信息处理装置及处理方法、存储介质以及X射线分析装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术的一个方面，提供一种信息处理装置。所述信息处理装置包括控制部。控制部通过将与来自薄膜的X射线的强度相关的简档结果输入至神经网络，从而输出与薄膜相关的参数结果。神经网络是机器学习了教师数据的神经网络，所述教师数据将来自薄膜的X射线的强度相关的简档数据作为输入数据，并将与薄膜相关的参数数据作为输出数据。参数数据作为输出数据。参数数据作为输出数据。

【技术实现步骤摘要】
信息处理装置及处理方法、存储介质以及X射线分析装置


[0001]本专利技术涉及一种信息处理装置、信息处理方法、计算机可读存储介质以及X射线分析装置，能够在通过反射率测定、摇摆曲线测定、GI
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SAXS(Grazing incidence Small
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angle X
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ray Scattering)测定等分析薄膜时，使用机器学习高速地优化与薄膜相关的参数。

技术介绍

[0002]在使用X射线分析装置分析薄膜时，取得表示来自薄膜的X射线强度的简档(Profile；曲线/分布/轮廓)结果，并与从薄膜的结构模型生成的简档进行匹配，以确定与薄膜相关的参数。例如，在反射率测定中，X射线强度是来自薄膜的反射强度，参数是薄膜的厚度、密度、粗糙度等。在摇摆曲线测定中，X射线强度是来自薄膜的衍射强度，参数是薄膜的晶格常数、膜厚、组成等。在GI
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SAXS中，X射线强度是薄膜的散射强度，参数是薄膜的空隙直径、粒径等尺寸分布。在这些分析中，使用全局优化等优化方法来推定薄膜参数的初始值。并且，使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信息处理装置，其特征在于，包括：控制部；所述控制部通过将与来自薄膜的X射线的强度相关的简档结果输入至神经网络，从而输出与所述薄膜相关的参数结果；所述神经网络是机器学习了教师数据的神经网络，所述教师数据将来自薄膜的X射线的强度相关的简档数据作为输入数据，并将与所述薄膜相关的参数数据作为输出数据。2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其特征在于，所述参数结果是包含大致正解的参数的初始值信息。3.根据权利要求1或2所述的信息处理装置，其特征在于，所述控制部根据薄膜的结构、层的张数以及优化的参数，来设定所述神经网络。4.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述控制部作为简档数据使用通过设定薄膜各层的物质、膜厚、密度、粗糙度、组成、晶格常数及尺寸分布中的至少一个来理论上决定的测定模拟简档。5.根据权利要求1至4中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述参数数据以及所述参数结果是与薄膜的膜厚、密度、粗糙度、组成、晶格常数及尺寸分布中的至少一个相关的信息。6.根据权利要求1至5中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，具有存储部，所述控制部从外部装置下载所述神经网络的数据，并且由所述存储部存储。7.根据权利要求1至6中任一项所述的信息处理装置，其特征在于，所述参数结果是包含大致正解的参数的初始值信息，所述控制部通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：姬田章宏，太田卓见，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：