ATE设备的参数校准方法、装置及系统制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种ATE设备的参数校准方法、装置及系统，涉及测试技术领域。其中，该方法包括：应用于校准系统；所述方法包括：控制所述校准单元对所述负载单元进行校准；若所述负载单元完成校准，则控制所述校准单元对所述ATE设备的多个IO通道单元进行校准；其中，多个IO通道单元的校准包括：对多个IO通道单元中的高精密测量单元串行地进行校准；若各所述IO通道单元的高精密测量单元完成校准，则基于各所述IO通道单元中完成校准的高精密测量单元，对各所述IO通道单元中的多个四象限单引脚参数测量单元并行地进行校准、以及对各所述IO通道单元中的多个引脚单元并行地进行校准。本申请实施例解决了相关技术中ATE设备的参数校准的效率低下的问题。的效率低下的问题。的效率低下的问题。

【技术实现步骤摘要】
ATE设备的参数校准方法、装置及系统


[0001]本申请涉及测试
，具体而言，本申请涉及一种ATE设备的参数校准方法、装置及系统。

技术介绍

[0002]在使用ATE设备等测试系统对半导体器件进行测试的过程中，在特定的功能测试中，ATE设备通过IO通道向DUT提供测试信号，利用驱动器将振幅、阻抗、电流、转换速率等测试信号传送到DUT。ATE设备接收DUT响应于测试信号产生的输出信号，ATE设备中的模拟比较器在接收到输出信号后对其进行采样，捕捉到的输出信号与预期的输出信号进行比较，以便确定该DUT是否工作正常。
[0003]目前，集成电路测试公司在进行规模测试前，需对ATE设备进行参数校准。ATE设备有若干个IO通道需要校准，通常，ATE设备中每个IO通道的校准是利用测试设备(如电压表、电流表等等)手动进行的，每个IO通道的待校准参数都被测量后才能得到补偿数据。
[0004]由上可知，ATE设备的参数校准的效率低下成为亟需解决的问题。

