本申请提供了一种曝光装置，涉及曝光技术领域。曝光装置包括输送机构和曝光机构；输送机构用于输送基材，基材的表面涂有光刻胶；曝光机构包括曝光源和曝光件，曝光源用于向基材提供光线；曝光件包括与基材相对的曝光段，曝光段位于曝光源与基材之间并贴近基材设置，曝光段具有允许光线入射至基材的透光部和阻止光线入射至基材的遮光部，曝光段被配置为使透光部和遮光部与基材保持同步运动。曝光件设有遮光部和透光部的部分相对基材同步运动，实现在输送基材的过程中被曝光机构曝光处理，提高曝光效率。在基材输送过程中，遮光部和透光部相对基材静止，能够保证曝光件上的图形高速且完全曝光至基材上，且图形一致性好。且图形一致性好。且图形一致性好。
【技术实现步骤摘要】
曝光装置
[0001]本申请涉及曝光
，具体而言，涉及一种曝光装置。
技术介绍
[0002]曝光技术是曝光是利用光照将曝光片上的图形经过光学系统后投影到基材上，实现图形转移。曝光技术广泛应用在集成电路制造、电池制造等领域中。目前，曝光机使得转移至基材上的图形与曝光片上的图形的一致性较差。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种曝光装置，以提高曝光质量。
[0004]本申请实施例提供一种曝光装置，包括输送机构和曝光机构；所述输送机构用于输送基材，所述基材的表面涂有光刻胶；所述曝光机构包括曝光源和曝光件，所述曝光源用于向所述基材提供光线；所述曝光件包括与所述基材相对的曝光段，所述曝光段位于所述曝光源与所述基材之间并贴近所述基材设置，所述曝光段具有允许所述光线入射至所述基材的透光部和阻止所述光线入射至所述基材的遮光部，所述曝光段被配置为使所述透光部和所述遮光部与所述基材保持同步运动。
[0005]上述技术方案中，曝光件设有遮光部和透光部的部分相对基材同步运动，实现在输送基材的过程中被曝光机构曝光处理，提高曝光效率。且遮光部和透光部相对基材同步运动，换句话说，在基材输送过程中，遮光部和透光部相对基材静止，能够保证曝光件上的图形高速且完全曝光至基材上，且图形一致性好，从而提高曝光质量。
[0006]在本申请的一些实施例中，所述曝光机构还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述曝光件运动，以使所述透光部和所述遮光部与所述基材保持同步运动。
[0007]上述技术方案中，曝光件通过驱动组件驱动其运动，便于单独地控制曝光件的运动，提高曝光装置各个部件控制的灵活性。
[0008]在本申请一些实施例中，所述驱动组件包括间隔布置的第一传动辊和第二传动辊，所述曝光件绕设于所述第一传动辊和所述第二传动辊，所述曝光件在所述第一传动辊和所述第二传动辊之间形成所述曝光段。
[0009]上述技术方案中，曝光件绕设于第一传动辊和第二传动辊，第一传动辊和第二传动辊配合驱动曝光件运动，能够提高曝光件的运动稳定性，有利于保证曝光件上的图形高速且完全曝光至基材上，以使图形一致性好。第一传动辊和所述第二传动辊之间形成曝光段，位于曝光段上的遮光部和透光部相对基材同步运动的距离和时间相同，使得基材各个部位的曝光时间相同，提高曝光图形的一致性。
[0010]在本申请一些实施例中，所述驱动组件还包括第三传动辊和第四传动辊，所述第一传动辊、所述第二传动辊、所述第三传动辊和所述第四传动辊分布于矩形的四角，所述曝光件绕设于所述第一传动辊、所述第二传动辊、所述第三传动辊和所述第四传动辊。
[0011]上述技术方案中，曝光件绕设于第一传动辊、第二传动辊、第三传动辊和第四传动
辊，第一传动辊、第二传动辊、第三传动辊和第四传动辊配合驱动曝光件运动，能够提高曝光件的运动稳定性，有利于保证曝光件上的图形高速且完全曝光至基材上，以使图形一致性好。
[0012]在本申请的一些实施例中，所述曝光件为首尾相连的闭环结构。
[0013]上述技术方案中，曝光件为首尾相连的闭环结构，则曝光件循环运动，减小曝光件占用的空间。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述驱动组件还包括第五传动辊，所述第五传动辊设置于所述曝光段背离所述基材的一侧。
[0015]上述技术方案中，第五传动辊设置于曝光段背离基材的一侧，能够与基材配合共同限制曝光段的晃动幅度，从而能够保证曝光件上的高速且完全曝光至基材上，且图形一致性好。
[0016]在本申请的一些实施例中，所述曝光源位于所述第一传动辊和所述第二传动辊之间。
[0017]上述技术方案中，曝光源位于第一传动辊和所述第二传动辊之间，使得曝光机构的结构更加紧凑，减小曝光机构占用的空间。
[0018]在本申请的一些实施例中，所述曝光源的数量为多个，多个所述曝光源间隔布置。
[0019]上述技术方案中，曝光源的数量为多个，能够增大同一时间对基材的曝光面积，从而提高曝光效率。
[0020]在本申请的一些实施例中，所述遮光部的数量为多个，多个所述遮光部呈矩形阵列布置。
