本发明专利技术公开了一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置及方法，涉及曝光机能量检测技术领域，目的在于提供一种检测激光束能量的稳定性，避免光束稳定性差的曝光机投入使用，降低产品损坏率的用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其技术要点包括检测台，检测台上设有检测机构，检测机构用于检测曝光镜头射出激光束的能量，检测机构包括固定板，固定板上设有能量吸收装置，能量吸收装置上安装有信号接口，信号接口与控制器电性连接，且控制器上电连接有显示屏，技术效果是利用能量吸收装置吸收曝光镜头发射的激光束，控制器对接收的信号进行处理，使得激光束能量的变化图在显示屏上显示，整个结构实现了对移动激光束能量的检测。检测。检测。
【技术实现步骤摘要】
一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置及方法
[0001]本专利技术涉及曝光机能量检测
，具体为一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置及方法。
技术介绍
[0002]曝光机是通过开启灯光发出紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备，曝光机光束能量的稳定性，决定了激光直写曝光机的使用效果。
[0003]现有技术中，对于激光直写曝光机的激光能量检测，一般只对其定点的光束能量进行检测，但是实际使用过程中，曝光机的激光束是需要移动的，而在移动过程中，激光束的能量是否存在偏差，现有技术无法对其进行检测，从而导致光刻效果不够理想。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供一种检测激光束能量的稳定性，避免光束稳定性差的曝光机投入使用，降低产品损坏率的用于激光直写曝光机的激光能量测量装置及方法。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，包括激光输出模块、照明系统和曝光镜头，还包括检测台，检测台上设有检测机构，检测机构用于检测曝光镜头射出激光束的能量；
[0008]检测机构包括固定板，固定板上设有能量吸收装置，能量吸收装置上安装有信号接口，信号接口与控制器电性连接，且控制器上电连接有显示屏，显示屏用于显示激光束能量变化图。
[0009]优选地，检测台上还设有升降机构，升降机构用于带动检测机构上的固定板做升降运动。
[0010]优选地，升降机构包括驱动电机、螺纹杆和限位杆，驱动电机在检测台的内部固定安装，螺纹杆在检测台上转动安装，限位杆在检测台上固定安装，且驱动电机的输出轴驱动连接螺纹杆。
[0011]优选地，升降机构包括驱动气缸和固定杆，固定板在固定杆上滑动套接，驱动气缸在检测台的内部固定安装，且驱动气缸的伸缩端固定连接固定板。
[0012]优选地，能量吸收装置包括多个能量吸收体，多个能量吸收体上分别安装信号接口。
[0013]一种用于激光直写曝光机的激光能量测量方法，应用于上述一种激光直写曝光机的激光能量测量装置，包括以下步骤：
[0014]S1、利用升降机构调整固定板的高度，使固定板高度适中，启动曝光设备，使激光
输出模块发射光线；
[0015]S2、激光束经过照明系统折射，最终穿过曝光镜头照射到能量吸收装置上；
[0016]S3、能量吸收装置吸收激光束的能量，并将能量信号传递给控制器；
[0017]S4、控制器接收能量信号，将信号加工处理后，传递给显示屏，显示屏显示出激光束能量的变化图；
[0018]其中，照射在能量吸收装置上的激光束位置不断变化。
[0019]优选地，利用多个能量吸收体吸收激光束的能量，控制激光束照射在每个能量吸收体上的时间相同，并分别检测不同能量吸收体吸收的能量。
[0020](三)有益效果
[0021]与现有技术相比，本专利技术提供了一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置及方法，具备以下有益效果：
[0022]利用能量吸收装置吸收曝光镜头发射的激光束，并将其转换为电信号传递给控制器，控制器对接收的信号进行处理，使得激光束能量的变化图在显示屏上显示，整个结构实现了对移动激光束能量的检测，可直观感受激光束能量的变化程度，从而检测激光束能量的稳定性，避免光束稳定性差的曝光机投入使用，降低产品损坏率。
附图说明
[0023]图1为本专利技术中一种激光能量测量装置的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术中另一种激光能量测量装置的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术中另一种激光能量测量装置的俯视结构示意图。