技术实现思路

[0005]本申请各实施例提供了一种ATE设备的参数校准方法、装置及系统，可以解决相关技术中存在的ATE设备的参数校准的效率低下的问题。所述技术方案如下：
[0006]根据本申请实施例的一个方面，一种ATE设备的参数校准方法，应用于校准系统，所述校准系统包括主控模块、校准负载模块以及ATE设备；所述校准负载模块包括校准单元和负载单元；所述ATE设备包括待校准的多个输入输出IO通道单元，每个IO通道单元由一个高精密测量单元、多个四象限单引脚参数测量单元、以及多个引脚单元复用；所述方法包括：控制所述校准单元对所述负载单元进行校准；若所述负载单元完成校准，则控制所述校准单元对所述ATE设备的多个IO通道单元进行校准；其中，多个IO通道单元的校准包括：对多个IO通道单元中的高精密测量单元串行地进行校准；若各所述IO通道单元的高精密测量单元完成校准，则基于各所述IO通道单元中完成校准的高精密测量单元，对各所述IO通道单元中的多个四象限单引脚参数测量单元并行地进行校准、以及对各所述IO通道单元中的多个引脚单元并行地进行校准。
[0007]根据本申请实施例的一个方面，一种ATE设备的参数校准装置，应用于校准系统，所述校准系统包括主控模块、校准负载模块以及ATE设备；所述校准负载模块包括校准单元和负载单元；所述ATE设备包括待校准的多个输入输出IO通道单元，每个IO通道单元由一个高精密测量单元、多个四象限单引脚参数测量单元、以及多个引脚单元复用；所述装置包括：第一校准模块，用于控制所述校准单元对所述负载单元进行校准；第二校准模块，用于若所述负载单元完成校准，则控制所述校准单元对所述ATE设备的多个IO通道单元进行校准；其中，多个IO通道单元的校准包括：对多个IO通道单元中的高精密测量单元串行地进行校准；若各所述IO单元的高精密测量单元完成校准，则基于各所述IO通道单元中完成校准
的高精密测量单元，对各所述IO通道单元中的多个四象限单引脚参数测量单元并行地进行校准、以及对各所述IO通道单元中的多个引脚单元并行地进行校准。
[0008]根据本申请实施例的一个方面，一种ATE设备的参数校准系统，所述系统包括：ATE设备，包括待校准的多个输入输出IO通道单元，每个IO通道单元由一个高精密测量单元、多个四象限单引脚参数测量单元、以及多个引脚单元复用；校准负载模块，所述校准负载模块包括校准单元和负载单元；主控模块，用于控制所述校准单元对所述负载单元进行校准，以及若所述负载单元完成校准，则控制所述校准单元对所述ATE设备的多个IO通道单元进行校准；其中，多个IO通道单元的校准包括：对多个IO通道单元中的高精密测量单元串行地进行校准；若各所述IO单元的高精密测量单元完成校准，则基于各所述IO通道单元中完成校准的高精密测量单元，对各所述IO通道单元中的多个四象限单引脚参数测量单元并行地进行校准、以及对各所述IO通道单元中的多个引脚单元并行地进行校准。
[0009]根据本申请实施例的一个方面，一种存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如上所述的一种ATE设备的参数校准方法。
[0010]根据本申请实施例的一个方面，一种计算机程序产品，计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序存储在存储介质中，计算机设备的处理器从存储介质读取计算机程序，处理器执行计算机程序，使得计算机设备执行时实现如上所述的一种ATE设备的参数校准方法。
[0011]本申请提供的技术方案带来的有益效果是：
[0012]在上述技术方案中，不但实现了串行校准各IO通道单元的高精密测量单元，而且实现了并行校准各IO通道单元的各四象限单引脚参数测量单元、以及各引脚单元，从而加快了对ATE设备校准速度，此外，所有的校准过程都是利用控制单元自动控制的，实现了自动化校准ATE设备，减少人工的步骤，降低校准的错误率，从而提升校准的效率，进而解决了相关技术中存在的ATE设备的参数校准的效率低下的问题。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对本申请实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0014]图1是根据一示例性实施例示出的一种ATE设备的参数校准系统的结构框图；
[0015]图2是根据一示例性实施例示出的一种ATE设备的结构框图；
[0016]图3是根据一示例性实施例示出的一种校准负载模块与ATE设备连接的结构框图；
[0017]图4是根据一示例性实施例示出的一种校准系统的结构框图；
[0018]图5是根据一示例性实施例示出的一种校准负载模块的示意图；
[0019]图6是根据一示例性实施例示出的一种ATE设备的参数校准系统方法的流程图；
[0020]图7是图6对应实施例中步骤330在一个实施例的流程图；
[0021]图8是图7对应实施例中步骤430在一个实施例的流程图；
[0022]图9是图6对应实施例中步骤330在一个实施例的流程图；
[0023]图10a是图6对应实施例中步骤330在一个实施例的流程图；
[0024]图10b是图6对应实施例中引脚单元在一个实施例的结构框图；
[0025]图11是根据一示例性实施例示出的一种ATE设备的参数校准装置的结构框图；
[0026]图12是根据一示例性实施例示出的一种电子设备的硬件结构图；
[0027]图13是根据一示例性实施例示出的一种电子设备的结构框图。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
[0029]本
技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ATE设备的参数校准方法，其特征在于，应用于校准系统，所述校准系统包括主控模块、校准负载模块以及ATE设备；所述校准负载模块包括校准单元和负载单元；所述ATE设备包括待校准的多个输入输出IO通道单元，每个IO通道单元由一个高精密测量单元、多个四象限单引脚参数测量单元、以及多个引脚单元复用；所述方法包括：控制所述校准单元对所述负载单元进行校准；若所述负载单元完成校准，则控制所述校准单元对所述ATE设备的多个IO通道单元进行校准；其中，多个IO通道单元的校准包括：对多个IO通道单元中的高精密测量单元串行地进行校准；若各所述IO通道单元的高精密测量单元完成校准，则基于各所述IO通道单元中完成校准的高精密测量单元，对各所述IO通道单元中的多个四象限单引脚参数测量单元并行地进行校准、以及对各所述IO通道单元中的多个引脚单元并行地进行校准。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对多个IO通道单元中的高精密测量单元串行地进行校准，包括：依次闭合各所述IO通道单元中的高精密测量单元，将处于闭合状态的所述高精密测量单元作为当前一个高精密测量单元；确认所述当前一个高精密测量单元的待校准参数，配置所述当前一个高精密测量单元进入与所述待校准参数对应的工作模式；获取所述工作模式下所述当前一个高精密测量单元的测量电路参数；基于所述当前一个高精密测量单元的所述测量电路参数，计算得到所述当前一个高精密测量单元的第一补偿数据；所述第一补偿数据用于对所述当前一个高精密测量单元的所述待校准参数进行校准；若所述当前一个高精密测量单元完成校准，则对后一个高精密测量单元进行校准，直至各所述IO通道单元中的所述高精密测量单元均完成校准。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述高精密测量单元的待校准参数包括以下至少一种：补偿驱动电压FV、驱动电流FI、测量电压MV、测量电流MI、钳位电压CV或钳位电流CI；所述确认所述当前一个高精密测量单元的待校准参数，配置所述当前一个高精密测量单元进入与所述待校准参数对应的工作模式，包括：若检测到所述高精密测量单元的待校准参数为MV，则配置所述高精密测量单元进入加压测压模式；若检测到所述高精密测量单元的待校准参数为MI，则配置所述高精密测量单元进入加流测流模式；若检测到所述高精密测量单元的待校准参数为CV，则配置所述高精密测量单元进入加流测压模式；若检测到所述高精密测量单元的待校准参数为CI，则配置所述高精密测量单元进入加压测流模式；若检测到所述高精密测量单元的待校准参数为FV或FI，则配置所述高精密测量单元进入标准模式。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于各所述IO通道单元中完成校准的高精密测量单元，对各所述IO通道单元中的多个四象限单引脚参数测量单元并行地进行校准，包括：闭合第一个所述IO通道单元中复用第一个IO通道的高精密测量单元和四象限单引脚参数测量单元，断开复用第一个IO通道的引脚单元；确认处于闭合状态的四象限单引脚参数测量单元的待校准参数，配置处于闭合状态的高精密测量单元进入与所述待校准参数对应的工作模式，并利用处于所述工作模式的高精密测量单元，得到第一个IO通道单元中复用第一个IO通道的四象限单引脚参数测量单元的第二补偿数据；依次对其他所述IO通道单元中复用第一个IO通道的四象限单引脚参数测量单元进行串行校准，直至得到其他IO通道单元中复用第一个IO通道的四象限单引脚参数测量单元的第二补偿数据；同时闭合所有所述IO通道单元中复用第二个IO通道的高精密测量单元和四象限单引脚参数测量单元，断开复用第二个IO通道的引脚单元，得到所有所述IO通道单元中复用第二个IO通道的四象限单引脚参数测量单元的第二补偿数据；依次同时对所有所述IO通道单元中复用每一个其他IO通道的四象限单引脚参数测量单元进行并行校准，直至得到所有所述IO通道单元中复用其他IO通道的四象限单引脚参数测...

【专利技术属性】
技术研发人员：成源涛，吴海涛，许应，
申请(专利权)人：深圳市辰卓科技有限公司，
类型：发明
国别省市：