一种对波长及偏振不敏感的分光器件制造技术

本发明专利技术涉及光学器件技术领域，提供一种对波长及偏振不敏感的分光器件，包括：分光器件本体，在所述分光器件本体的分光界面镀制规则图案分光膜，所述规则图案分光膜是由多个间隔分布的规则图形膜组成，所述规则图形膜是金属反射膜，间隔区域不镀膜。本发明专利技术的优点在于：相较于常规采用介质膜的分光器件，本发明专利技术采用有规则图案的金属反射膜作为分光介质，一部分光打在规则图案的未镀膜区域并直接透过沿原来的方向出射，另一部分光打在规则图案的金属反射膜被反射，从而起到按能量分束的作用，分光器件具有较大的工作波长范围，较大的光束接受角度范围，较小的偏振相关损耗，较小的波长相关损耗的性能。关损耗的性能。关损耗的性能。

【技术实现步骤摘要】
一种对波长及偏振不敏感的分光器件


[0001]本专利技术涉及光学器件
，具体地涉及一种对波长及偏振不敏感的分光器件。

技术介绍

[0002]常见的分光器件，通常包括分光棱镜1与分光平片。它们的共同点是起到按光的能量比例分成两光束。
[0003]参阅图1，常规的分光棱镜1由第一直角棱镜11、第二直角棱镜12以及两直角棱镜的两平行的斜面用胶水粘接而成。其中第一个直角棱镜的斜面(即分光界面)上镀制具有按能量分光功能的介质膜13。当光束由从第一直角棱镜11的第一个直角面入射时，在分光界面的介质膜13处，部分能量的光透过介质膜，经第二个直角棱镜12的直角面直线出射，另一部分能量的光在介质膜13处反射，经第二个直角棱镜12的第二个直角面转折90
°
后出射。
[0004]参阅图2，常规的分光平片2由玻璃基底21和在玻璃基底上镀制多层介质膜22，光线入射到介质膜上，一部分能量的光线透射，另一部分能量的光线反射。
[0005]由于介质膜材料特性及膜系设计的限制，基于介质膜的分光器件存在如下缺点：1、工作波长范围小，一般为40nm；2、光束接受角度范围小，一般为5
°
；3、偏振相关损耗大，一般为0.2dB；4、波长相关损耗大，一般为0.2dB。
[0006]因此，如何提供全新结构的分光器件，克服基于介质膜的分光器件的缺点，是目前本领域亟待解决的一个技术问题。

