一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法技术

一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法，系采用如下步骤制得产品：１、采用钛粉和铝粉，钛粉重量比为５～７５％，其余为铝粉；２、均匀混合４～１６小时后倒入模具；３、将模具置于加热机正、负极基板之间施加５０００～２５０００Ａ电流和５Ｖ电压。升温达４００～５２０℃时，保温５～２０分钟。温升到８００～１２００℃实施１０～３０分钟烧结；４、置入６００～１２００℃电阻炉加热４～６小时，冷却，脱模得成品。本发明专利技术采用可获得大电流的装置，利用大电流使铝粉和钛粉发热，施以压力，使铝和钛自身反应产出铝钛合金靶材。产品的致密度＞９９％，晶粒尺寸≤１００μｍ、成本低，完全能满足大规模产业化生产的要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及粉末冶金加工领域的金属表面镀膜材料，尤其涉及一种铝钛合金靶材 的生产方法。
技术介绍
铝钛合金是一种新型的真空镀膜用合金溅射靶材，在该合金中，通过调配铝与钛 的含量可以获得不同特性的铝钛合金靶材，如配合氮气放电起弧实施溅射，可以获得高硬 度低摩擦系数表面膜，特别适合各种刀具、模具和其它易损件的表面层涂，因此用途广泛。 但其制备很困难，这是因为在不同的成分配比条件下，铝和钛之间可以形成多种金属间化 合物，如Ti3Al、TiAl, TiAl2, TiAl3等，这些金属间化合物的存在导致了铝钛合金的加工脆 性，特别是合金中铝的含量超过50%时，合金的氧化性骤然提高，传统条件下很快就会氧化 甚至燃烧。而且，合金化过程是一个放热膨胀的过程，往往造成孔隙率高，氧化严重的后果， 无法满足靶材要求。因此，同时也造成了工艺流程的复杂化。国内专利200710303869. 3提 供了一种采用热等静压制备粉末冶金钛铝靶材的工艺，该工艺采用热等静压手段，流程长， 要求高，然而制作出来的材料性能却不稳定，而且成本过高。而其他一些文献报道的工艺， 有在铸造过程中产生气泡、疏松和偏析的；有成分与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通过大强度电流生产铝钛合金靶材的方法，该方法系采用如下原料和工艺步骤制得铝钛合金靶材：１、采用钛粉和铝粉配料获得坯料，其中钛粉的重量百分比为５～７５％，其余为铝粉，所采用的钛粉的粒度范围为１０～１００μｍ，纯度≥９９．５％，氧含量≤５００ｐｐｍ；铝粉的粒度范围为１０～５０μｍ，纯度≥９９．５％，氧含量≤５００ｐｐｍ；２、将步骤１所得坯料投入混料机中均匀混合４～１６小时后，倒入模具中振动均匀；３、将步骤２所得装有混合均匀的坯料的模具置于加热机电路的正极基板与负极基板之间，通过该电器电源的正极基板与负极基板向模具中的铝粉与钛粉混合坯料施加５０００～２５０００Ａ电流和５Ｖ的电压，通过电极对模具中...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：余鹏，
申请(专利权)人：余鹏，
类型：发明
国别省市：43[中国|湖南]