【技术实现步骤摘要】
一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器
[0001]本专利技术涉及半导体储液容器领域,具体为一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器。
技术介绍
[0002]半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,从材料的角度看,半导体产业相关的材料主要有三大类:1、基体材料;2、制造材料;3、封装材料,其中半导体制造用抛光材料和半导体封装用光刻胶均属于半导体配套液体材料,由于半导体制造用抛光材料和半导体封装用光刻胶对于洁净度要求非常高,因此需要配合使用超高洁净度存储容器对半导体配套液体材料进行存储;而现有的半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器通常为包装桶,而现有的包装桶大多利用简单的螺纹盖进行闭合密封,密封性能较差,因此包装桶在移动转运过程中,发生颠簸晃动时,包装桶内的半导体配套液体材料容易在盖口处出现泄漏现象,导致材料浪费和环境污染,并且现有的包装桶在工作过程中,不能够对自身进行稳定的缓冲防护和定位放置工作,因此相邻的包装桶在转运过程中,发生颠簸晃动时,相邻的包装桶之间极易出现磕碰损坏,更容易导致半导体配套液 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器,包括支撑底座(1),其特征在于;所述支撑底座(1)内安装有防护组件(2),所述支撑底座(1)通过防护组件(2)连接有存储桶(3),所述存储桶(3)的顶端连接有第一密封盖(4)和第二密封盖(16),所述第一密封盖(4)和第二密封盖(16)内均安装有自动密封组件(5),所述第一密封盖(4)和第二密封盖(16)内均固定连接有第二弹簧(6),所述第二弹簧(6)的另一端固定连接有顶杆(7),所述存储桶(3)的顶部固定连接有定位筒(8),所述定位筒(8)内固定连接有固定杆(9),所述固定杆(9)上限位滑动连接有滑动块(10),所述存储桶(3)的底端连接有排液管(11),所述排液管(11)上安装有电磁阀(12),所述排液管(11)上连接有柔性管(13),所述柔性管(13)的另一端连接在支撑底座(1)上,所述支撑底座(1)的底部安装有支撑组件(14),所述第一密封盖(4)的内部顶端面上固定连接有橡胶塞(15),所述第二密封盖(16)上安装有洁净处理组件(17)。2.根据权利要求1所述一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器,其特征在于:所述防护组件(2)包括阻尼筒(201),所述阻尼筒(201)的一端和减震弹簧(202)的一端均固定连接在支撑底座(1)内,所述阻尼筒(201)的另一端和减震弹簧(202)的另一端均固定连接在导向框(203)上,所述减震弹簧(202)套设在阻尼筒(201)上,所述导向框(203)内滑动连接有导向轮(204),所述导向轮(204)上转动连接有安装板(205),所述安装板(205)的另一端固定连接在存储桶(3)上,所述阻尼筒(201)等角度分布在支撑底座(1)的内部底端面和内部侧端面上,所述阻尼筒(201)与导向框(203)一一对应,所述阻尼筒(201)固定在导向框(203)的中间部位,所述导向轮(204)对称分布在安装板(205)的两侧,两侧导向轮(204)的厚度之和大于导向框(203)的开口宽度。3.根据权利要求2所述一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器,其特征在于:所述存储桶(3)的底部固定连接有第一橡胶气囊(206),所述第一橡胶气囊(206)的底部固定连接在支撑底座(1)内,所述支撑底座(1)的顶部固定连接有橡胶板(207),所述橡胶板(207)固定连接在存储桶(3)上,所述第一橡胶气囊(206)等角度分布在存储桶(3)的底部,所述第一橡胶气囊(206)横截面呈“L”形,所述橡胶板(207)的顶端面与支撑底座(1)的顶端面平齐。4.根据权利要求1所述一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器,其特征在于:所述自动密封组件(5)包括弹性伸缩软管(501),所述弹性伸缩软管(501)的顶端与第一密封盖(4)的内部顶端面和第二密封盖(16)的内部顶端面之间均为固定连接,所述弹性伸缩软管(501)的底端固定连接有连接环(502),所述连接环(502)上固定连接有第一弹簧(503),所述第一弹簧(503)的顶端与第一密封盖(4)的内部顶端面和第二密封盖(16)的内部顶端面之间均为固定连接,所述弹性伸缩软管(501)和第一弹簧(503)均等角度分布在连接环(502)上,所述弹性伸缩软管(501)与第一弹簧(503)之间相间分布,所述第一密封盖(4)的直径与第二密封盖(16)的直径相等。5.根据权利要求4所述一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器,其特征在于:所述弹性伸缩软管(501)的顶端连接有输气管(504),所述输气管(504)的另一端连接有第二橡胶气囊(505),所述第二橡胶气囊(505)的顶端与第一密封盖(4)的内部顶端面和第二密封盖(16)的内部顶端面之间均为固定连接,所述输气管(504)对称分布在弹性伸缩软管(501)的顶端两侧,所述输气管(504)与第二橡胶气囊(505)一一对应,所述第二橡胶气囊
(505)的直径由内向外逐级增加。6.根据权利要求1所述一种半导体配套液体材料用的超高洁净度存储容器,其特征在于:所述支撑组件(14)包括液压杆(1401),所述液压杆(1401)的顶部固定连接在支撑底座(1)的底部,所述液压杆...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈志勇,
申请(专利权)人:深圳市华锦盛材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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