技术实现思路

[0007]本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种对波长及偏振不敏感的分光器件，克服基于介质膜的分光器件的缺点。
[0008]本专利技术是这样实现的：一种对波长及偏振不敏感的分光器件，包括：
[0009]分光器件本体，在所述分光器件本体的分光界面镀制规则图案分光膜，所述规则图案分光膜是由多个间隔分布的规则图形膜组成，所述规则图形膜是金属反射膜，间隔区域不镀膜。
[0010]进一步地，所述分光器件本体是分光棱镜。
[0011]进一步地，所述分光棱镜包括第一直角棱镜与第二直角棱镜，在所述第一直角棱镜的斜面镀制所述规则图案分光膜，所述第二直角棱镜的斜面与所述第一直角棱镜的斜面平行并且用胶水粘接。
[0012]进一步地，所述分光器件本体是分光平片。
[0013]进一步地，所述分光平片包括玻璃基底，在所述玻璃基底镀制所述规则图案分光膜。
[0014]进一步地，所述金属反射膜是铝膜或者银膜或者金膜或者铜膜。
[0015]进一步地，所述规则图形是圆形或者长方形或者其它规则的几何图形。
[0016]进一步地，所述金属反射膜叠加数层介质膜。
[0017]本专利技术的优点在于：相较于常规采用介质膜的分光器件，本专利技术采用有规则图案的金属反射膜作为分光介质，一部分光打在规则图案分光膜的未镀膜区域并直接透过沿原来的方向出射，另一部分光打在规则图案分光膜的金属反射膜被反射，从而起到按能量分束的作用，本专利技术的分光器件克服基于介质膜的分光器件的缺点，具有较大的工作波长范围，较大的光束接受角度范围，较小的偏振相关损耗，较小的波长相关损耗的性能。
附图说明
[0018]下面参照附图结合实施例对本专利技术作进一步的说明。
[0019]图1是
技术介绍
中分光棱镜的结构示意图。
[0020]图2是
技术介绍
中分光平片的结构示意图。
[0021]图3是本专利技术的对波长及偏振不敏感的分光器件的结构示意图一。
[0022]图4是本专利技术的对波长及偏振不敏感的分光器件的结构示意图二。
[0023]图5是本专利技术中分光器件的反射光束的P光、S光分量以及PDL随波长变化曲线的示意图。
[0024]图6是本专利技术中分光器件的透射光束的P光、S光分量以及PDL随波长变化曲线的示意图。
[0025]附图标记：分光棱镜1；第一直角棱镜11；第二直角棱镜12；介质膜13；分光平片2；玻璃基板21；介质膜22；规则图案分光膜3。
具体实施方式
[0026]本专利技术实施例通过提供一种对波长及偏振不敏感的分光器件，克服了
技术介绍
中基于介质膜的分光器件的缺点，实现了具有较大的工作波长范围，较大的光束接受角度范围，较小的偏振相关损耗，较小的波长相关损耗。
[0027]本专利技术实施例中的技术方案为解决上述缺点，总体思路如下：
[0028]本专利技术的目的是提供全新结构的分光器件，在分光器件中取消常规的介质膜设置，选择在分光器件本体的分光界面镀制规则图案分光膜，所述规则图案分光膜是由多个间隔分布的规则图形膜组成，所述规则图形膜是金属反射膜，间隔区域不镀膜；当光束入射到规则图案分光膜时，一部分光打在规则图案分光膜的未镀膜区域，直接透过并沿原来的方向出射，另一部分打在规则图案分光膜的金属反射膜被反射，从而起到按能量分束的作用；入射光照在规则图案的金属反射膜面积与未镀膜区域面积的比例，决定了反射光与透射光的分光比例。
[0029]为了更好地理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
[0030]参阅图1至图6，本专利技术的优选实施例。
[0031]一种对波长及偏振不敏感的分光器件，包括：
[0032]分光器件本体，在所述分光器件本体的分光界面镀制规则图案分光膜3，所述规则图案分光膜3是由多个间隔分布的规则图形膜组成，所述规则图形膜是金属反射膜，间隔区域不镀膜。
[0033]本实施例的一个实现方式，所述分光器件本体是分光棱镜1。所述分光棱镜1包括第一直角棱镜11与第二直角棱镜12，在所述第一直角棱镜11的斜面镀制所述规则图案分光膜3，所述第二直角棱镜12的斜面与所述第一直角棱镜11的斜面平行并且用胶水粘接。
[0034]本实施例的另一个实现方式，所述分光器件本体是分光平片2。所述分光平片包括玻璃基底，在所述玻璃基底镀制所述规则图案分光膜3。
[0035]所述金属反射膜是铝膜或者银膜或者金膜或者铜膜。
[0036]所述规则图形是圆形，多个间隔分布的圆形组成圆斑点图案，在圆形区域镀金属反射膜，在其它区域不镀膜。或者所述规则图形是长方形，多个间隔分布的长方形组成线条纹图案，在长方形区域镀金属反射膜，在其它区域不镀膜。或者所述规则图形是其它规则的几何图形。
[0037]所述金属反射膜叠加数层介质膜。增强金属反射膜的反射率。此处的数层是至少一层。
[0038]本专利技术的对波长及偏振不敏感的分光器件的工作原理：
[0039]在分光器件的分光界面平面上镀制规则图案的金属反射膜作为分光膜，是利用光刻工艺及镀膜工艺，在玻璃基板上，按规则图案分布，部分区域镀制金属反射膜，部分区域没有镀膜。
[0040]当光束入射到规则图案时，一部分光打在规则图案分光膜的未镀膜区域，直接透过并沿原来的方向出射，另一部分光打在规则图案分光膜的金属反射膜层被反射，从而起到按能量分束作用。
[0041]对于从规则图案中无镀膜区域直接透射的光束，因光束所经的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对波长及偏振不敏感的分光器件，其特征在于，包括：分光器件本体，在所述分光器件本体的分光界面镀制规则图案分光膜，所述规则图案分光膜是由多个间隔分布的规则图形膜组成，所述规则图形膜是金属反射膜，间隔区域不镀膜。2.根据权利要求1所述的一种对波长及偏振不敏感的分光器件，其特征在于，所述分光器件本体是分光棱镜。3.根据权利要求2所述的一种对波长及偏振不敏感的分光器件，其特征在于，所述分光棱镜包括第一直角棱镜与第二直角棱镜，在所述第一直角棱镜的斜面镀制所述规则图案分光膜，所述第二直角棱镜的斜面与所述第一直角棱镜的斜面平行并且用胶水粘接。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄风华，陈建林，林玲，
申请(专利权)人：福建华科光电有限公司，
类型：发明
国别省市：