一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，包括过滤箱、过滤板、排气管、导气空腔柱和扇叶，所述过滤箱的内部对称预设有过滤气道，所述过滤箱的一侧外表面设置有进气管，且进气管设置为倒Y形状。该气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，该装置整体在进行使用时，通过在过滤箱的内部设置两个过滤气道，同时配合一侧Y型进气管的设置，从而使得整体形成多气道，同时配合转轴、密封挡板、限位齿轮、伸缩气缸和定位齿条的设置，从而使得整体可对两侧过滤气道进行切换使用，保证整体在对一侧气道内部过滤板进行更换时，依旧能够对排出气体进行过滤，保证整体过滤效果，整体切换方便，实用性高。实用性高。实用性高。

【技术实现步骤摘要】
一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备


[0001]本技术涉及多晶硅提纯
，具体为一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备。

技术介绍

[0002]提纯是指将混合物中的杂质分离出来以此提高其纯度，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理和光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
[0003]公开号为CN217725684U，公开了一种具有气体导入过滤结构的多晶硅提纯装置，其通过设置有过滤箱、活性炭过滤板和固定栓，在气体排放之前进入到过滤箱的内部，然后经过活性炭过滤板的过滤后放出，方便对气体导入过滤，避免污染环境，但是其在实际使用时还具有一定的缺陷，比如其说明书中阐述“在反应过滤池10的左侧设置有过滤箱3，为了防止气体排出时残留有害物质，在过滤箱3的内端设置有活性炭过滤板15，气体经过活性炭过滤板15过滤后流出，当需要更换活性炭过滤板15的时候，将固定栓16从过滤箱3的内部拧下即可”，其在对内部的过滤板进行更换时，此时将板体抽处，因此在对过滤板抽出更换的过程中排出的气体并不能够进行过滤，因此影响整体的过滤效果，整体为单气道设置，整体不能够进行持续过滤使用，整体使用具有一定的局限性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，以解决上述
技术介绍
中提出的在对内部的过滤板进行更换时，此时将板体抽处，因此在对过滤板抽出更换的过程中排出的气体并不能够进行过滤，因此影响整体的过滤效果，整体为单气道设置，整体不能够进行持续过滤使用，整体使用具有一定的局限性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，包括过滤箱、过滤板、排气管、导气空腔柱和扇叶，所述过滤箱的内部对称预设有过滤气道，所述过滤箱的一侧外表面设置有进气管，且进气管设置为倒Y形状，所述进气管的两侧输出端分别贯穿安装在对应侧的过滤气道内部，所述进气管两侧输出端靠近过滤箱的一侧交汇处内部转动安装设置有转轴，所述转轴靠近进气管进气端的一侧安装设置有密封挡板，且密封挡板的一侧与过滤气道的一侧内壁抵触贴合，所述过滤箱位于过滤气道远离进气管的一侧均贯穿导通设置有排气管，所述过滤箱的内部纵向滑动卡合设置有过滤板，所述过滤板远离进气管的一侧均滑动卡合设置有顶针架。
[0006]优选的，所述转轴的一端转动贯穿密封安装在进气管的顶端一侧外部，所述转轴的顶端贯穿端固定安装设置有限位齿轮，所述进气管的顶端一侧安装设置有伸缩气缸，且伸缩气缸的输出端固定安装设置有定位齿条，并且定位齿条的一侧与限位齿轮的一侧啮合连接；
[0007]采用上述技术方案使得整体在进行使用时能够通过控制伸缩气缸伸缩，从而带动
转轴和密封挡板进行转动，从而切换的过滤气道进行使用。
[0008]优选的，所述排气管的内部均安装设置有导气空腔柱，且导气空腔柱的内部均转动安装设置有扇叶，并且导气空腔柱的两侧外表面对称交错导通设置有进气口和出气口，所述扇叶的内杆一端转动贯穿密封安装在排气管的一侧外部；
[0009]采用上述技术方案使得整体在进行使用时能够通过过滤排出的气体带动扇叶进行转动，从而为后续的去清堵结构提供动力。
[0010]优选的，所述排气管的进气端均设置有V形状，以使得所述排气管在排气时流速加快，所述扇叶的内杆一侧贯穿端固定安装设置有转盘，所述排气管位于转盘中心位置的底端一侧外表面嵌入式转动安装设置有转动轴，且转动轴远离排气管的一端贯穿固定安装设置有限位安装架，所述转盘靠近限位安装架的一侧外表面边缘处嵌入式转动安装设置有定位杆；
[0011]采用上述技术方案使得整体在进行使用时能够通过扇叶转动，从而带动转盘转动，从而使得一侧限位安装架能够同时进行定位摇摆运动。