[0021]上述技术方案中，多个遮光部呈矩形阵列布置，通过曝光源照射后，能够在基材上形成较为规则的图案，便于判断曝光件上的图案是否完全曝光至基材上以及图形一致性是否符合要求。
[0022]在本申请的一些实施例中，所述曝光机构的数量为两个，两个所述曝光机构分别位于所述基材的两侧。
[0023]上述技术方案中，两个曝光机构分别位于基材的两侧，能够在基材输送过程中对基材的两侧进行曝光，提高曝光效率。
[0024]在本申请的一些实施例中，所述输送机构包括放料辊和卷料辊，所述放料辊用于释放所述基材，所述卷料辊设置于所述放料辊的下游，所述放料辊用于收卷所述放料辊释放的基材。
[0025]上述技术方案中，放料辊和卷料辊配合输送基材，能够提供基材输送的稳定性；且能够实现在输送基材的过程中被曝光机构曝光处理，提高曝光效率。
[0026]在本申请的一些实施例中，所述输送机构还包括第六传动辊，所述第六传动辊设置于所述放料辊的下游并位于所述卷料辊的上游，所述第六传动辊用于将所述基材从所述放料辊向所述卷料辊传送。
[0027]上述技术方案中，第六传动辊能够对位于放料辊和卷料辊之间的基材起到支撑作用，降低基材在传输过程中因重力而被扯断的风险。第六传动辊的设置还能提高基材输送的稳定性。
[0028]在本申请的一些实施例中，所述基材为涂有光刻胶的集流体，所述曝光件为掩盖
膜，和/或所述曝光源为紫外线光源。
[0029]上述技术方案中，基材为涂有光刻胶的集流体，通过该曝光装置进行曝光处理能够提高极片的生产效率；曝光件为掩盖膜、曝光源为紫外线光源都是成本较低且容易获取的部件，能够降低生产成本。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0031]图1为本申请一些实施例提供的曝光装置的结构示意图；
[0032]图2为本申请另一些实施例提供的曝光装置的结构示意图；
[0033]图3为本申请又一些实施例提供的曝光装置的结构示意图；
[0034]图4为本申请再一些实施例提供的曝光装置的结构示意图；
[0035]图5为本申请一些实施例提供的曝光件的局部示意图；
[0036]图6为本申请又再一些实施例提供的曝光装置的结构示意图。
[0037]图标：100
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曝光装置；10
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输送机构；11
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放料辊；12
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卷料辊；13
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第六传动辊；20
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，其特征在于，包括：输送机构，用于输送基材，所述基材的表面涂有光刻胶；以及曝光机构，包括：曝光源，用于向所述基材提供光线；曝光件，包括与所述基材相对的曝光段，所述曝光段位于所述曝光源与所述基材之间并贴近所述基材设置，所述曝光段具有允许所述光线入射至所述基材的透光部和阻止所述光线入射至所述基材的遮光部，所述曝光段被配置为使所述透光部和所述遮光部与所述基材保持同步运动。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光机构还包括驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述曝光件运动，以使所述透光部和所述遮光部与所述基材保持同步运动。3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述驱动组件包括间隔布置的第一传动辊和第二传动辊，所述曝光件绕设于所述第一传动辊和所述第二传动辊，所述曝光件在所述第一传动辊和所述第二传动辊之间形成所述曝光段。4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述驱动组件还包括第三传动辊和第四传动辊，所述第一传动辊、所述第二传动辊、所述第三传动辊和所述第四传动辊分布于矩形的四角，所述曝光件绕设于所述第一传动辊、所述第二传动辊、所述第三传动辊和所述第四传动辊。5.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光件为首尾相连的闭环结构。6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘萧松，李克强，吴志阳，卢毅，
申请(专利权)人：宁德时代新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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