本公开提供的适用于铌酸锂晶体质子交换炉的搅拌机构，包括：升降模组，设置在铌酸锂晶体质子交换炉一侧；上翻组件，包括依次连接的基座、棘轮机构和翻折体，基座由升降模组驱动使上翻组件可相对于铌酸锂晶体质子交换炉上下移动，翻折体通过棘轮机构可相对于基座向上翻折；旋转组件，设置在翻折体的端部并与石英杆连接，用于驱动石英杆旋转，石英杆的底端安装有石英花篮，石英花篮中安装有铌酸锂基片。本公开提供的搅拌机构解决了质子交换过程中搅拌不充分、不稳定以及将装有晶圆的石英夹具放入和取出石英管时遮挡炉口的问题，通过采用向上翻折的方式为安装石英杆提供空间，且可以单手完成操作，同时占用空间小。同时占用空间小。同时占用空间小。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于铌酸锂晶体质子交换炉的搅拌机构
[0001]本公开涉及光波导芯片制造
，尤其涉及一种适用于铌酸锂晶体质子交换炉的搅拌机构。
技术介绍
[0002]由于铌酸锂晶体具有优异的电光、声光、光弹、非线性、光折变等性能，在光通讯中起到光调制作用，可以制成光调制器、光隔离器、相位调制器等光电器件。随着量子光学、集成光子学以及5G通信的广泛应用，铌酸锂晶体的应用更加广泛和重要。
[0003]目前，对铌酸锂光波导的制备，常用的方法主要有Ti扩散法和退火质子交换法等。退火质子交换光波导具有传播损耗低、较强的抗光折变能力、较大的异常光折射率增量，较强的光能量控制能力。通过清洗、掩膜、光刻、刻蚀，质子交换、退火、抛光、切割等工艺流程制造铌酸锂光波导。将一定量的苯甲酸放入石英管进行加热，达到设定的工艺温度，将预热好的晶圆放入到苯甲酸中进行交换。为了增加质子交换的效果，提升波导折射率的均匀性，需要将晶圆在苯甲酸液体中进行搅拌。目前采用的搅拌方法，有人工的手动搅拌，也有机械的上下搅拌，都存在搅拌不充分、不稳定的问题，以及将装有晶圆的石英夹具放入和取出石英管不方便的问题。
技术实现思路
[0004]本公开旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
[0005]为此，本公开实施例提供的一种适用于铌酸锂晶体质子交换炉搅拌机构，解决了质子交换过程中搅拌不充分、不稳定以及将装有晶圆的石英夹具放入和取出石英管时遮挡炉口的问题。
[0006]本公开实施例提供的一种适用于铌酸锂晶体质子交换炉的搅拌机构，包括：
[0007]升降模组，设置在铌酸锂晶体质子交换炉一侧；
[0008]上翻组件，包括依次连接的基座、棘轮机构和翻折体，所述基座由所述升降模组驱动使所述上翻组件可相对于所述铌酸锂晶体质子交换炉上下移动，所述翻折体通过所述棘轮机构可相对于所述基座向上翻折；
[0009]旋转组件，设置在所述翻折体的端部并与石英杆连接，用于驱动所述石英杆旋转，所述石英杆的底端安装有石英花篮，所述石英花篮中安装有铌酸锂基片。
[0010]在一些实施例中，所述升降模组的传动方式采用直线滑轨式、齿轮链条式、齿轮齿条式或压力传动式。
[0011]在一些实施例中，所述升降模组的一侧固定安装有上限位光电开关和下限位光电开关，用于对所述上翻组件的纵向高度进行调节，在所述升降模组一侧的所述上限位光电开关和所述下限位光电开关之间固定安装有原点光电开关，且所述原点光电开关分别与所述上限位光电开关和所述下限位光电开关相适配。
[0012]在一些实施例中，所述棘轮机构采用齿式棘轮机构或者摩擦式棘轮机构，
[0013]在一些实施例中，所述棘轮机构包括棘轮轴、固定于所述棘轮轴上且带有齿槽的棘轮、与所述齿槽相配合的止动棘爪、止动棘爪轴以及连接于所述止动棘爪与所述基座之间的弹簧，所述止动棘爪轴固定设置在所述基座上，所述止动棘爪的顶端活动套设在所述止动棘爪轴上，所述翻折体的一端固定套设在所述棘轮轴上，所述翻折体向上翻折或者向下复位时带动所述棘轮轴转动，所述弹簧的一端与所述基座固定连接，所述弹簧的另一端与所述止动棘爪的底端固定连接。
[0014]在一些实施例中，所述旋转组件包括旋转马达、旋转轴和锁止件，所述旋转马达固定安装于所述翻折体远离所述棘轮机构的一端，所述旋转轴通过轴承安装于所述翻折体远离所述棘轮机构的一端，且所述旋转轴与所述旋转马达的输出端固定连接，通过所述锁止件将所述石英杆的顶端与所述旋转轴稳固连接。
[0015]在一些实施例中，所述锁止件采用卡扣件。
[0016]本公开的特点及有益效果：
