一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法，属于电压数据监测技术领域。本系统包括电压监测数据采集模块、电压暂降分析模块、资源分析模块以及数据预警模块；所述电压监测数据采集模块的输出端与所述电压暂降分析模块的输入端相连接；所述电压暂降分析模块的输出端与所述资源分析模块的输入端相连接；所述资源分析模块的输出端与所述数据预警模块的输入端相连接。本发明专利技术能够实现对于电压暂降持续时间的具体分析，基于不同的监测分析处理，判断持续时间的变化情况，同时根据对电压暂降的预防处理措施，实现储备资源的规划和调度。规划和调度。规划和调度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法


[0001]本专利技术涉及电压数据监测
，具体为一种用于电压数据监测的智能预警系统及方法。

技术介绍

[0002]近年，半导体芯片制造业在国民经济中的作用越来越大，伴随着政府和相关企业单位在半导体制造业的投资不断增加，集成电路芯片制造生产过程中大规模使用电子器件和集成电路，而且自动化程度比较高。在整个加工工序中，存在大量的控制系统，例如基础的供配电系统，还包括空调系统、传送系统、特殊气体处理系统以及超纯水、真空等等，而且在半导体整个加工工序中设备繁多、工位器具多、工艺步骤繁多复杂，制造设备昂贵、性能精密，对供电电压波动极其敏感，毫秒级的电压波动，足以使得半导体工厂的工艺设备发生停机从而导致生产中断，造成巨大的直接和间接经济损失。
[0003]其中电压暂降问题一直影响着半导体行业生产的安全可靠性，电压暂降是指供电电压有效值RMS在短时间内突然大幅下降又恢复正常的现象。造成电压暂降事件的原因很复杂。有自然因素也有人为因素。有供电部门系统保护的因素，也有用户系统内设施故障或误操作的因素。如：雷击本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电压数据监测的智能预警方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：S1、获取监测区域内的历史电压监测数据，调取历史电压监测数据中电压暂降报告数据；S2、获取电压暂降报告数据中的电压暂降持续时间，基于电压暂降持续时间构建时间分析模型，输出预测下一周期的电压暂降持续时间，基于预测结果作为卡尔曼滤波的系统实测值，对预测进行修正；S3、获取电压暂降报告数据中的每一次电压暂降造成的实际资源消耗与电压暂降的储备资源数据，计算相邻资源浪费占比数据值之间的差值，形成差值数据组，若存在差值数据组中，正值数量比负值数量高D1倍以上，选取正值数据拟合成学习函数关系；若存在差值数据组中，正值数量未比负值数量高D1倍以上，选取差值数据组中所有数据的绝对值求取平均值作为资源浪费占比输出，其中，D1代表系统预设数量值；S4、基于预测的下一周期的电压暂降持续时间，对电压暂降的储备资源数据进行调节预警，输出至管理员端口。2.根据权利要求1所述的一种用于电压数据监测的智能预警方法，其特征在于：在步骤S2中，获取电压暂降报告数据中的电压暂降持续时间，构建电压暂降持续原则对电压暂降报告数据中的电压暂降持续时间进行分类，所述持续原则包括短持续与长持续；构建持续时间阈值m，超出时间阈值m的电压暂降持续时间记为长持续，不超过时间阈值m的电压暂降持续时间记为短持续。3.根据权利要求2所述的一种用于电压数据监测的智能预警方法，其特征在于：获取电压暂降持续原则中任一种构建时间分析模型；获取电压暂降持续原则中任一种原则下的历史数据，记录任一种原则下的所有电压暂降持续时间值，记为集合A1={t1、t2、
……
、t
n
}；其中，t1、t2、
……
、t
n
分别为任一种原则下的电压暂降持续时间值；构建移动平均模型，基于集合A1构建出预测数据；以n+1作为下一次的时间预测结果：t
n+1
=b+k1*N；其中，b代表预测截距；k1代表预测斜率；N代表预测次数；利用移动平均方式对预测截距与预测斜率进行取值计算：b=2s1‑
s2；k1=2(s1‑
s2)/(T
‑
1)；其中，s1代表一次移动平均；s2代表二次移动平均；T代表移动数据组周期量；基于预测结果建立：t（i）=F1t（i
‑
1）+F2u（i）+w（i）；其中，F1代表状态转移矩阵，F2代表控制输入矩阵；w（i）代表噪声矩阵，为高斯分布；t（i）代表i时刻的系统状态的真实值；u是系统的输入向量；进一步构建卡尔曼滤波修正模型：t（i丨i
‑
1）=F1t（i
‑
1丨i
‑
1）+F2u（i）P（i丨i
‑
1）=F1P（i
‑
1丨i
‑
1）F
1T
+Qt（i丨i）=t（i丨i
‑
1）+K(i)[Z(i)
‑
Ht（i丨i
‑
1）]K(i)=P（i丨i
‑
1）H
T
/[HP（i丨i
‑
1）HT+R]P（i丨i）=[I
‑
K(i)H]P（i丨i
‑
1）其中，K(i)代表卡尔曼增益；t（i
‑
1丨i
‑
1）代表前一时刻系统的卡尔曼滤波最优估计
值；t（i丨i）代表当前时刻系统的卡尔曼滤波最优估计值；P（i丨i）代表当前时刻最优估计协方差；P（i
‑
1丨i
‑
1）代表前一时刻最优估计协方差；t（i丨i
‑
1）代表时刻之间卡尔曼滤波修正值；P（i丨i
‑
1）代表时刻之间协方差修正值；Q代表噪声协方差；F
1T
、H
T
分别代表状态转移矩...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，付强，郏金鹏，
申请(专利权)人：常州满旺半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：