一种压电MEMS反射镜制造技术

本发明专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种压电MEMS反射镜，包括：基底，所述基底具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；反射镜镜片，所述反射镜镜片位于所述腔体内部；与反射镜镜片连接的二级放大结构；与二级放大结构连接的一级放大结构。根据本发明专利技术实施例提出的压电MEMS反射镜，采用一级放大结构与二级放大结构相配合的方式，对反射镜进行驱动，结构灵活，可以驱动反射镜进行大角度的偏转。以驱动反射镜进行大角度的偏转。以驱动反射镜进行大角度的偏转。

【技术实现步骤摘要】
一种压电MEMS反射镜


[0001]本说明书一个或多个实施例涉及半导体设备领域，尤其涉及一种压电MEMS反射镜。

技术介绍

[0002]MEMS反射镜可以用于光学扫描仪、HUD抬头显示、激光雷达等需要对光路进行控制的应用中。传统的静电驱动的MEMS反射镜采用梳齿状结构实现机电转换，一部分梳齿结构为固定梳齿，另一部分梳齿结构为可动梳齿，固定梳齿和可动梳齿之间有极小的间隙，通过在固定梳齿和可动梳齿之间施加电激励，使反射镜发生角度偏转。
[0003]目前，静电驱动的驱动力与固定梳齿和可动梳齿的重叠面积有关，当可动梳齿随反射镜发生偏转后，固定梳齿和可动梳齿的重叠面积会减小，导致驱动力减小。因此，受的驱动结构的限制，静电驱动的MEMS反射镜无法提供大角度的偏转。
[0004]综上所述，本申请现提出MEMS芯片封装结构解决上述出现的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在解决
技术介绍
中提出的问题，本说明书一个或多个实施例的目的在于提出压电MEMS反射镜，反射镜结构灵活，偏转角度大。
[0006]基于上述目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电MEMS反射镜，其特征在于，包括：基底(1)，所述基底(1)具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；反射镜镜片(3)，所述反射镜镜片(3)位于所述腔体内部；与反射镜镜片(3)连接的二级放大结构；以及与二级放大结构连接的一级放大结构。2.根据权利要求1所述的压电MEMS反射镜，其特征在于，所述一级放大结构包括：第一压电驱动结构(2a)和第二压电驱动结构(2b)，所述第一压电驱动结构(2a)和第二压电驱动结构(2b)设置在所述腔体同侧的内壁，且第一压电驱动结构(2a)和第二压电驱动结构(2b)位于反射镜镜片(3)同侧位置，所述第一压电驱动结构(2a)和第二压电驱动结构(2b)通过第一连接杆(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东旭，徐涛，
申请(专利权)人：合肥领航微系统集成有限公司，
类型：发明
国别省市：