一种三压电驱动快反镜制造技术

本发明专利技术涉及激光通讯设备技术领域，尤其涉及一种三压电驱动快反镜，包括快反镜底座、压电陶瓷马达、柔性平板、反射镜固定平台、反射镜；快反镜底座上设有三个压电陶瓷马达，三个压电陶瓷马达之间呈三角形状态分布，三个压电陶瓷马达的上方设有柔性平板，柔性平板的上方设有反射镜固定平台，反射镜固定平台的上端与反射镜连接，所述柔性平板包括连接固定板、反射镜调节板、柔性连接板，三个连接固定板的中部设有反射镜调节板，反射镜调节板与三个连接固定板之间分别通过三个柔性连接板连接，所述反射镜调节板与反射镜固定平台连接。以三个压电陶瓷马达替代传统的四个压电陶瓷马达，在满足性能的同时，实现了产品小型化，轻量化的设计。计。计。

【技术实现步骤摘要】
一种三压电驱动快反镜


[0001]本专利技术涉及激光通讯设备
，尤其涉及一种三压电驱动快反镜。

技术介绍

[0002]在航天或航空激光通讯技术中，都需要精扫描器件，它在光路的扫描捕获和跟踪方面起到主要作用。而激光通信设备中其激光终端的核心器件快反镜尤为重要。
[0003]航天、航空领域的快反镜需要高的精度和大的行程范围和恶劣环境下的适应性，为满足这些性能，它的体积和重量很难减小，导致激光终端的小型化非常困难，体积增加直接导致重量增加。
[0004]现有技术CN 112346238 A公开了一种无轴向位移的压电二维快反镜及驱动和偏转角度测量方法，包括反射镜片，用于安装反射镜片的镜托，第一位移放大机构，第一表面贴应变片的压电堆，第二位移放大机构，第二表面贴应变片的压电堆，第三位移放大机构，第三表面贴应变片的压电堆，第四位移放大机构，第四表面贴应变片的压电堆，安装底座和应变信号处理电路。采用了四个压电驱动的方式进行快反镜的驱动和偏转。
[0005]但随着商业航空航天的快速发展，对激光通信设备的质量、体积、成本有越来越高的要求，对于激光终端中核心器件快反镜的小型化、轻量化和低成本有着迫切的需求。因此，如何对激光通讯设备进行小型化、轻量化处理是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种三压电驱动快反镜。
[0007]本专利技术的技术方案：一种三压电驱动快反镜，包括快反镜底座、压电陶瓷马达、柔性平板、反射镜固定平台、反射镜；
[0008]所述快反镜底座上设有三个压电陶瓷马达，三个所述压电陶瓷马达之间呈三角形状态分布，三个所述压电陶瓷马达的上方设有柔性平板，柔性平板的上方设有反射镜固定平台，反射镜固定平台的上端与反射镜连接，所述柔性平板包括连接固定板、反射镜调节板、柔性连接板，三个所述压电陶瓷马达的上端分别与柔性平板的三个连接固定板连接，三个连接固定板的中部设有反射镜调节板，反射镜调节板与三个连接固定板之间分别通过三个柔性连接板连接，所述反射镜调节板与反射镜固定平台连接。
[0009]优选地，所述快反镜底座的中部设有支撑柱。
[0010]优选地，所述支撑柱的上端与柔性平板连接。
[0011]优选地，所述柔性平板的中部设有柔性槽。
[0012]优选地，所述反射镜固定平台上设有若干反射镜连接座，所述反射镜连接座的材料为殷钢。
[0013]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益的技术效果：
[0014]1.通过以三个压电陶瓷马达替代传统的四个压电陶瓷马达，且其与柔性平板进行
连接，不仅增加了快反镜的行程范围，降低了单个压电陶瓷马达的耦合，且同时减少了支撑柱对行程范围的影响，保障其使用性能。
[0015]2.以使用较少的核心器件(压电陶瓷马达)，在满足性能的同时，实现了产品小型化，轻量化的设计，同时降低了部件以及被使用的光机系统，以达到降低成本的效果。
附图说明
[0016]图1本专利技术三压电驱动快反镜的结构示意图；
[0017]图2为图1的爆炸结构示意图；
[0018]图3为图2的柔性平板俯视结构示意图；
[0019]图4为压电陶瓷马达运动端的伸长量与角度的关系图。
[0020]附图标记：1、快反镜底座；2、压电陶瓷马达；3、柔性平板；4、反射镜固定平台；5、反射镜；6、连接固定板；7、反射镜调节板；8、柔性连接板；9、支撑柱；10、柔性槽；11、反射镜连接座。
