用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质，所述电压测试机台的测试电压补偿方法包括：基于初始测试电压对目标待测器件进行初始测试，以获取目标待测器件的相应测试电路的总电阻；确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻；基于目标待测器件的相应测试电路的总电阻以及所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，计算所述初始测试电压补偿后的目标电压。本发明专利技术能够对待测器件施加更精确的电压，提高测试结果的准确性。提高测试结果的准确性。提高测试结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质


[0001]本专利技术涉及集成电路测试
，尤其涉及一种用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质。

技术介绍

[0002]集成电路测试环节是能够确保集成电路达到所要求的性能和质量等参数要求的一个重要的环节，在整个集成电路产品的设计、生产制造以及应用方面都是不可或缺的组成部分，已成为集成电路产品高可靠性保障的关键技术之一。
[0003]对于集成电路行业来说，随着半导体的制程已经到了7nm以下，提高测试的精度非常的重要。目前所有的测试机台都会因为设备结构的原因有设备内阻，设备内阻会在加压测试过程中造成分压的现象，造成供压不足测试不准确。目前，测试机台有些没有电压损失补偿，有些有电压损失补偿的也是采用的同一补偿电压的方式，这两种电压补偿的方式精度都不高，会对高精度的测试带来比较大的影响，并影响最终的测试结果。
[0004]因此，有必要提供一种新型的用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质以解决现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质，能够对待测器件施加更精确的电压，提高测试结果的准确性。
[0006]为实现上述目的，本专利技术的所述一种用于测试机台中的测试电压补偿方法，所述测试机台包括多个测试通道，所述测试通道由源测试单元控制产生测试电压，所述补偿方法包括：
[0007]基于初始测试电压对目标待测器件进行初始测试，以获取所述目标待测器件的相应测试电路的总电阻，其中，所述相应测试电路包括电连通所述目标待测器件内的第一测试通道和第二测试通道；
[0008]确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻；
[0009]基于所述目标待测器件的所述相应测试电路的总电阻以及所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，计算所述初始测试电压补偿后的目标电压；
[0010]其中，所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道均为所述测试机台中不相同的测试通道，所述总电阻包括所述目标待测器件的电阻和所述相应测试电路内的测试通道的电阻。
[0011]本专利技术所述用于测试机台中的测试电压补偿方法的有益效果在于：通过计算目标待测器件内的第一测试通道和第二测试通道的电阻，并基于相应测试电路的总电阻和第一测试通道和第二测试通道的电阻计算补偿后的目标电压，能够更加精确的对施加的电压信
号进行补偿，大幅度提高了测试精度，不会出现相应测试电路的实际供电电压下降的问题。
[0012]可选的，每个所述测试通道均由独立的源测试单元控制产生所述测试电压，所述确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，包括：
[0013]选择所述测试机台中除所述第一测试通道和所述第二测试通道以外的其它测试通道作为所述第三测试通道；
[0014]将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道两两短路接通以形成多组通道组，并获取每一组所述通道组的电阻；
[0015]根据每一组所述通道组的电阻联立电阻方程组以计算得到所述第一测试通道的电阻、所述第二测试通道的电阻和所述第三测试通道的电阻。
[0016]可选的，每一组所述通道组的电阻为多次测量电阻的平均值。
[0017]可选的，若干条所述测试通道由同一个共享源测试单元控制产生所述测试电压，且所述第一测试通道和所述第二测试通道由一个或多个共享源测试单元控制产生所述测试电压，所述确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，包括：
[0018]确定控制所述第一测试通道和所述第二测试通道的所有共享源测试单元，选择由所述共享源测试单元控制并除了所述第一测试通道和所述第二测试通道之外的任一测试通道作为所述第三测试通道；
[0019]计算所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道在共同使用每一个所述共享源测试单元时对应的电阻值；
[0020]根据所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道在每一个所述共享源测试单元对应的电阻值之和与所述共享源测试单元的数量，计算所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道的电阻均值，并将所述电阻均值作为每一个所述测试通道的电阻。