[0017]本公开提供的适用于铌酸锂晶体质子交换炉搅拌机构，结构简单，可靠性高，通过采用向上翻折的方式为安装石英杆提供空间，且可以单手完成操作，同时节省空间。
附图说明
[0018]图1是本公开实施例提供的搅拌机构的结构示意图。
[0019]图2是图1所示搅拌机构中棘轮机构的结构示意图。
[0020]图例说明：
[0021]10
‑
升降模组；
[0022]20
‑
上翻组件，21
‑
基座，22
‑
棘轮机构，221
‑
棘轮，222
‑
止动棘爪，223
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弹簧，224
‑
棘轮轴，225
‑
齿槽，226
‑
止动棘爪轴，23
‑
翻折体；
[0023]30
‑
旋转组件，31
‑
旋转马达，32
‑
旋转轴，33
‑
锁止件；
[0024]40
‑
石英杆；
[0025]50
‑
连接件；
[0026]61
‑
上限位光电开关，62
‑
原点光电开关，63
‑
下限位光电开关。
具体实施方式
[0027]为了使本公开的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本公开进行进一步详细描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本公开，并不用于限定本公开。
[0028]相反，本公开涵盖任何由权利要求定义的在本公开精髓和范围上做的替代、修改、等效方法以及方案。进一步，为了使公众对本公开有更好的了解，在下文对本公开的细节描述中，详尽描述了一些特定的细节部分。对本领域技术人员来说没有这些细节部分的描述也可以完全理解本公开。
[0029]本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的
技术实现思路
涵盖的范围内。同时，本
说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本申请可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本申请可实施的范畴。
[0030]参见图1，本公开实施例提供的适用于铌酸锂晶体质子交换炉的搅拌机构，包括：
[0031]升降模组10，设置在铌酸锂晶体质子交换炉(该铌酸锂晶体质子交换炉在图中未示意出)一侧；
[0032]上翻组件20，包括依次连接的基座21、棘轮机构22和翻折体23，基座22由升降模组10驱动使上翻组件20可相对于铌酸锂晶体质子交换炉上下移动，翻折体23通过棘轮机构22可相对于基座21向上翻折；
[0033]旋转组件30，设置在翻折体23的端部并与石英杆40连接，用于驱动石英杆40旋转，石英杆40的底端安装有石英花篮(该石英花篮在图中未示意出)，石英花篮中安装有铌酸锂基片。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于铌酸锂晶体质子交换炉的搅拌机构，其特征在于，包括：升降模组，设置在铌酸锂晶体质子交换炉一侧；上翻组件，包括依次连接的基座、棘轮机构和翻折体，所述基座由所述升降模组驱动使所述上翻组件可相对于所述铌酸锂晶体质子交换炉上下移动，所述翻折体通过所述棘轮机构可相对于所述基座向上翻折；旋转组件，设置在所述翻折体的端部并与石英杆连接，用于驱动所述石英杆旋转，所述石英杆的底端安装有石英花篮，所述石英花篮中安装有铌酸锂基片。2.根据权利要求1所述的搅拌机构，其特征在于，所述升降模组的传动方式采用直线滑轨式、齿轮链条式、齿轮齿条式或压力传动式。3.根据权利要求1所述的搅拌机构，其特征在于，所述升降模组的一侧固定安装有上限位光电开关和下限位光电开关，用于对所述上翻组件的纵向高度进行调节，在所述升降模组一侧的所述上限位光电开关和所述下限位光电开关之间固定安装有原点光电开关，且所述原点光电开关分别与所述上限位光电开关和所述下限位光电开关相适配。4.根据权利要求1所述的搅拌机构，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡志刚，贾楠，周赤，刘昆，吉贵军，陆龙钊，黄杭东，
申请(专利权)人：珠海光库科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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