一种基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片制造技术

本公开涉及光通信技术领域，尤其涉及一种基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片。其中，该芯片包括：谐振腔和马赫泽德干涉仪干涉区，马赫泽德干涉仪干涉区包括第一调制臂和第二调制臂；其中，马赫泽德干涉仪干涉区位于谐振腔内；根据第一调制臂对应的第一调制臂长度和第二调制臂对应的第二调制臂长度，确定马赫泽德干涉仪干涉区对应的自由光谱程。采用上述方案的本公开可以提供一种集成化、小型化、窄线宽、高边模抑制比、大功率且利于大规模生产的窄线宽半导体激光器芯片。生产的窄线宽半导体激光器芯片。生产的窄线宽半导体激光器芯片。

【技术实现步骤摘要】
一种基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片


[0001]本公开涉及光通信
，尤其涉及一种基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，窄线宽半导体激光器在光纤通信、激光测距、激光传感等高新
具有广泛的应用。目前常见的窄线宽半导体激光器包括分布式反馈(DFB)激光器、光纤激光器以及外腔式半导体激光器等。
[0003]半导体激光器的窄线宽特性对实现高速相干通信、高分辨率激光测距以及高精度传感均有着重要作用。然而，DFB激光器线宽一般在MHz量级，无法满足相干通信、高分辨率激光测距、高精度激光传感等系统窄线宽要求。光纤激光器虽然可以实现较窄线宽与较高功率，但是其成本高、体积大、功耗大，难以实现单片光子芯片集成。另外，还有一种基于衍射光栅或光纤光栅的外腔式半导体激光器可以实现窄线宽输出，但是，基于衍射光栅的外腔式激光器调谐速度慢，体积大，光路准直和激光器稳定困难；而基于光纤光栅的外腔式激光器调谐范围较窄，集成度低，不利于实际应用。

技术实现思路

[0004]本公开提供了一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片，其特征在于，包括：谐振腔和马赫泽德干涉仪干涉区，所述马赫泽德干涉仪干涉区包括第一调制臂和第二调制臂；其中，所述马赫泽德干涉仪干涉区位于所述谐振腔内；根据所述第一调制臂对应的第一调制臂长度和所述第二调制臂对应的第二调制臂长度，确定所述马赫泽德干涉仪干涉区对应的自由光谱程。2.根据权利要求1所述的基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片，其特征在于，所述马赫泽德干涉仪干涉区为非对称马赫泽德干涉仪。3.根据权利要求2所述的基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片，其特征在于，所述非对称马赫泽德干涉仪包括分束器、合束器和第一相位区；其中，所述分束器，用于将输入的第一激光信号进行分束，得到第一光信号和第二光信号；所述第一相位区的输入端与所述分束器的第一输出端连接，用于对所述第一光信号的相位信息进行调节，得到调节后的第一光信号；所述合束器的第一输入端与所述第一相位区的输出端连接，所述合束器的第二输入端与所述分束器的第二输出端连接，用于对所述调节后的第一光信号和所述第二光信号进行合束，得到干涉后的第一激光信号。4.根据权利要求3所述的基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片，其特征在于，所述分束器和所述合束器为多模干涉耦合器或Y分支耦合器。5.根据权利要求3所述的基于马赫泽德干涉仪的窄线宽半导体激光器芯片，其特征在于，所述分束器、所述合束器和所述第一相位区之间通过光波导进行连接。6.根据权利要求3所述的基于马赫...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚偌云，潘炜炜，徐廷廷，熊祎缇，吉晨，
申请(专利权)人：之江实验室，
类型：发明
国别省市：