一种蒸发镀膜装置制造方法及图纸

本申请提供了一种蒸发镀膜装置，包括：线性蒸发舟，具有相对的正极端和负极端，其中，所述蒸发镀膜装置的阻抗沿第一方向上降低，所述第一方向为所述正极端到所述负极端的方向。由于流经所述线性蒸发舟的电流会在所述第一方向上不断衰弱，而所述蒸发镀膜装置的阻抗沿着会随着电流方向降低，因此保证了流经所述线性蒸发舟的电流近似不变甚至不变，提高了蒸发舟不同位置蒸发料蒸发速率的一致性，提高了蒸发舟不同位置对应镀膜膜厚的均匀性。舟不同位置对应镀膜膜厚的均匀性。舟不同位置对应镀膜膜厚的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发镀膜装置


[0001]本申请涉及镀膜蒸发领域，更具体的说，是涉及一种蒸发镀膜装置。

技术介绍

[0002]在现代的各种表面工程技术的工艺中，镀膜蒸发技术由于其应用范围广、污染程度小等优点，被业内的技术人员所青睐。
[0003]而在镀膜蒸发领域中，一般采用线性蒸发源，船型蒸发舟、蒸发篮加坩埚等方式进行镀膜蒸发，其中使用线性蒸发源的镀膜均匀性好，材料利用率高，但是造价昂贵，而蒸发篮加坩埚的镀膜方式装料较多并且能够进行大面积的镀膜蒸发，但极限温度低，只能蒸发低熔点材料；而船型蒸发舟的造价低廉，但是蒸发均匀区域较小，材料利用率低，浪费严重。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提供了一种蒸发镀膜装置，方案如下：
[0005]一种蒸发镀膜装置，包括：
[0006]线性蒸发舟，具有相对的正极端和负极端；
[0007]其中，所述蒸发镀膜装置的阻抗沿第一方向上降低；所述第一方向为所述正极端到所述负极端的方向。
[0008]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述线性蒸发舟包括：
[0009]舟体，所述舟体具有相对的第一表面和第二表面；
[0010]第一表面具有用于放置蒸发料的蒸发室；
[0011]在所述第一方向上，所述蒸发室的底部与所述第二表面的距离逐渐增大。
[0012]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述线性蒸发舟包括：
[0013]舟体，所述舟体具有相对的第一表面和第二表面；
[0014]第一表面具有用于放置蒸发料的蒸发室；
[0015]在所述第一方向上，所述蒸发室的底部与所述第二表面的距离不变；
[0016]设置在所述第二表面上的金属辅助组件，所述金属辅助组件与所述第二表面电接触；所述金属辅助组件的阻抗沿所述第一方向降低。
[0017]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述金属辅助组件为一体成型结构；
[0018]在所述第一方向上，所述金属辅助组件的厚度逐渐增大。
[0019]优选的，所述金属辅助组件包括多个区块，各个所述区块在所述第一方向上依次贴合固定在所述第二表面上；
[0020]其中，同一所述区块的厚度相同，不同所述区块的厚度沿所述第一方向逐渐增大。
[0021]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述金属辅助组件包括多个区块，各个所述区块在所述第一方向上依次贴合固定在所述第二表面上；
[0022]其中，同一所述区块的厚度沿所述第一方向逐渐增大，不同所述区块的厚度沿所述第一方向逐渐增大。
[0023]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述区块是一体成型的金属块。
[0024]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述区块包括至少一个导电片；对于同一所述区块，如果具有多个所述导电片，多个所述导电片在垂直于所述第二表面的方向上堆叠；
[0025]所述金属辅助组件具有N个所述区块，N是大于1的正整数；该N个所述区块在所述第一方向依次为第1区块
‑
第N区块；
[0026]其中，第i
‑
1区块中所述导电片的数量小于第i区块中所述导电片的数量，i是大于1且不大于N的正整数。
[0027]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，还包括：
[0028]与所述正极端和所述负极端连接的连接装置，用于为所述线性蒸发舟提供工作电压。
