【技术实现步骤摘要】
一种脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统及测试方法
[0001]本专利技术涉及一种脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统及测试方法，属于半导体激光器
技术介绍
[0002]随着半导体技术的日趋成熟，半导体激光器以其转换效率高、体积小、重量轻、可靠性高、能直接调制等特点，在科研、工业、军事、医疗等领域得到了日益广泛的应用，并在诸多领域引起了革命性的突破，市场需求量及发展潜力巨大。高功率光纤耦合半导体激光器具备复杂的制造工艺与生产流程，其中高功率半导体激光器的反射镜耦合的功率测试环节是不可或缺的一项要求，多路光束通过反射镜进行空间合束，为了光纤耦合最大限度甚至无损失的输出，必须单独对每一路光束进行反射镜耦合的功率测试，多路反射镜耦合叠加有效光束的功率测试满足线性计算，通过测试实现反射镜位置最优、耦合功率可量化、效率可追溯，反射镜耦合工艺全程可控，确保产品质量稳定性。
[0003]目前在半导体激光器封装领域，高功率半导体激光器的反射镜耦合的功率测试主要是由直流电源驱动，通过积分球上安装的功率计进行读取记数，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统，其特征在于，包括水冷金属板、脉冲电源、功率检测组件、工控机和光学平台，其中，光学平台上设置有水冷金属板，水冷金属板上设置有激光器，激光器连接有脉冲电源，水冷金属板一侧的光学平台上设置有功率检测组件，通过功率检测组件进行脉冲电源驱动激光器的功率测试，脉冲电源和功率检测组件均连接有工控机。2.如权利要求1所述的脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统，其特征在于，功率检测组件包括积分球、光电探测器和数据采集设备，积分球上一个输入端连接有激光器的光纤输出端，一个输出端通过光纤连接有光电探测器，光电探测器连接有数据采集设备。3.如权利要求2所述的脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统，其特征在于，水冷金属板为长方形金属板，水冷金属板内设置有供回水管路，供回水管路通过供回水球阀连接有厂务水管。4.如权利要求3所述的脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统，其特征在于，脉冲电源连接有激光器的加电针正负极。5.如权利要求4所述的脉冲驱动高功率半导体激光器的耦合测试系统，其特征在于，工控机连接有显示器。6....
【专利技术属性】
技术研发人员：王宝立，秦华兵，汤庆敏，
申请(专利权)人：山东华光光电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。