练的技术人员将认识到，图中的元件是为了简单和清楚而示出的并且不一定按比例绘制。例如，图中的一些元件的维度可能相对于其它元件被夸大以帮助提高对本专利技术的实施例的理解。
[0012]装置和方法部件在附图中适当地由常规符号表示，仅显示与理解本专利技术的实施例相关的那些特定细节，以免用对于受益于本文描述的本领域普通技术人员来说显而易见的细节混淆本公开。
具体实施方式
[0013]在绝缘体上硅上实现的光学谐振器通常需要将它们的谐振频率热调谐到期望的频率。但是，目前的光学谐振器和加热器通常是环形的，环形加热器位于光学谐振器的内部或外部。由此，在与光学谐振器相对的一侧辐射的来自加热器的热量通常被浪费，因为该热量没有被导向光学谐振器。
[0014]因此，本文提供了一种设备，其包括光学谐振器和线形的加热器，该加热器具有第一侧和与第一侧相对的第二侧。特别地，加热器不形成环和/或圆形等，使得光学谐振器成形为包括在加热器的第一侧的第一部分和在加热器的第二侧的第二部分。加热器可以是任何合适的线形并且可以是直的、弯曲的、波浪形的，等等，只要加热器不封闭空间并且光学谐振器可以成形为在加热器的两侧都具有部分即可。
[0015]特别地，本说明书提供了一种设备，包括：一个或多个输入端；一个或多个输出端；一个或多个光波导，被配置为：从一个或多个输入端中的至少一个输入端接收光信号；以及将光信号传送到一个或多个输出端中的至少一个输出端；光学谐振器，被配置为调制或过滤光信号；以及加热器，被配置为加热光学谐振器，加热器是线形的并且具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，并且光学谐振器包括在加热器的第一侧的第一部分和在加热器的第二侧的第二部分。
[0016]图1描绘了根据现有技术的设备100，包括：输入端102；输出端104(或者替代地输出端104A)；一个或多个光波导106、106A，被配置为：在输入端102接收光信号；以及将光信号传送到输出端104(或输出端104A)；光学谐振器108，被配置为调制或过滤光信号；以及加热器110，被配置为加热光学谐振器108。如图所示，光学谐振器108和加热器110都是环形，并且因此各自形成封闭空间。设备100还可以包括绝缘体上硅(SOI)设备，例如具有由硅形成的光学谐振器108和光波导106，以及由诸如铝之类的导电和/或电阻材料形成的加热器110及其电极112。但是，任何合适的材料都在本说明书的范围内。
[0017]如图所示，加热器110包括一对电极112，其可以电连接到电源以向加热器110提供电流。虽然电极112被描绘为位于加热器110的相对侧，并且经由环的两个弧形部分(例如，弧形电阻器部分)电连接，但是电极112可以位于任何合适的位置。
[0018]虽然未绘出，但是应该理解的是，设备100可以包括任何其它合适的部件，包括但不限于，将光信号输入到输入端102(和/或另一个输入端)的激光器、功率监视器、光学谐振器108的电压控制设备(例如，控制光学谐振器108对光信号的调制)、衰减器、反馈部件、控制器等。
[0019]此外，如图所示，设备100包括输入端102和输出端104之间的光波导106，其中光学谐振器108调制在输入端102处接收到的例如由激光器提供的并在输出端104处发射的光信号。替代地，光学谐振器108可以通过将光信号的一部分从第一光波导106传送到第二光波导106A来调制在输入端102处接收到的光信号，其中光信号在第二输出端104A处发射。替代地，虽然未绘出，但设备100可以包括多于一个输入端，在该输入端处可以接收光信号并将其传送到输出端104、104A中的至少一个(例如，由光学谐振器108调制或过滤)。
[0020]此外，虽然加热器110被绘制在与光学谐振器108相同的平面中，但是加热器110可以在光学谐振器108的“下方”或“上方”(例如，在与光学谐振器108不同的平面中)。
[0021]此外，虽然为简单起见没有绘出，但是当光学谐振器108调制光信号(例如，在输入端102和输出端104之间)时，光学谐振器108通常可以被理解为包括电压控制设备，该电压控制设备可以用于控制跨光学谐振器108的至少一部分的电压，其使光学谐振器108的调制波长(例如，和/或谐振频率和/或光学传递函数的谐振峰)移位。通过控制跨光学谐振器108的电压来使调制波长和/或谐振频率移位和不移位，光波导106上的光信号被调制并且因此数据可以被编码到光信号中。但是，在其它示例中，光学谐振器108可以过滤光信号，例如将
光信号的特定频率从第一光波导106传送到第二光波导106A；在这些示例中，光信号可以不被调制并且设备100可以不包括电压控制设备。
[0022]无论调制还是滤波，通常控制光学谐振器108以将调制波长(例如，光学传递函数的谐振峰的区域)与光信号的波长(例如，激光波长)大约对齐。特别地，光学谐振器108的调制波长和/或谐振频率对热敏感。因此，为了控制光学谐振器108的调制波长和/或谐振频率，设备100包括被配置为加热光学谐振器108的加热器110。一般而言，加热器110被控制以将光学谐振器108的光学传递函数的谐振峰的区域与光信号的波长对齐。
[0023]因此，加热器110可以用于将光学谐振器108控制到光学谐振器108调制或过滤与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种设备，包括：一个或多个输入端；一个或多个输出端；一个或多个光波导，被配置为：从所述一个或多个输入端中的至少一个输入端接收光信号；以及将光信号传送到所述一个或多个输出端中的至少一个输出端；光学谐振器，被配置为调制或过滤光信号；以及加热器，被配置为加热所述光学谐振器，所述加热器为线形并且具有第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，以及所述光学谐振器包括在所述加热器的所述第一侧的第一部分和在所述加热器的所述第二侧的第二部分。2.如权利要求1所述的设备，其中所述加热器位于由所述光学谐振器形成的封闭空间内部，使得所述第一部分和所述第二部分的相应内侧面向所述加热器。3.如权利要求2所述的设备，其中所述第一部分和所述第二部分与所述加热器相邻，并且所述光学谐振器还包括结合所述第一部分和所述第二部分的相对端，所述相对端是圆角的，并且所述相对端比所述第一部分和所述第二部分之间的距离宽。4.如权利要求1所述的设备，其中所述加热器位于由所述光学谐振器形成的封闭空间外部，使得所述第一部分和所述第二部分的相应外侧面向所述加热器。5.如权利要求4所述的设备，其中所述第一部分和所述第二部分与所述加热器相邻，并且所述光学谐振器还包括结合所述第一部分和所述第二部分的相对端，所述相对端是圆角的，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：K，
申请(专利权)人：拉诺沃斯公司，
类型：发明
国别省市：