本发明专利技术涉及一种超高真空的旋转装置，包括：腔体、旋转机构和直线模组，旋转机构包括导杆和旋转轴，旋转轴通过第一轴承与腔体转动连接，导杆通过连接孔贯穿腔体且插入旋转轴内，导杆上设置有螺旋槽，旋转轴内固定有导向块，导向块与螺旋槽配合，直线模组通过支架安装于腔体外，直线模组驱动导杆沿旋转轴轴向移动，连接孔与导杆之间通过波纹管密封。本发明专利技术使用直线运动的导杆来带动真空内部件的旋转，结构简单，设备成本降低；且导杆与腔体之间可以通过波纹管进行静密封，从而实现在超高真空环境中密封可靠。中密封可靠。中密封可靠。
【技术实现步骤摘要】
一种超高真空的旋转装置
[0001]本专利技术涉及真空系统的传动
，尤其是指一种超高真空的旋转装置。
技术介绍
[0002]在高真空以及超高真空的应用领域如PVD或CVD，设备真空室内部需要保持极高的真空度，而由于某些设备需要将真空室外部的驱动端的动力传递到真空室内的负载端，现有的技术往往是通过传动轴连接驱动端和负载端，而传动轴贯穿设备时就必须有一定的密封结构才能保证密封性，但是传统的密封方式，如轴密封及磁流体密封，都存在泄漏风险。
[0003]为了解决上述动态密封方式易出现泄露的问题，如公告号为“CN201726299U”的中国技术专利所揭示的磁耦合密封驱动器，通过将真空端与驱动端完全隔离的方式，采用磁铁传递扭力，实现真空部件旋转，从而可以使用静态密封解决这一问题，但是磁耦合机构的整体结构复杂，占用空间大，零部件多且价格昂贵。
技术实现思路
[0004]为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中真空动密封存在泄露风险且成本较高的缺陷，提供一种全新的真空环境旋转装置，保证超高真空环境的可靠密封。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种超高真空的旋转装置，包括：腔体，所述腔体上设置有连接孔；旋转机构，所述旋转机构包括导杆和旋转轴，所述旋转轴通过第一轴承与所述腔体转动连接，所述导杆通过所述连接孔贯穿所述腔体且插入所述旋转轴内，所述导杆上设置有螺旋槽，所述旋转轴内固定有导向块，所述导向块与所述螺旋槽配合；直线模组，所述直线模组通过支架安装于所述腔体外，所述直线模组驱动所述导杆沿所述旋转轴轴向移动，所述连接孔与所述导杆之间通过波纹管密封。
[0006]在本专利技术的一个实施例中，所述导杆包括杆本体和连接头，所述螺旋槽设置在所述杆本体上，所述连接头连接在所述腔体外的所述杆本体端部，所述波纹管一端与所述连接头密封连接，另一端与所述连接孔外周的腔体密封连接。
[0007]在本专利技术的一个实施例中，所述波纹管通过第一安装部与所述腔体相连，所述第一安装部与所述腔体之间设置有密封圈。
[0008]在本专利技术的一个实施例中，所述导杆与所述旋转轴之间设置有导向轴承。
[0009]在本专利技术的一个实施例中，所述第一轴承和导向轴承通过真空润滑脂进行润滑。
[0010]在本专利技术的一个实施例中，所述直线模组包括丝杆，所述丝杆一端通过轴承与所述支架转动连接，所述丝杆端部连接有电机，所述丝杆上螺纹连接有滑块，所述支架上设置有滑轨，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述导杆与所述滑块相连。
[0011]在本专利技术的一个实施例中，所述滑块通过连接板连接所述导杆。
[0012]在本专利技术的一个实施例中，所述导向块为外螺纹型轴承。
[0013]在本专利技术的一个实施例中，所述旋转轴在所述腔体内的一端连接有旋转托盘。
[0014]在本专利技术的一个实施例中，所述腔体内设置有轴承固定座，所述旋转轴与所述轴承固定座转动连接。
[0015]本专利技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：本专利技术所述的旋转装置，使用直线运动的导杆通过螺旋槽控制导向块移动带动旋转轴转动和旋转托盘转动，使得导杆与腔体之间可以通过波纹管进行静密封，从而实现在超高真空环境中密封可靠，且结构简单小巧，节省空间，材料组装成本较低，便于组装维护。
附图说明
[0016]为了使本专利技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本专利技术的具体实施例并结合附图，对本专利技术作进一步详细的说明，其中图1是本专利技术整体结构示意图；图2是本专利技术整体结构剖视图；图3是本专利技术内部结构示意图；图4是本专利技术导杆结构示意图；图5是本专利技术波纹管结构示意图；图6是本专利技术旋转机构内部结构示意图；图7是本专利技术直线模组示意图；图8是本专利技术工作过程示意图。
