一种利用电涡流效应实现微孔直径和深度测量的测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种利用电涡流效应实现微孔直径和深度测量的测量装置，属于电涡流测量技术领域。包括滑台机构和测量机构；滑台机构包括步进电机、滚珠丝杆和滑台；步进电机的输出轴连接着滚珠丝杆的输入端；滑台螺纹配合设在滚珠丝杆上，实现沿滚珠丝杆调整位置；测量机构包括探头支架、电涡流测量探头；电涡流测量探头固定设于探头支架上，且探测部位对应下方的滑台。测量时，待测件固定于滑台上，由步进电机驱动的滑台在滚珠丝杆上缓慢匀速运动，待测件上的微孔影响待测件与电涡流测量探头上的测量线圈之间的电涡流效应，导致测量线圈的电感值发生变化，通过测量线圈的电感值变化的特征，实现待测件上微孔直径和微孔深度的测量。实现待测件上微孔直径和微孔深度的测量。实现待测件上微孔直径和微孔深度的测量。

【技术实现步骤摘要】
一种利用电涡流效应实现微孔直径和深度测量的测量装置


[0001]本专利技术属于电涡流测量
，具体涉及一种利用电涡流效应实现微孔直径和深度测量的测量装置。

技术介绍

[0002]随着我国制造业水平不断发展，工业生产零部件对其加工质量要求逐渐严格，尺寸测量是评定加工质量的主要方法，包括零部件的外尺寸测量和内尺寸测量，其中内尺寸测量相较于外尺寸测量由于测量受限等问题存在测量效率低，测量精度低的问题，微孔的直径和深度测量就属于内尺寸测量。其中常见的微孔测量方式主要有接触式测量与非接触式测量，专利技术专利CN201310352479.0设计了一种轴承套内孔测量装置，使用检测棒实现了对轴承套内孔的接触式测量；专利技术专利CN201911321488.7设计了一种超深孔测量组件并利用三坐标测量机实现了对超深孔的接触式测量，但接触式测量方法均避免不了测量力对测量结果产生的影响。专利技术专利CN201710322539.2设计了一种内孔测量仪，利用电容传感器实现了对内孔的孔径的非接触测量；专利技术专利CN202110285459.0提出了基于激光传感器的轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用电涡流效应实现微孔直径和深度测量的测量装置，其特征在于：包括滑台机构和测量机构；所述滑台机构包括工作台（1）、步进电机（2）、滚珠丝杆（3）和滑台（4），所述步进电机（2）固定设于工作台（1）上，所述滚珠丝杆（3）通过支架固定设于工作台（1）上，步进电机（2）的输出轴连接着滚珠丝杆（3）的输入端；所述滑台（4）套设在滚珠丝杆（3）上，与滚珠丝杆（3）螺纹配合，实现滑台（4）沿滚珠丝杆（3）调整位置；所述测量机构包括探头支架（9）、电涡流测量探头（10）；所述探头支架（9）为L形支架，其中长边的端部固定在工作台（1）上，短边的端部位于滑台（4）的上方；所述电涡流测量探头（10）固定设于探头支架（9）的短边上，且探测部位对应下方的滑台（4）；测量时，待测件（11）通过固定座（5）固定于滑台（4）上，由步进电机（2）驱动的滑台（4）在滚珠丝杆（3）上以工作速度v匀速运动，实现电涡流探头（10）对微孔直径和深度的测量；测量工作时，所述测量线圈（6）在频率为1MHz幅值为1V的正弦信号的激励下，会在待测件（11）上产生电涡流环（13），电涡流环（13）是一种由感应电磁场产生的感应电流环，并非实体，且电涡流环（13）位于待测件带有微孔（12）一侧的表面上，电涡流环（13）的外径为d，且电涡流环（13）的外径d大于微孔（12）的直径D。2.根据权利要求1所述的一种利用电涡流效应实现微孔直径和深度测量的测量装置，其特征在于：所述测量装置对微孔直径的测量量程为1mm
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5mm，微孔直径的测量分辨率为0.01mm，微孔直径的测量误差小于0.02mm；对微孔深度的测量量程为...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘巧生，陈立蔚，牛国钰，万澳德，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：