三维互连结构传输参数校准方法、装置和计算机设备制造方法及图纸

本申请涉及一种三维互连结构传输参数校准方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：获取参数测量装置测量得到的三维互连结构的待校准传输参数以及各校准结构的各测量参数；参数测量装置的各测试点分别通过延伸预设长度的传输线与三维互连结构以及各校准结构的各测试连接点进行连接；各校准结构包括直通校准结构、传输线校准结构以及反射校准结构；根据待校准传输参数与各测量参数，调用参数校准模型对待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，参数校准模型基于TRL去嵌校准算法预先生成。采用本方法能够有效降低了校准后的目标传输参数的误差，提高了目标传输参数的精准性。提高了目标传输参数的精准性。提高了目标传输参数的精准性。

【技术实现步骤摘要】
三维互连结构传输参数校准方法、装置和计算机设备


[0001]本申请涉及微波
，特别是涉及一种三维互连结构传输参数校准方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。

技术介绍

[0002]基于TSV(硅通孔，Through
‑
Silicon
‑
Via)的垂直互连作为三维集成电路中最具代表性的互连技术以更高的集成密度，更短的互连距离、延迟和功耗使得电学性能更优。然而随着信号高速高频化的趋势日益明显，电路也由水平分布转向垂直分布，经过垂直互连结构的信号传输会出现一定程度的衰减，甚至完全失真。因此，在高频条件下，垂直互连结构对信号传输影响的研究至关重要。而传输参数是研究结构对信号传输影响的重要参数。
[0003]研究人员在实际对传输参数进行测量时，由于待测件中常常包含其他冗余结构，使得直接测量得到的传输参数误差较大，需要进行校准才能使用。
[0004]传统的传输参数校准方法在三维互连结构中忽略了互连结构与测试装置连接时的寄生参数和互连线的分布效应，只是基于TSV和RDL互连线的级联计算传输矩阵进行去嵌，高估了输入输出网络之间的耦合效应，使得校准后的传输参数误差仍然较大，实际使用效果不佳。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够提高传输参数的校准精度的三维互连结构传输参数校准方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。
[0006]第一方面，本申请提供了一种三维互连结构传输参数校准方法，所述方法包括：
[0007]获取参数测量装置测量得到的三维互连结构的待校准传输参数以及各校准结构的各测量参数；所述参数测量装置的各测试点分别通过延伸预设长度的传输线与所述三维互连结构以及各所述校准结构的各测试连接点进行连接；所述各校准结构包括直通校准结构、传输线校准结构以及反射校准结构；
[0008]根据所述待校准传输参数与各所述测量参数，调用参数校准模型对所述待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，所述参数校准模型基于TRL去嵌校准算法预先生成。
[0009]在其中一个实施例中，所述获取参数测量装置测量得到的各校准结构的测量参数，包括：
[0010]获取所述参数测量装置测量得到的直通校准结构的第一测量参数，所述直通校准结构由电长度为零的传输线构成；
[0011]获取所述参数测量装置测量得到的传输线校准结构的第二测量参数，所述传输线校准结构由预设电长度的传输线构成，所述预设电长度根据所述参数测量装置的测量频率确定；
[0012]获取所述参数测量装置测量得到的反射校准结构的第三测量参数，所述反射校准结构由与所述参数测量装置连接传输线开路构成。
[0013]在其中一个实施例中，所述根据所述待校准传输参数与各所述测量参数，调用参数校准模型对所述待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，包括：
[0014]调用参数校准模型对所述待校准传输参数、第一测量参数、第二测量参数进行中间参数转换，得到所述三维互连结构的待校准中间参数、直通校准结构的第一中间参数以及传输线校准结构的第二中间参数；
[0015]获取所述参数测量装置夹具对应的夹具中间参数，所述夹具中间参数包括第一夹具中间参数与第二夹具中间参数；
[0016]根据所述待校准中间参数、第一中间参数、第二中间参数、第三测量参数与所述夹具中间参数得到校准后的待校准中间参数，将所述校准后的待校准中间参数确定为目标中间参数；
[0017]对目标中间参数进行传输参数转换，得到校准后的目标传输参数。
[0018]在其中一个实施例中，所述根据所述待校准中间参数、第一中间参数、第二中间参数、第三测量参数与所述夹具中间参数得到校准后的待校准中间参数，包括：
[0019]根据预设对应关系，对所述待校准中间参数、第一中间参数、第二中间参数与所述夹具中间参数进行矩阵运算，得到参数测量过程中各误差项的表达式；
[0020]使用第三测量参数对各所述误差项表达式进行转化，得到各误差项表达式的误差对应关系；
[0021]根据所述误差对应关系确定各所述误差项的误差值；
[0022]基于各所述误差项的误差值得到校准后的待校准中间参数。
[0023]在其中一个实施例中，所述预设对应关系包括：
[0024]所述第一中间参数等于所述第一夹具中间参数与所述第二夹具中间参数的乘积；