具体实施方式
[0021]下文结合附图和具体实施例对本专利技术的技术方案做进一步说明。
[0022]实施例一
[0023]如图1和图2所示，本专利技术提出的一种三压电驱动快反镜的结构示意图及爆炸结构图，包括快反镜底座1、压电陶瓷马达2、柔性平板3、反射镜固定平台4、反射镜5；所述快反镜底座1上设有三个压电陶瓷马达2，三个所述压电陶瓷马达2之间呈三角形状态分布，三个所述压电陶瓷马达2的上方设有柔性平板3，柔性平板3的上方设有反射镜固定平台4，反射镜固定平台4的上端与反射镜5连接；
[0024]如图3所示，为柔性平板俯视结构示意图，所述柔性平板3包括连接固定板6、反射镜调节板7、柔性连接板8，三个所述压电陶瓷马达2的上端分别与柔性平板3的三个连接固定板6连接，三个连接固定板6的中部设有反射镜调节板7，反射镜调节板7与三个连接固定板6之间分别通过三个柔性连接板8连接，所述反射镜调节板7与反射镜固定平台4连接。
[0025]其中，所述快反镜底座1的中部设有支撑柱9。支撑柱9可以提高部件的共振基频。
[0026]所述支撑柱9的上端与柔性平板3连接。所述柔性平板3的中部设有柔性槽10。柔性槽10可以便于柔性平板3的偏转调节，减少了支撑柱9对行程范围的影响。
[0027]所述反射镜固定平台4上设有若干反射镜连接座11，所述反射镜连接座11的材料为殷钢。反射镜连接座11和反射镜5可采用胶水固定，本方案使用殷钢材料，避免了热涨冷缩对反射镜5面型的影响，在具体实施中可采用其他与镜面材料膨胀系数一致的材料，来避免了热涨冷缩对反射镜面型的影响。
[0028]所述压电陶瓷马达2主要通过控制电压实现与柔性平板3的高度偏转。
[0029]如图4所示，为压电陶瓷马达运动端的伸长量与角度的关系图，D1为反射镜外缘的偏转高度；D2为柔性平板3的柔性连接板8连接点位置的偏转高度；D3为常规情况下固定连接点的升降高度。
[0030]常规情况下，为实现D1的偏转高度，需要压电陶瓷马达2控制升降高度D3。
[0031]本方案通过设计柔性平板3，使有效行程得以减少，仅需要压电陶瓷马达2控制升
降高度D2，即可实现D1的偏转高度。当压电陶瓷马达2的升降高度达到D3时，可实现D1偏转高度的提高。
[0032]在增加柔性平板3后，整体方案在压电陶瓷马达2位移量不变的情况下，有效的提高快反镜的角度行程。
[0033]本方案在D1，D2，D3相同的范围内，依据到中心的之间的有效距离会影响设计偏转角度，通过减小有效行程来提升性能，进行了对压电陶瓷马达2的排布和柔性平板3的设计，来增加角度行程，快反镜底座1中部设计的支撑柱9，有效提高部件的振动基频。
[0034]实施例二
[0035]本专利技术还提供了一种方案，其区别点在于：包括快反镜底座1、压电陶瓷马达2、柔性平板3、一体化反射镜；
[0036]所述快反镜底座1上设有三个压电陶瓷马达2，三个所述压电陶瓷马达2之间呈三角形状态分布，三个所述压电陶瓷马达2的上方设有柔性平板3，柔性平板3的上方设有一体化反射镜；
[0037]所述一体化反射镜为镜面金属材料，一体化反射镜的下端为与柔性平板3连接的连接结构，一体化反射镜的上端为金属打磨镜面，其他结构与实施例一相同；
[0038]通过反射镜一体化设计，避免了因材料膨胀系数不同对反射镜面型的影响。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三压电驱动快反镜，其特征在于：包括快反镜底座(1)、压电陶瓷马达(2)、柔性平板(3)、反射镜固定平台(4)、反射镜(5)；所述快反镜底座(1)上设有三个压电陶瓷马达(2)，三个所述压电陶瓷马达(2)之间呈三角形状态分布，三个所述压电陶瓷马达(2)的上方设有柔性平板(3)，柔性平板(3)的上方设有反射镜固定平台(4)，反射镜固定平台(4)的上端与反射镜(5)连接，所述柔性平板(5)包括连接固定板(6)、反射镜调节板(7)、柔性连接板(8)，三个所述压电陶瓷马达(2)的上端分别与柔性平板(3)的三个连接固定板(6)连接，三个连接固定板(6)的中部设有反射镜调节板(7)，反射镜调...

【专利技术属性】
技术研发人员：李三明，胡泊，
申请(专利权)人：星准电子信息技术上海有限公司，
类型：发明
国别省市：