一种测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统技术方案

技术编号:37984537 阅读:23 留言:0更新日期:2023-06-30 09:59
本发明专利技术涉及光电技术领域,具体涉及一种测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统。包括,飞秒光线激光器,输出泵浦光和探测光;太赫兹发射光电导天线,接收泵浦光产生入射太赫兹波;测试模块,接收入射太赫兹波并产生携带待测样品信息的输出太赫兹波,测试模块基于测试需求设置为反射测量模块或透射测量模块或聚焦光衰减全反射测量模块;太赫兹接收光电导天线,接收探测光和携带待测样品信息的输出太赫兹波。本发明专利技术根据测试需求提供不同检测模块,减少资源浪费;操作简单,随换随用;不调整内部器件,不会影响太赫兹检测系统的稳定性,适应性强,可根据器件光程设计合适的探头。可根据器件光程设计合适的探头。可根据器件光程设计合适的探头。

【技术实现步骤摘要】
一种测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统


[0001]本专利技术涉及光电
,具体涉及一种太赫兹时域光谱系统。

技术介绍

[0002]目前国内外均十分注重太赫兹技术的发展,由于太赫兹波具有良好的透射及反射特性,因此太赫兹检测系统可以通过透射特性穿透待测样品以测量其吸收谱,通过太赫兹波反射特性测量待测样品的内部分层分布情况;
[0003]现有技术的太赫兹检测系统器件制造技术并不完善,使得太赫兹检测系统造价昂贵,因此传统的一机一用模式造成了严重的资源浪费,单光电导天线价格就要十几万。而目前市场上已有的单模块多功能太赫兹检测系统虽然可以一机多用,但是测试系统往往结构复杂,操作困难,使用不同功能往往需要使用者手动调节内部器件以改变系统光路,这将使太赫兹检测系统的稳定性在手动调节的过程中降低,大大影响其工作效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于,提供一种测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统,解决以上技术问题;
[0005]一种测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统,包括,
[0006]一飞秒光线激本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统,其特征在于,包括,一飞秒光线激光器,所述飞秒光线激光器输出一泵浦光和一探测光;一太赫兹发射光电导天线,通过一第一光纤连接所述飞秒光线激光器,接收所述泵浦光,并于所述泵浦光激励产生入射太赫兹波;可替换的测试模块,所述测试模块接收所述入射太赫兹波并产生携带待测样品信息的输出太赫兹波,所述测试模块基于测试需求设置为反射测量模块或透射测量模块或聚焦光衰减全反射测量模块;一太赫兹接收光电导天线,与所述测试模块相对应设置,接收所述探测光和所述携带待测样品信息的输出太赫兹波,并将光信号转化为电信号,输出所述待测样品的信息。2.根据权利要求1所述的测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统,其特征在于,所述反射测量模块包括,第一离轴抛物面镜,将所述太赫兹发射光电导天线发射的所述入射太赫兹波反射为沿Y轴正方向的平行的太赫兹波;第一椭圆反射镜,设于所述第一离轴抛物面镜的Y轴正方向上,所述第一椭圆反射镜和所述第一离轴抛物面镜中心之间具有第一距离,用于向X轴负方向反射来自所述第一椭圆反射镜的太赫兹波;第二离轴抛物面镜,设于所述第一椭圆反射镜的X轴负方向上,所述第二离轴抛物面镜和所述第一椭圆反射镜中心之间具有第二距离,用于将来自所述第一椭圆反射镜的太赫兹波反射至待测样品;所述待测样品,设于所述第二离轴抛物面镜的Y轴负方向及Z轴正方向之间的一第一方向上,所述待测样品和所述第二离轴抛物面镜中心之间具有第三距离;第三离轴抛物面镜,设于所述待测样品的Z轴正方向及Y轴正方向之间的一第二方向上,所述第三离轴抛物面镜和所述待测样品之间具备第四距离,所述第三离轴抛物面镜用于将来自所述待测样品的发散的太赫兹波反射为沿X轴负方向传播的平行的太赫兹波;第二椭圆反射镜,设于所述第三离轴抛物面镜的X轴负方向上,所述第二椭圆反射镜和所述第三离轴抛物面镜中心之间具有第五距离,用于向Y轴负方向反射来自所述第三离轴抛物面镜的太赫兹波;第四离轴抛物面镜,设于所述第二椭圆反射镜的Y轴负方向上,所述第四离轴抛物面镜和所述第二椭圆反射镜中心之间具备第六距离,所述第四离轴抛物面镜用于将来自所述第二椭圆反射镜的太赫兹波反射聚焦于所述太赫兹接收光电导天线。3.根据权利要求2所述的测试模块探头复用的太赫兹时域光谱系统,其特征在于,所述透射测量模块包括,第五离轴抛物面镜,将所述太赫兹发射光电导天线发射的所述入射太赫兹波反射为沿Y轴正方向的平行的太赫兹波;第三椭圆反射镜,设于所述第五离轴抛物面镜的Y轴正方向上,所述第三椭圆反射镜和所述第五离轴抛物面镜中心之间具有第七距离,用于向X轴负方向反射来自所述第五椭圆反射镜的太赫兹波;第六离轴抛物面镜,设于所述第三椭圆反射镜的X轴负方向上,所述第六离轴抛物面镜和所述第三椭圆反射镜中心之间具有第八距离,用于将来自所述第三椭圆反射镜的太赫兹
波反射至待测样品;所述待测样品,设于所述第六离轴抛物面镜的Y轴负方向上,所述待测样品和所述第六离轴抛物面镜中心之间具有第九距离;第七离轴抛物面镜,设于所述待测样品的Y轴负方向上,所述第七离轴抛物面镜和所述待测样品之间具备第十距离,所述第七离轴抛物面镜用于将来自所述待测样品的发散的太赫兹波反射为沿X轴负方向传播的平行的太赫兹波;第四椭圆反射镜,设于所述第七离轴抛物面镜的X轴负方向上,...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘金鸽杨旻蔚
申请(专利权)人:华太极光光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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