一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器制造技术

本发明专利技术提供了一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，包括：壳体、气路系统、进样系统、分离系统和检测及数据处理系统，所述气路系统设置为双路反吹设置。本发明专利技术的目的在于提供一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，能够在检测时将其他组分排出避免其谱峰与检测组分重叠影响检测，在提升检测精确度的同时提高检测效率。同时提高检测效率。同时提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器


[0001]本专利技术涉及放电离子化色谱仪
，特别涉及一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器。

技术介绍

[0002]硅烷作为一种特种气体，自1857年被德国科学家发现后，在工业生产中得到了越来越多的应用。上世纪80年代以来，随着硅烷在电子工业中的应用被开发出来，其重要性也得到了逐步提升。现如今硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体,用于各种微电子薄膜制备,包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。同时硅烷的微电子应用还在向纵深发展，包括：低温外延、选择外延、异质外延等。但是，硅烷的纯度对器件性能和成品率影响极大，因此在生产应用中首先要保证硅烷具有较高的纯度。
[0003]在气体成分检测中最常用到的设备为气相色谱仪，但是传统的气相色谱仪只能测定一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物等，而对于硅烷等无机组分无法准确测量，因此出现了带有放电氦离子检测器气相色谱仪，用于对硅烷等特种气体实现精确检测。
[0004]但是，现有放电氦离子检测器气相色谱仪由于其气路系统较为单一，因此当硅烷内杂质组分较多时，各组分谱峰之间发生重叠，不仅使得检测过程较慢，还会影响检测精度，因此需要设计一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，能够在检测时将其他组分排出避免其谱峰与检测组分重叠影响检测，在提升检测精确度的同时提高检测效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，能够在检测时将其他组分排出避免其谱峰与检测组分重叠影响检测，在提升检测精确度的同时提高检测效率。
[0006]为此，采用的技术方案是，本专利技术的一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，包括：
[0007]壳体，所述壳体设置在装置外部用于保护装置整体；
[0008]气路系统，用于推动载气稳定流动，所述气路系统采用双路反吹设置；
[0009]进样系统，包括进样器、气化室和加热模块，所述进样系统用于将试样完成进样并加热气化送至色谱柱内；
[0010]分离系统，包括柱室和色谱柱，用于将试样各组分分离方便后续检测；
[0011]检测及数据处理系统，包括检测器和数据转换模块，所述检测及数据处理系统用于对试样各组分含量进行监测，并将检测数据转换为电信号输出。
[0012]优选的，还包括温控系统，所述温控系统与所述检测及数据处理系统电连接，温控系统用于控制气化室、色谱柱和检测器三处的温度进行控制。
[0013]优选的，还包括散热组件，所述散热组件包括：
[0014]散热箱，所述散热箱设置在所述壳体底部，所述散热箱顶部设置有导热板，所述导热板与所述壳体底部贴合设置；
[0015]固定板，所述固定板设置在散热箱内，所述固定板竖直设置，且固定板上水平设置有安装架，所述安装架上竖直转动设置有第一主轴，所述第一主轴上端设置有散热扇，所述第一主轴上同轴线固定设置有第一套筒，所述第一套筒外周设置有啮合齿，所述安装架上设置有第一电机，所述第一电机输出轴设置有第一齿轮，所述第一齿轮与第一套筒啮合；。
[0016]优选的，所述第一主轴下端还设置有第一曲柄，所述第一曲柄垂直于第一主轴，所述固定板上沿竖直方向滑动设置有驱动滑块，所述第一曲柄远离第一主轴的一端通过第二曲柄与驱动滑块连接，所述第二曲柄两端分别通过球面副与第一曲柄和驱动滑块连接；
[0017]所述第二曲柄中部设置有连接块，所述散热箱内水平设置有第一连接杆，所述第一连接杆一端与连接块铰接，所述第一连接杆上滑动套设有第二套筒，所述第二套筒上连接有第二连接杆，所述第二连接杆水平设置且垂直于第一连接杆，所述第二连接杆外部滑动套设有第三套筒，所述第三套筒上沿竖直方向连接有第三连接杆，所述散热箱内竖直设置有第四套筒，所述第四套筒与散热箱内壁固定连接，所述第三连接杆穿过第四套筒且与第四套筒滑动连接；
[0018]所述散热箱内还设置有水冷活塞，所述水冷活塞竖直设置，且活塞杆下端与第三连接杆固定连接，活塞缸设置在活塞杆上端，所述活塞缸顶部开口，且活塞缸顶部开口处设置有与缸体内连通的雾化喷头。
[0019]优选的，所述第一连接杆上设置有储水箱，所述储水箱通过柔性管道与所述活塞缸上部连通，所述储水箱上连接有竖直设置的循环管，所述循环管位于所述散热扇侧部，所述循环管上端固定设置有循环槽，所述循环槽设置为长条形结构，且循环槽截面设置为V字型结构，所述循环槽与循环管连通。