[0012]优选的，所述限位安装架的内部嵌入式贯穿设置有限位滑槽，且定位杆的一侧外表面安装在限位滑槽一侧内部，所述限位安装架的底端外表卖面安装设置有扇形齿，所述过滤箱位于排气管之间的底端一侧外表面的对称设置有2组定位安装座，且每组定位安装座之间均滑动伸缩卡合设置有限位滑杆；
[0013]采用上述技术方案使得整体在进行使用时能够通过限位安装架的摇摆往复运动，从而带动底端的限位滑杆进行往复运动，从而带动顶针架进行往复运动。
[0014]优选的，所述限位滑杆靠近扇形齿的顶端一侧外表面等间距设置有齿牙，且扇形齿的底端一侧与齿牙啮合，所述限位滑杆的一端贯穿滑动密封安装在过滤气道的一侧内部，且限位滑杆的贯穿端与顶针架的底端一侧安装固定，所述顶针架朝向过滤板内部滤网的一侧均固定安装设置有抵触针；
[0015]采用上述技术方案使得整体在进行使用时，能够通过抵触针的往复插设，从而能够对过滤孔进行清堵，起到一定的清堵作用，保证整体过滤使用效果。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备：
[0017]1.该装置整体在进行使用时，通过在过滤箱的内部设置两个过滤气道，同时配合一侧Y型进气管的设置，从而使得整体形成多气道，同时配合转轴、密封挡板、限位齿轮、伸缩气缸和定位齿条的设置，从而使得整体可对两侧过滤气道进行切换使用，保证整体在对一侧气道内部过滤板进行更换时，依旧能够对排出气体进行过滤，保证整体过滤效果，整体切换方便，实用性高；
[0018]2.该装置整体在进行使用时，通过在过滤箱靠近过滤气道的输出端设置排气管，同时通过导气空腔柱、扇叶、转盘、定位杆、限位安装架、转动轴、扇形齿、定位安装座、限位滑杆、齿牙、顶针架和抵触针，使得整体在排气时能够使得顶针架带动抵触针在过滤板的滤孔中进行往复运动，从而对滤孔进行清理防堵，保证通气的过滤效果，降低过滤板整体更换频率，具有一定的清堵作用；
[0019]3.该装置整体在进行使用时，通过在排气管的进气端设置为V形状，从而使得气体在排出时，增加流速，使得导气空腔柱内部的扇叶能够进行匀速转动，保证整体的运行稳
定，使得整体使用效果更好，同时整体通过自身过滤排出的加压气对的扇叶进行驱动，从而使得整体无需外接其他电源使用，整体节能。
附图说明
[0020]图1为本技术整体立体结构示意图；
[0021]图2为本技术整体剖视立体结构示意图；
[0022]图3为本技术图2中A处放大结构示意图；
[0023]图4为本技术转轴与限位齿轮安装立体结构示意图。
[0024]图中：1、过滤箱；2、过滤气道；3、进气管；4、转轴；5、密封挡板；6、限位齿轮；7、伸缩气缸；8、定位齿条；9、过滤板；10、排气管；11、导气空腔柱；12、扇叶；13、转盘；14、定位杆；15、限位安装架；16、转动轴；17、扇形齿；18、定位安装座；19、限位滑杆；20、齿牙；21、顶针架；22、抵触针。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，包括过滤箱(1)、过滤板(9)、排气管(10)、导气空腔柱(11)和扇叶(12)，其特征在于：所述过滤箱(1)的内部对称预设有过滤气道(2)，所述过滤箱(1)的一侧外表面设置有进气管(3)，且进气管(3)设置为倒Y形状，所述进气管(3)的两侧输出端分别贯穿安装在对应侧的过滤气道(2)内部，所述进气管(3)两侧输出端靠近过滤箱(1)的一侧交汇处内部转动安装设置有转轴(4)，所述转轴(4)靠近进气管(3)进气端的一侧安装设置有密封挡板(5)，且密封挡板(5)的一侧与过滤气道(2)的一侧内壁抵触贴合，所述过滤箱(1)位于过滤气道(2)远离进气管(3)的一侧均贯穿导通设置有排气管(10)，所述过滤箱(1)的内部纵向滑动卡合设置有过滤板(9)，所述过滤板(9)远离进气管(3)的一侧均滑动卡合设置有顶针架(21)。2.根据权利要求1所述的一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，其特征在于：所述转轴(4)的一端转动贯穿密封安装在进气管(3)的顶端一侧外部，所述转轴(4)的顶端贯穿端固定安装设置有限位齿轮(6)，所述进气管(3)的顶端一侧安装设置有伸缩气缸(7)，且伸缩气缸(7)的输出端固定安装设置有定位齿条(8)，并且定位齿条(8)的一侧与限位齿轮(6)的一侧啮合连接。3.根据权利要求1所述的一种气体过滤型多气道式多晶硅提纯设备，其特征在于：所述排气管(10)的内部均安装设置有导气空腔柱(11)，且导气空腔柱(11)的内部均转动安装设置有扇叶(12)，并且导气空腔柱(11)的两侧外表面对称交错导通设置有进气口和出气口，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵松，李水华，陈才，耿国抗，
申请(专利权)人：大理立新硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：