紫外光固化胶的压印工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种紫外光固化胶的压印工艺，包括以下步骤：按重量份称取丙烯酸酯预聚物、乙氧化双酚A二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、2,4,6

【技术实现步骤摘要】
紫外光固化胶的压印工艺


[0001]本专利技术涉及光固化压印胶的
，尤其涉及一种紫外光固化胶的压印工艺。

技术介绍

[0002]目前，纳米压印技术由于具有不受光刻极限的限制、制造成本低、产量高等优势，在微纳结构制造领域得到广泛关注。压印胶作为纳米压印技术的核心之一，是制备纳米结构的保障。随着压印工艺的持续需求和不断改进，压印胶的研究和开发也被持续的推进，尤其是粘度低、固化速度快、抗蚀刻性高、图案压印性优异的紫外压印胶，已成为紫外压印胶的研究主流。
[0003]紫外压印胶的主要成分是丙烯酸酯类光固化聚合物。丙烯酸酯基的自由基型纳米压印胶固化速度快，所以商业化应用比较广泛，如美国DSM的Hybrane系列，Nanonex的NXR系列，Toyo Gosei的PAK O1系列以及AMO GmbH的AMONIL MMS4等。但存在氧阻效应，在空气中不能固化或不能完全固化，且收缩率大等缺点，这些性能缺陷对涂布成膜、压印、脱模、刻蚀等纳米压印工艺的各个步骤均有影响，从而影响精度。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外光固化胶的压印工艺，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、在洁净、低湿及避光环境下，按重量份称取丙烯酸酯预聚物20~80份、乙氧化双酚A二甲基丙烯酸酯40~50份、聚乙二醇二丙烯酸酯8~12份、2,4,6
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三甲基苯甲酰基
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二苯基氧化磷1~2份、二苯甲酮2~4份、安息香乙醚0.3~0.8份、偶联剂0.3~3份、分散剂0.1~1份、双官含氟丙烯酸酯0.3~1份、三亚乙基四胺0.1~0.5份、流平剂0.1~3份，充分混合均匀可得到紫外光固化胶；步骤二、将紫外光固化胶在衬底上旋转涂膜；步骤三、通过模板压印转移图形至涂膜上；步骤四、通过紫外光对涂膜固化；步骤五、对具有涂膜的衬底刻蚀，从而将图形转移至衬底上。2.根据权利要求1所述的紫外光固...

【专利技术属性】
技术研发人员：金闯，冉光富，梁哲会，齐杰，
申请(专利权)人：江苏斯迪克新材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：