[0017]说明书附图标记说明：10、腔体；11、连接孔；20、旋转机构；21、导杆；211、杆本体；212、连接头；22、旋转轴；23、第一轴承；24、轴承固定座；25、螺旋槽；26、导向块；27、导向轴承；28、旋转托盘；30、直线模组；31、支架；32、电机；33、丝杆；34、滑块；35、滑轨；36、连接板；37、波纹管；38、第一安装部；39、密封圈。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定。
[0019]参照图1、图2和图3所示，为本专利技术的一种超高真空的旋转装置示意图。本专利技术的旋转装置包括：腔体10，所述腔体10上设置有连接孔11。负载端设置在腔体10内，本实施例中负载端为旋转托盘28，连接孔11用于旋转机构20的穿出，以连接腔体10外部驱动端。
[0020]旋转机构20，用于带动旋转托盘28旋转。所述旋转机构20包括导杆21和旋转轴22，所述旋转轴22通过第一轴承23与所述腔体10转动连接。第一轴承23可以嵌设在连接孔11内，也可以设置在连接孔11外周的腔体10外或腔体10内。本实施例中，为了避免连接孔11尺寸过大，将第一轴承23设置在腔体10内部，所述腔体10内设置有轴承固定座24，第一轴承23装在所述轴承固定座24内，中空的旋转轴22与第一轴承23相连，第一轴承23支撑旋转轴22转动。此时旋转轴22整体位于腔体10内部，旋转托盘28连接在旋转轴22上。所述导杆21通过所述连接孔11贯穿所述腔体10且插入所述旋转轴22内，即导杆21与旋转轴22相互匹配，导杆21连接腔体10的内外部。具体的，所述导杆21上设置有螺旋槽25，所述旋转轴22内固定有
导向块26，所述导向块26与所述螺旋槽25配合。当导杆21沿旋转轴22的轴向移动，导向块26卡在螺旋槽25内，有带动旋转轴22一同移动的趋势，但由于第一轴承23的限制，旋转轴22无法沿其轴向移动，故导向块26在螺旋槽25内移动，螺旋槽25在轴向的位移分量抵消了导杆21的位移，螺旋槽25在周向上的位移分量使得旋转轴22相对导杆21转动，从而实现了旋转托盘28的旋转。在导杆21移动速度相同的情况下，旋转托盘28的转速由螺旋槽25的螺距控制，螺距越大，旋转越慢，螺距越小，旋转越快。
[0021]为了实现导杆21在轴向的位移，还设置有直线模组30，所述直线模组30通过支架31安装于所述腔体10外，所述导杆21连接所述直线模组30，通过直线模组30驱动导杆21沿旋转轴22轴向移动。此时腔体10内外通过连接孔11连通，为实现腔体10的密封，所述连接孔11与所述导杆21之间通过波纹管37密封。波纹管37一端与连接孔11周围的腔体10连接，两者之间为静密封，波纹管37另一端与导杆21连接，由于导杆21只沿旋转轴22的轴向做直线运动，该方向与波纹管37的伸缩方向一致，且导杆21无旋转运动，因此波纹管37与导杆21之间也为静密封。虽然连接腔体10内外的导杆21存在移动，但该移动不影响对腔体10进行静密封，变传动组件与腔体10之间的动密封为静密封，实现腔体10的绝对密封。
[0022]本专利技术中，在导本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超高真空的旋转装置，其特征在于，包括：腔体，所述腔体上设置有连接孔；旋转机构，所述旋转机构包括导杆和旋转轴，所述旋转轴通过第一轴承与所述腔体转动连接，所述导杆通过所述连接孔贯穿所述腔体且插入所述旋转轴内，所述导杆上设置有螺旋槽，所述旋转轴内固定有导向块，所述导向块与所述螺旋槽配合；直线模组，所述直线模组通过支架安装于所述腔体外，所述直线模组驱动所述导杆沿所述旋转轴轴向移动，所述连接孔与所述导杆之间通过波纹管密封；所述导杆包括杆本体和连接头，所述螺旋槽设置在所述杆本体上，所述连接头连接在所述腔体外的所述杆本体端部，所述波纹管一端与所述连接头密封连接，另一端与所述连接孔外周的腔体密封连接。2.根据权利要求1所述的一种超高真空的旋转装置，其特征在于，所述波纹管通过第一安装部与所述腔体相连，所述第一安装部与所述腔体之间设置有密封圈。3.根据权利要求1所述的一种超高真空的旋转装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张慧，宋维聪，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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