一种高重复频率激光时空耦合加工装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种高重复频率激光时空耦合加工装置及方法，飞秒激光脉冲经分束镜透射至双通脉冲展宽器，双通脉冲展宽器将高重复频率飞秒激光脉冲进行展宽，经双通脉冲展宽器原路返回至分束镜后经分束镜反射产生具有群速度色散的激光脉冲，展宽后的激光脉冲再通过光栅压缩器，补偿双通脉冲展宽器引入群速度色散的同时实现不同频率成分在空间上色散，引入空间啁啾，空间色散的光再通过物镜聚焦，使得激光脉冲不同频率成分在焦点处实现时间和空间的重新组合，焦点外脉冲宽度迅速展宽。焦点外脉冲宽度迅速展宽。焦点外脉冲宽度迅速展宽。

【技术实现步骤摘要】
一种高重复频率激光时空耦合加工装置及方法


[0001]本专利技术属于激光
，尤其涉及一种高重复频率激光时空耦合加工装置及方法。

技术介绍

[0002]本部分的陈述仅仅是提供了与本专利技术相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。
[0003]近年来，基于飞秒激光直写(FLDW)的三维微加工技术受到了广泛的关注，并被广泛应用于微流体、微光学、微电子、光子学和光流体等众多研究领域。然而，传统的飞秒激光直接聚焦产生的焦点存在横向和轴向分辨率不对称的问题，轴向分辨率明显拉长，限制了飞秒激光的三维加工能力。为了平衡横向和轴向分辨率，一些光束整形技术被提出，如狭缝整形和交叉光束照射。然而，这些技术不能通过单个物镜一次实现三维各向同性的制造。
[0004]时空聚焦技术作为新的光束整形技术，可以用来提高轴向分辨率，但在高重复频率激光器的应用中受到限制，其主要原因是高重复频率飞秒激光器频谱宽度较窄，需要更大的空间啁啾率来实现空间色散，由此引入的群速度延迟大，很难通过激光器本身将脉冲宽度调节回来，从而限制了时空聚焦技术在高重复频率激光器中的应用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高重复频率激光时空耦合加工装置，其特征在于，包括：分束镜，用于将高重复频率飞秒激光器发出的飞秒激光脉冲透射至双通脉冲展宽器，并将经双通脉冲展宽器后返回的飞秒激光脉冲反射至光栅压缩器；双通脉冲展宽器，用于将经分束镜透射的飞秒激光脉冲进行展宽后原路返回到所述分束镜；光栅压缩器，用于将所述分束镜反射的飞秒激光脉冲宽度进行压缩入射至物镜上。2.如权利要求1所述的一种高重复频率激光时空耦合加工装置，其特征在于，所述双通脉冲展宽器沿飞秒激光脉冲入射方向设置有第一反射镜、第一光栅、第一凸透镜、第二凸透镜、第二光栅和第二反射镜，经第二反射镜反射的飞秒激光脉冲并依次经第二光栅、第二凸透镜、第一凸透镜、第一光栅、第一反射镜原路返回至所述分束镜。3.如权利要求1所述的一种高重复频率激光时空耦合加工装置，其特征在于，还包括：经所述分束镜反射的飞秒激光脉冲依次经过第三反射镜、第三凸透镜和凹透镜会聚至所述光栅压缩器。4.如权利要求1所述的一种高重复频率激光时空耦合加工装置，其特征在于，所述光栅压缩器由沿飞秒激光脉冲入射方向依次设置的第三光栅和第四光栅组成。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：谭远鑫，吕浩天，程亚，徐剑，蔡阳健，
申请(专利权)人：山东师范大学，
类型：发明
国别省市：