[0029]通过上述描述可知，本申请提供的蒸发镀膜装置，包括：线性蒸发舟，具有相对的正极端和负极端，其中，所述蒸发镀膜装置的阻抗沿第一方向上降低，所述第一方向为所述正极端到所述负极端的方向。由于流经所述线性蒸发舟的电流会在所述第一方向上不断衰弱，而所述蒸发镀膜装置的阻抗沿着会随着电流方向逐渐降低，因此保证了流经所述线性蒸发舟的电流近似不变甚至不变，提高了蒸发舟不同位置蒸发料蒸发速率的一致性，提高了蒸发舟不同位置对应镀膜膜厚的均匀性。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0031]本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0032]图1是常规的一种线性蒸发舟的结构示意图；
[0033]图2是本申请实施例提供的一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0034]图3是本申请实施例提供的另一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0035]图4是本申请实施例提供的又一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0036]图5是本申请实施例提供的又一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0037]图6是本申请实施例提供的又一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0038]图7是本申请实施例提供的又一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0039]图8是本申请实施例提供的一种连接装置蒸发镀膜装置的结构示意图。
具体实施方式
[0040]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的实施例进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都
属于本申请保护的范围。
[0041]对大尺寸的基底进行镀膜蒸发时一般有两种方法，其中采用蒸发舟进行镀膜对于材料的尺寸有着要求，当尺寸过大会导致镀膜不均匀，而使用蒸发篮加坩埚进行镀膜则会对温度有要求，其所能支撑的温度范围过小。
[0042]目前的线性蒸发舟多为实验室小尺寸的线性蒸发舟。但是，实际应用中需要对较大面积尺寸的玻璃基底进行镀膜。所以需要开发应用可以进行大尺寸板材蒸发镀膜的线性蒸发舟。如果简单将小尺寸线性蒸发舟进行尺寸放大，在其正负极之间施加直流电源后，传热从正极端到靠近负极端，由于线性蒸发舟尺寸增大，导致线性蒸发舟不同位置热量不均匀，从而使得蒸发料的蒸发不均匀，导致镀膜速率不一致，从而造成镀膜膜厚均匀性差。
[0043]已有的线性蒸发舟的结构可以参考图1所示，图1为常规的一种蒸发舟的结构示意图。在图1中蒸发室12底部厚度保持不变，图中的刻度方向为电流方向，基于图1所示的线性蒸发舟100对材料进行了镀膜蒸发，得到了如表1所示的镀膜结果。
[0044]表1
[0045]位置01020304050膜厚(nm)85.0575.965.754.250.149.8
[0046]表1中的数据是线性蒸发舟在不同位置处对应的镀膜厚度，可以看出在位置0处对应的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：线性蒸发舟，具有相对的正极端和负极端；其中，所述蒸发镀膜装置的阻抗沿第一方向上降低；所述第一方向为所述正极端到所述负极端的方向。2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述线性蒸发舟包括：舟体，所述舟体具有相对的第一表面和第二表面；第一表面具有用于放置蒸发料的蒸发室；在所述第一方向上，所述蒸发室的底部与所述第二表面的距离逐渐增大。3.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述线性蒸发舟包括：舟体，所述舟体具有相对的第一表面和第二表面；第一表面具有用于放置蒸发料的蒸发室；在所述第一方向上，所述蒸发室的底部与所述第二表面的距离不变；设置在所述第二表面上的金属辅助组件，所述金属辅助组件与所述第二表面电接触；所述金属辅助组件的阻抗沿所述第一方向降低。4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述金属辅助组件为一体成型结构；在所述第一方向上，所述金属辅助组件的厚度逐渐增大。5.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述金属辅助组件包括多个区块，各个所述区块在所述第一方向上依次贴合固定在所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵志国，李梦洁，赵东明，秦校军，冯笑丹，刘家梁，
申请(专利权)人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：