【技术实现步骤摘要】
一种压力传感器用微型全桥电阻应变计
[0001]本专利技术属于微型应变计领域，涉及一种压力传感器用微型全桥电阻应变计。
技术介绍
[0002]箔式电阻应变计广泛用于各类传感器制作以及各种环境下的应力、应变测试。随着传感器应用领域的扩展，很多消费电子产品需要进行耐压等方面的性能测试。由于消费电阻产品的尺寸微型化，造成产品内部空间狭小，可供贴片的面积更小，所以，选用的压力传感器用膜片式应变计的直径必须小于Ф4mm；同时为了降低产品的功耗，所选用应变计的电阻值必须要高(电阻值≥1000Ω)。结合现有应变计制造技术，常规的压力传感器用膜片式电阻应变计，在Ф4mm尺寸内设置有径向栅(外端粗、内端细)和周向栅(圆弧向)，在应变计电阻值＞350Ω以上时，应变计线条特别细(约20μm)。在加工过程中，由于金属箔材的图形蚀刻各向异性，极易造成应变计周向栅蚀刻后有很多的细小缺口，而径向栅上也有细小的缺口，特别是在径向栅的内端头部，敏感栅很细且存在细小缺口，从而造成应变计电阻值变化异常，在发生大的形变时，会出现传感器输出不稳定。因此微小压力传感器...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，包括四个测量栅和四个焊盘；四个测量栅和四个焊盘均设置在圆形的基底(9)上，四个测量栅包括两个外栅和两个内栅；两个外栅分别靠近基底(9)外径，与基底(9)水平轴线呈上下对称排布；两个内栅设置在基底(9)圆心处，以基底(9)竖向轴线呈左右对称排布，外栅和内栅内的单根栅条均沿竖直方向平行排布，外栅和内栅的单根栅条宽度均为10um
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12um。2.根据权利要求1所述的压力传感器用微型全桥电阻应变计，其特征在于，两个外栅分别为测量栅A(1)和测量栅C(5)，两个内栅分别为测量栅B(3)和测量栅D(7)，四个焊盘分别为第一焊盘(2)、第二焊盘(4)、第三焊盘(6)、第四焊盘(8)；测量栅A(1)与第一焊盘(2)和第四焊盘(8)连接，测量栅B(3)与第一焊盘(2)和第二焊盘(4)连接，测量栅C(5)与第二焊盘(4)和第三焊盘(6)连接，测量栅D(7)与第三焊盘(6)和第四焊盘(8)连接，组成一个全密封的全桥电路；测量栅A(1)与测量栅C(5)为对桥，测量栅B(3)与测量栅D(7)为对桥，第一焊盘(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：晏志鹏，雒平华，赵凯峰，张勋，赵恒，花肖航，
申请(专利权)人：中航电测仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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