[0021]可选的，所述计算所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道在使用每一个所述共享源测试单元时对应的电阻值，包括：
[0022]将与每一个所述共享源测试单元所对应的所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道两两短路接通以形成多组通道组，并获取每一组所述通道组的电阻；
[0023]根据每一组所述通道组的电阻联立电阻方程组以计算得到与每一个所述共享测试单元所对应的所述第一测试通道的电阻、所述第二测试通道的电阻和所述第三测试通道的电阻。
[0024]可选的，每一组所述通道组的电阻为多次测量电阻的平均值。
[0025]可选的，所述基于所述目标待测器件的所述相应测试电路的总电阻以及所述第一测试通道的电阻、所述第二测试通道的电阻，计算所述初始测试电压补偿后的目标电压，包括：
[0026]获取所述目标待测器件的电阻R
DUT
，R
DUT
＝R
‑
R1‑
R2，其中，R表示所述目标待测器件的所述相应测试电路的总电阻，R1和R2分别表示所述第一测试通道的电阻和所述第二测试
通道的电阻；
[0027]根据所述目标待测器件的电阻R
DUT
以及所述目标待测器件的所述相应测试电路的总电阻，计算补偿后的目标电压。
[0028]可选的，所述目标电压V的计算过程满足如下公式：
[0029][0030]其中，V0表示所述初始测试电压。
[0031]本专利技术还提供了一种用于测试机台中的测试电压补偿装置，所述测试机台包括多个测试通道，所述测试通道由源测试单元控制产生测试电压，所述补偿装置包括：
[0032]第一测试模块，用于基于初始测试电压对目标待测器件进行初始测试，以获取所述目标待测器件的相应测试电路的总电阻，其中，所述相应测试电路包括电连通所述目标待测器件内的第一测试通道和第二测试通道；
[0033]第二测试模块，用于获取第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测试机台中的测试电压补偿方法，所述测试机台包括多个测试通道，所述测试通道由源测试单元控制产生测试电压，其特征在于，所述补偿方法包括：基于初始测试电压对目标待测器件进行初始测试，以获取所述目标待测器件的相应测试电路的总电阻，其中，所述相应测试电路包括电连通所述目标待测器件的第一测试通道和第二测试通道；确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻；基于所述目标待测器件的所述相应测试电路的总电阻以及所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，计算所述初始测试电压补偿后的目标电压；其中，所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道均为所述测试机台中不相同的测试通道，所述总电阻包括所述目标待测器件的电阻和所述相应测试电路内的测试通道的电阻。2.根据权利要求1所述的用于测试机台中的测试电压补偿方法，其特征在于，每个所述测试通道均由独立的源测试单元控制产生所述测试电压，所述确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，包括：选择所述测试机台中除所述第一测试通道和所述第二测试通道以外的其它测试通道作为所述第三测试通道；将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道两两短路接通以形成多组通道组，并获取每一组所述通道组的电阻；根据每一组所述通道组的电阻联立电阻方程组以计算得到所述第一测试通道的电阻、所述第二测试通道的电阻和所述第三测试通道的电阻。3.根据权利要求2所述的用于测试机台中的测试电压补偿方法，其特征在于，每一组所述通道组的电阻为多次测量电阻的平均值。4.根据权利要求1所述的用于测试机台中的测试电压补偿方法，其特征在于，若干条所述测试通道由同一个共享源测试单元控制产生所述测试电压，且所述第一测试通道和所述第二测试通道由一个或多个共享源测试单元控制产生所述测试电压，所述确定第三测试通道，将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组，获取所述通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻，包括：确定控制所述第一测试通道和所述第二测试通道的所有共享源测试单元，选择由所述共享源测试单元控制并除了所述第一测试通道和所述第二测试通道之外的任一测试通道作为所述第三测试通道；计算所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道在共同使用每一个所述共享源测试单元时对应的电阻值；根据所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道在每一个所述共享源测试单元对应的电阻值之和与所述共享源测试单元的数量，计算所述第一测试通道、所述
第二测试通道和所述第三测试通道的电阻均值，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵中阳，
申请(专利权)人：上海精积微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：