[0026]图中：1、激光输出模块；2、照明系统；3、曝光镜头；4、检测台；5、固定板；6、能量吸收装置；601、能量吸收体；7、信号接口；8、控制器；9、显示屏；10、驱动电机；11、螺纹杆；12、限位杆；13、驱动气缸；14、固定杆。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]请参考图1
‑
图3，一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，包括激光输出模块1、照明系统2和曝光镜头3，还包括检测台4，检测台4上设有检测机构，检测机构用于检测曝光镜头3射出激光束的能量；
[0029]检测机构包括固定板5，固定板5上设有能量吸收装置6，能量吸收装置6上安装有信号接口7，信号接口7与控制器8电性连接，且控制器8上电连接有显示屏9，显示屏9用于显示激光束能量变化图。
[0030]本专利技术中，利用能量吸收装置6吸收曝光镜头3发射的激光束，并将其转换为电信号传递给控制器8，控制器8对接收的信号进行处理，使得激光束能量的变化图在显示屏9上显示，整个结构实现了对移动激光束能量的检测，可直观感受激光束能量的变化程度，从而检测激光束能量的稳定性，避免光束稳定性差的曝光机投入使用，降低产品损坏率。
[0031]进一步地，检测台4上还设有升降机构，升降机构用于带动检测机构上的固定板5做升降运动。
[0032]升降机构是为了带动固定板5做升降运动，从而改变固定板5与曝光镜头3之间的间距，便于寻找合适高度位置对激光束能量进行检测。
[0033]升降机构是现有技术中的常规结构，其可以通过丝杠螺纹传动，也可以直接通过驱动气缸13驱动。
[0034]具体的，升降机构包括驱动电机10、螺纹杆11和限位杆12，驱动电机10在检测台4的内部固定安装，螺纹杆11在检测台4上转动安装，限位杆12在检测台4上固定安装，且驱动电机10的输出轴驱动连接螺纹杆11。
[0035]具体的，升降机构包括驱动气缸13和固定杆14，固定板5在固定杆14上滑动套接，驱动气缸13在检测台4的内部固定安装，且驱动气缸13的伸缩端固定连接固定板5。
[0036]进一步地，能量吸收装置6包括多个能量吸收体601，多个能量吸收体601上分别安装信号接口7。
[0037]由于激光束在光刻时，是不断移动的，为了提高测量的准确性，使激光束照射在不同的能量吸收体601上，防止前后照射的能量相互影响，本专利技术设置多个能量吸收体601，当然，每个能量吸收体601吸收能量时间相同。
[0038]实施例2
[0039]针对上述一种激光直写曝光机的激光能量测量装置，本专利技术还提供了一种用于激光直写曝光机的激光能量测量方法，包括以下步骤：
[0040]S1、利用升降机构调整固定板5的高度，使固定板5高度适中，启动曝光设备，使激光输出模块1发射光线；
[0041]S2、激本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，包括激光输出模块(1)、照明系统(2)和曝光镜头(3)，其特征在于，还包括检测台(4)，检测台(4)上设有检测机构，检测机构用于检测曝光镜头(3)射出激光束的能量；检测机构包括固定板(5)，固定板(5)上设有能量吸收装置(6)，能量吸收装置(6)上安装有信号接口(7)，信号接口(7)与控制器(8)电性连接，且控制器(8)上电连接有显示屏(9)，显示屏(9)用于显示激光束能量变化图。2.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：检测台(4)上还设有升降机构，升降机构用于带动检测机构上的固定板(5)做升降运动。3.根据权利要求2所述的一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：升降机构包括驱动电机(10)、螺纹杆(11)和限位杆(12)，驱动电机(10)在检测台(4)的内部固定安装，螺纹杆(11)在检测台(4)上转动安装，限位杆(12)在检测台(4)上固定安装，且驱动电机(10)的输出轴驱动连接螺纹杆(11)。4.根据权利要求2所述的一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：升降机构包括驱动气缸(13)和固定杆(14)，固定板(5)在固定杆(14)上滑动套接，驱动气缸(13)在检...
【专利技术属性】
技术研发人员：张陈军，
申请(专利权)人：江苏嘉洛精仪智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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