一种柔性接触的多模式输出压电驱动器及驱动方法技术

本公开涉及压电驱动器技术领域，提出了一种柔性接触的多模式输出压电驱动器及驱动方法，压电驱动器包括驱动装置和运动体，所述驱动装置与运动体之间通过柔性接触单元连接，将驱动力传输至运动体；柔性接触单元中间倾斜设置有柔性支撑梁，以使得驱动装置在相反的移动方向移动过程中阻力不同。提出的驱动器能够有效降低误差敏感度，快捷方便的实现对接触力的微调和测量，并实现多模式输出。并实现多模式输出。并实现多模式输出。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性接触的多模式输出压电驱动器及驱动方法


[0001]本公开涉及压电驱动器相关
，具体的说，是涉及一种柔性接触的多模式输出压电驱动器及驱动方法。

技术介绍

[0002]本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的
技术介绍
信息，并不必然构成在先技术。
[0003]压电驱动器是一种通过逆压电效应将电能转化为机械能的装置，目前已经广泛地应用在微纳定位、精密制造和测量等诸多领域。压电驱动器主要包括超声、尺蠖和粘滑压电驱动器。其中，粘滑驱动器由于结构和控制简单、重量轻、驱动速度快，被广泛应用。
[0004]专利技术人在研究中发现，现有的粘滑式驱动器普遍存在的运动模式单一、误差敏感性高、接触状态调控和接触力测量困难等问题。
[0005]当前粘滑式压电驱动器普遍存在着运动模式单一的问题，驱动器只针对某一特定指标设计，无法满足多种场合需求。例如，高端精密制造装备在实现高效、快速、精密定位的同时还需实现大范围运动，并且常常伴随着高速运动与精密定位频繁转换，现有的驱动器不能满足模式的频繁切换要求。另外，传统的压电驱动器一般采用刚性接触，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性接触的多模式输出压电驱动器，其特征在于：包括驱动装置和运动体，所述驱动装置与运动体之间通过柔性接触单元连接，将驱动力传输至运动体；柔性接触单元中间倾斜设置有柔性支撑梁，以使得驱动装置在相反的移动方向移动过程中阻力不同。2.如权利要求1所述的一种柔性接触的多模式输出压电驱动器，其特征在于：柔性接触单元采用仿鱼骨状结构，包括两个接触面，以及固定并倾斜设置在两个接触面之间的多个柔性支撑梁，柔性支撑梁设置为直板状。3.如权利要求1所述的一种柔性接触的多模式输出压电驱动器，其特征在于：多个柔性支撑梁之间形成中空的间隙；或者，通过测量柔性接触单元的纵向变形量，计算驱动装置与柔性接触单元的法向接触力的数值。4.如权利要求1所述的一种柔性接触的多模式输出压电驱动器，其特征在于：驱动装置包括主驱动单元，用于输出驱动产生纵向位移和横向寄生位移；主驱动单元，由设置的驱动压电陶瓷驱动，包括摩擦头和固定底板，摩擦头一侧通过半圆形柔性铰链连接在固定底板的一端，另一侧通过S形柔性铰链连接在固定底板的另一端，形成镂空的类L形结构；在主驱动单元内，与摩擦头相对设置有第一接触面，第一接触面处连接设置主驱动压电陶瓷；或者，运动体为滑块。5.如权利要求4所述的一种柔性接触的多模式输出压电驱动器，其特征在于：驱动装置还包括协同驱动单元，协同驱动单元输出驱动产生纵向位移，协同驱动单元驱动输出端连接至主驱动单元；协同驱动单元包括固定底座，固定底座内通过直梁形柔性铰链设置有移动块，以及与移动块接触连接的辅助压电陶瓷，移动块固定连接至主驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫鹏，谢可才，任仲靖，李承阳，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：