一种单晶炉用片料加料器及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种单晶炉用片料加料器，包括石英筒、石英法兰、横梁、提升杆、支撑法兰及底座，石英筒的外壁上设有石英法兰，石英法兰包括从上至下依次设置在石英筒外壁上的上法兰和下法兰，下法兰的下端通过支撑杆设有支撑法兰，石英筒的上端设有横梁，石英筒的下端设有底座，底座的下端设有两个半圆对称的可开合的底板，石英筒的两侧对称设有提升杆，提升杆一端穿过上法兰、下法兰及支撑法兰上的通孔通过连接头及拉杆与底座上的底板连接，另一端穿过横梁上的通孔并与横梁连接，横梁与提升杆一起可上下移动，带动底座上的底板开合实现加料；该加料器使得碎硅片顺利加入单晶炉中，提高利用率，使用简单。使用简单。使用简单。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用片料加料器及其使用方法


[0001]本专利技术涉及一种加料器，具体涉及一种单晶炉用片料加料器及其使用方法，属于单晶炉晶棒生产领域。

技术介绍

[0002]在硅片生产过程中，会产生头尾料、埚底料、碎硅片等多种可回收原料，品质符合要求的可回收原料可以重新回炉拉制单晶棒。符合回收条件的碎硅片经过清洗、烘干、破碎，作为原料重新回炉后使用。
[0003]目前，单晶硅生产晶棒利用RCZ多次直拉技术，通过多次加料进行多根晶棒的拉制。加料时需要用石英加料器，由于碎硅片呈片状，装入石英加料器后层叠在一起，现有石英加料器的石英筒中间有提升杆，下部为锥形出料口，层叠在一起的碎硅片容易堆在一起，导致卡料，碎硅片不能顺利加入单晶炉内。硅片生产企业产生的大量碎硅片无法有效利用，只能通过多晶炉提纯，或当做废料转售，导致大量高品质的碎硅片利用率降低，生产成本增加。
[0004]专利CN203820919U一种用于单晶炉的内置式加料器，该内置式加料器包括：升降装置；储料桶，具有上填料口和下卸料口，并可固定于所述单晶炉内坩埚上方的预定位置；封堵件，与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用片料加料器，其特征在于：包括石英筒（1）、石英法兰、横梁（2）、提升杆（3）、支撑法兰（4）及底座（6），所述石英筒（1）的外壁上设有所述石英法兰，所述石英法兰包括从上至下依次设置在所述石英筒（1）外壁上的上法兰（7）和下法兰（8），所述下法兰（8）的下端通过支撑杆（5）设有所述支撑法兰（4），所述石英筒（1）的上端设有所述横梁（2），所述石英筒（1）的下端设有所述底座（6），所述底座（6）的下端设有两个半圆对称的可开合的底板（67），所述石英筒（1）的两侧对称设有所述提升杆（3），所述提升杆（3）的两端分别设有螺纹，所述提升杆（3）一端穿过上法兰（7）、下法兰（8）及支撑法兰（4）上的通孔通过连接头（9）及拉杆（10）与底座（6）上的底板（67）连接，另一端穿过所述横梁（2）上的通孔并与横梁（2）连接，所述横梁（2）与所述提升杆（3）一起可上下移动，带动底座（6）上的底板（67）开合实现加料。2.根据权利要求1所述的单晶炉用片料加料器，其特征在于：所述底座（6）为不锈钢材质，包括筒体（61）、筒体法兰（62）、导向板及底板（67），所述筒体（61）的上沿设有所述筒体法兰（62），所述筒体法兰（62）上设有所述导向板，所述筒体（61）的下端设有所述底板（67）；所述筒体（61）为对称哈夫结构，由两个弧形板拼接而成，两弧形板分别通过两侧对应的耳板连接；所述导向板包括上导向板（63）及下导向板（64），所述筒体法兰（62）的上侧设有所述上导向板（63），筒体法兰（62）的下侧设有所述下导向板（64），所述上导向板（63）及下导向板（64）分别向筒体法兰（62）内倾斜；所述底板（67）为对称哈夫结构，由两个半圆形板拼接而成，所述半圆形板一侧通过铰链结构与所述筒体（61）的连接，另一侧通过所述拉杆（10）与连接头（9）连接，所述底板（67）上设有石英底板（68），所述石英底板（68）也为对称哈夫结构，由两个半圆形石英板组成。3.根据权利要求2所述的单晶炉用片料加料器，其特征在于：所述底板（67）中半圆形板的表面向上凸起形成固定住（671），所述半圆形板远离与筒体（61）连接的一侧向上延伸形成限位台（672）；所述石英底板（68）中半圆形石英板上设有与所述固定柱（671）相适配的通孔（682），所述半圆形石英板上与筒体（61）连接的一侧设有斜面（681），另一侧的下端对应限位台（672）的位置内凹形成凹槽用于限位台（672）的设置。4.根据权利要求2所述的单晶炉用片料加料器，其特征在于：所述提升杆（3）的一端与所述连接头（9）连接，所述连接头（9）的下端通过两个连杆（10）分别与底板（67）中的连个半圆形板连接。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕飞，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：云南美科新能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：