[0020]优选的，所述循环槽顶部设置有吸水棉。
[0021]优选的，所述循环槽顶部水平设置有第一滤板，所述吸水棉设置在所述第一滤板上。
[0022]优选的，所述第一连接杆端部设置有第一抵接块，所述第二连接杆端部设置有第二抵接块。
[0023]优选的，所述驱动滑块设置为直角三角形结构，且三角形结构的一条直角边垂直于所述固定板，三角形结构的另一条直角边平行于所述固定板。
[0024]优选的，所述安装架与固定板连接处设置有加固块，所述加固块设置为三角形结构。
[0025]本专利技术的工作原理及有益技术效果如下：检测器使用时，通过将气路系统采用双路反吹设置，使得检测时目标组分进入分析柱,非目标组分经过放空口放空。用在阀切换系统上的，是改变色谱柱的流向使一些重组分通过流向的改变高沸点化合物迅速从柱内排出，防止其进入其他色谱柱并缩短分析时间，从而在提升检测准确率的同时提升检测效率。
[0026]本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0027]下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
[0028]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0029]图1为本专利技术实施例中一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器结构示意图；
[0030]图2为本专利技术实施例中一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器中散热组件结构示意图；
[0031]图3为本专利技术实施例中一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器中散热组件仰视结构示意图；
[0032]图4为本专利技术实施例中一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器中散热组件侧视结构示意图。
[0033]附图中的标记如下：1、壳体；2、气路系统；3、进样系统；4、分离系统；5、检测及数据处理系统；6、温控系统；7、散热组件；701、散热箱；702、导热板；703、固定板；704、安装架；705、第一主轴；706、散热扇；707、第一套筒；708、第一电机；709、第一齿轮；710、第一曲柄；711、驱动滑块；712、第二曲柄；713、连接块；714、第一连接杆；715、第二套筒；716、第二连接杆；717、第三套筒；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，其特征在于，包括：壳体(1)，所述壳体(1)设置在装置外部用于保护装置整体；气路系统(2)，用于推动载气稳定流动，所述气路系统(2)采用双路反吹设置；进样系统(3)，包括进样器、气化室和加热模块，所述进样系统(3)用于将试样完成进样并加热气化送至色谱柱内；分离系统(4)，包括柱室和色谱柱，用于将试样各组分分离方便后续检测；检测及数据处理系统(5)，包括检测器和数据转换模块，所述检测及数据处理系统(5)用于对试样各组分含量进行监测，并将检测数据转换为电信号输出。2.根据权利要求1所述的一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，其特征在于，还包括温控系统(6)，所述温控系统(6)与所述检测及数据处理系统(5)电连接，温控系统(6)用于控制气化室、色谱柱和检测器三处的温度进行控制。3.根据权利要求2所述的一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，其特征在于，还包括散热组件(7)，所述散热组件(7)包括：散热箱(701)，所述散热箱(701)设置在所述壳体(1)底部，所述散热箱(701)顶部设置有导热板(702)，所述导热板(702)与所述壳体(1)底部贴合设置；固定板(703)，所述固定板(703)设置在散热箱(701)内，所述固定板(703)竖直设置，且固定板(703)上水平设置有安装架(704)，所述安装架(704)上竖直转动设置有第一主轴(705)，所述第一主轴(705)上端设置有散热扇(706)，所述第一主轴(705)上同轴线固定设置有第一套筒(707)，所述第一套筒(707)外周设置有啮合齿，所述安装架(704)上设置有第一电机(708)，所述第一电机(708)输出轴设置有第一齿轮(709)，所述第一齿轮(709)与第一套筒(707)啮合。4.根据权利要求3所述的一种用于电子级硅烷分析的放电离子化检测器，其特征在于，所述第一主轴(705)下端还设置有第一曲柄(710)，所述第一曲柄(710)垂直于第一主轴(705)，所述固定板(703)上沿竖直方向滑动设置有驱动滑块(711)，所述第一曲柄(710)远离第一主轴(705)的一端通过第二曲柄(712)与驱动滑块(711)连接，所述第二曲柄(712)两端分别通过球面副与第一曲柄(710)和驱动滑块(711)连接；所述第二曲柄(712)中部设置有连接块(713)，所述散热箱(701)内水平设置有第一连接杆(714)，所述第一连接杆(714)一端与连接块(713)铰接，所述第一连接杆(714)上滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛艳东，王兆赟，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：