外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成制造技术

本发明专利技术公开了一种外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成，由有源RSOA芯片与无源光子芯片经RSOA通道和光波导耦合对接集成，有源RSOA芯片与无源光子芯片的耦合端面镀有光学抗反射膜，有源RSOA芯片的另一端面镀有光学高反射膜，在无源光子芯片的光波导上设有波导位相控制区、波导滤波反馈区和波导光学耦合器，波导位相控制区和波导滤波反馈区均设有用于改变光波导折射率的电极，RSOA通道包括增益RSOA通道和放大RSOA通道构成反射式半导体光学放大器，增益RSOA通道和与之耦合光波导上的波导位相控制区和波导滤波反馈区构成外腔半导体激光器。本发明专利技术在光强放大的同时保持光的相干性，避免光学杂散效应。避免光学杂散效应。避免光学杂散效应。

【技术实现步骤摘要】
外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成


[0001]本专利技术涉及一种外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成。

技术介绍

[0002]光子集成芯片的发展趋势是向以CMOS为基础的硅半导体平台进行的转移，具体代表就是硅光子技术，即在硅晶圆上利用CMOS半导体工艺和技术，实现高性能、低成本的光器件的大规模集成和制造。
[0003]SOA(Semiconductor Optical Amplifier)或者半导体光学放大器，是很多应用场景中必不可少的核心元器件。在光通讯中，为了保证发射的激光信号达到一定功率强度，对激光发射的光功率进行放大。新的应用如激光雷达和长距离光子传感，在要求半导体激光器保持高光谱纯度如单模和高相干性的同时，对激光功率也提出了更高要求。在利用SOA对激光光强或光信号进行放大时，一般是光从SOA的一个端口进入，经放大后再从另一个端口输出，这时SOA是运行在透过模式，和被放大的激光器在光路上是串联的方式连接。
[0004]透射式SOA光学放大器在光路的嵌入主要有两种方式：<br/>[0005]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成，其特征在于：它由设有RSOA通道的有源RSOA芯片与设有光波导的无源光子芯片经RSOA通道和光波导耦合对接集成，所述有源RSOA芯片与无源光子芯片的耦合端面镀有光学抗反射膜，所述有源RSOA芯片的另一端面镀有光学高反射膜，在所述无源光子芯片的光波导上设有波导位相控制区、波导滤波反馈区和波导光学耦合器，所述波导位相控制区和波导滤波反馈区均设有用于改变光波导折射率的电极，所述RSOA通道包括用于光增益的增益RSOA通道和用于光放大的放大RSOA通道构成反射式半导体光学放大器，所述增益RSOA通道和与之耦合光波导上的波导位相控制区和波导滤波反馈区构成外腔半导体激光器，所述外腔半导体激光器发出的光经光波导传输并耦合到放大RSOA通道进行放大，再由放大RSOA通道的高反射膜反射耦合回到无源光子芯片的光波导。2.根据权利要求1所述的外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成，其特征在于：所述有源RSOA芯片是含有多个RSOA通道的单芯片或者包括多个单芯片，每个单芯片含有一个或多个RSOA通道。3.根据权利要求2所述的外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成，其特征在于：在连接外腔半导体激光器和放大RSOA通道之间的光波导上设有波导位相控制区，在所述放大RSOA通道和外腔半导体激光器联通光路或合波输出之间设有波导位相控制区。4.根据权利要求3所述的外腔半导体激光器及反射式半导体光学放大器的芯片集成，其特征在于：所述放大RSOA通道和外腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：李若林，
申请(专利权)人：珠海映讯芯光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：