[0025]所述第二中间参数与所述第一夹具中间参数以及所述第二夹具中间参数的乘积成正比；
[0026]所述待校准中间参数等于所述第一夹具中间参数、第二夹具中间参数与所述校准后的待校准中间参数的乘积。
[0027]在其中一个实施例中，所述预设电长度根据所述参数测量装置的测量频率确定，包括：
[0028]根据所述参数测量装置的测量频率、相对介电常数以及光速确定所述预设电长度；所述预设电长度与所述光速成正比，与所述测量频率以及所述相对介电常数成反比。
[0029]第二方面，本申请还提供了一种三维互连结构传输参数校准装置，所述装置包括：
[0030]参数获取模块，用于获取参数测量装置测量得到的三维互连结构的待校准传输参数以及各校准结构的测量参数；所述参数测量装置的各测试点分别通过延伸预设长度的传输线与所述三维互连结构以及各所述校准结构的各测试连接点进行连接；所述各校准结构包括直通校准结构、传输线校准结构以及反射校准结构；
[0031]参数校准模块，用于根据所述待校准传输参数与各所述测量参数，调用参数校准模型对所述待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，所述参数校准模型基于TRL去嵌校准算法预先生成。
[0032]第三方面，本申请还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的方法的步骤。
[0033]第四方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的方法的步骤。
[0034]第五方面，本申请还提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述的方法的步骤。
[0035]上述三维互连结构传输参数校准方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品，参数测量装置的各测试点分别通过延伸预设长度的传输线与三维互连结构以及各校准结构的各测试点进行连接，分别对三维互连结构与各校准结构进行传输参数测量，得到待校准传输参数与各校准结构对应的测量参数。由于传输线在进行连接时均延伸了预设长度，因此可以有效消除测试限制，是测量得到的各参数抵消由于传输线的连接长度导致的冗余结构误差。根据测量得到的待校准传输参数与各测量参数，调用基于TRL去嵌校准算法预先生成的参数校准模型对待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，在已消除了传输线导致的冗余结构误差的基础上进一步对待校准传输参数进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三维互连结构传输参数校准方法，其特征在于，所述方法包括：获取参数测量装置测量得到的三维互连结构的待校准传输参数以及各校准结构的各测量参数；所述参数测量装置的各测试点分别通过延伸预设长度的传输线与所述三维互连结构以及各所述校准结构的各测试连接点进行连接；所述各校准结构包括直通校准结构、传输线校准结构以及反射校准结构；根据所述待校准传输参数与各所述测量参数，调用参数校准模型对所述待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，所述参数校准模型基于TRL去嵌校准算法预先生成。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取参数测量装置测量得到的各校准结构的测量参数，包括：获取所述参数测量装置测量得到的直通校准结构的第一测量参数，所述直通校准结构由电长度为零的传输线构成；获取所述参数测量装置测量得到的传输线校准结构的第二测量参数，所述传输线校准结构由预设电长度的传输线构成，所述预设电长度根据所述参数测量装置的测量频率确定；获取所述参数测量装置测量得到的反射校准结构的第三测量参数，所述反射校准结构由与所述参数测量装置连接传输线开路构成。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述待校准传输参数与各所述测量参数，调用参数校准模型对所述待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，包括：调用参数校准模型对所述待校准传输参数、第一测量参数、第二测量参数进行中间参数转换，得到所述三维互连结构的待校准中间参数、直通校准结构的第一中间参数以及传输线校准结构的第二中间参数；获取所述参数测量装置夹具对应的夹具中间参数，所述夹具中间参数包括第一夹具中间参数与第二夹具中间参数；根据所述待校准中间参数、第一中间参数、第二中间参数、第三测量参数与所述夹具中间参数得到校准后的待校准中间参数，将所述校准后的待校准中间参数确定为目标中间参数；对目标中间参数进行传输参数转换，得到校准后的目标传输参数。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述待校准中间参数、第一中间参数、第二中间参数、第三测量参数与所述夹具中间参数得到校准后的待校准中间参数，包括：根据预设对应关系，对所述待...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏跃，张伊铭，邵伟恒，周斌，黄云，路国光，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：