一种芯片缺陷检测的触发装置及系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片缺陷检测的触发装置及系统，包括相机、点光源、镜头、用于移动芯片检测框架的顶针以及用于检测所述顶针的光电触发开关；所述顶针与芯片检测框架连接，所述芯片放置在芯片检测框架上，所述镜头配套安装在所述相机前端，所述点光源安装在所述镜头上，所述镜头正对所述芯片；所述光电触发开关与所述相机连接。通过光电触发开关返回的信号对相机完成触发拍照，避免了相机连续采集所带来的内存空间损耗，也不会采集到大量的无效的图像，降低检测算法的处理难度，保证缺陷检测的精度。同时，顶针每次移动固定距离检测的方式，实现边生产边检测，避免需要所有芯片完成后才能进行检测带来的二次污染问题，省时省力。时省力。时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片缺陷检测的触发装置及系统


[0001]本技术涉及芯片缺陷检测
，尤其涉及一种芯片缺陷检测的触发装置及系统。

技术介绍

[0002]在智能制造中，机器视觉的缺陷检测是非常重要的技术之一，在芯片生产制造过程中，各工艺流程环环相扣，技术复杂，材料、环境、工艺参数等因素的微变常导致芯片产生缺陷，影响产品良率。芯片质量检测作为芯片生产线中的关键环节，可以积极地反馈产品质量信息，以便人们及时掌控各生产环节的健康状况，促使质量检测技术在生产线中的作用越来越凸显。早期的自动检测技术主要围绕机器视觉技术展开。
[0003]机器视觉技术以其高效率、高精度、高可靠性、非接触性和客观性强等优点，得到了广泛研究和应用。但现有的机器视觉技术对芯片进行检测时，需要在所有芯片生产完之后，放在一个芯片框架中，然后进行人工拍照，在此过程中可能会产生严重的二次污染，同时，人工检测费时费力，亦会采集到大量的无效图像，影响图像的稳定性，导致缺陷检测的精度较低，也会增加缺陷检测算法的处理难度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有人工拍照的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片缺陷检测的触发装置，其特征在于，包括相机(7)、点光源(2)、镜头(3)、用于移动芯片检测框架(5)的顶针(4)以及用于检测所述顶针(4)的光电触发开关(1)；所述顶针(4)与芯片检测框架(5)连接，所述芯片(6)放置在芯片检测框架(5)上，所述镜头(3)配套安装在所述相机(7)前端，所述点光源(2)安装在所述镜头(3)上，所述镜头(3)正对所述芯片(6)；所述光电触发开关(1)与所述相机(7)连接。2.根据权利要求1所述的一种芯片缺陷检测的触发装置，其特征在于，所述光电触发开关(1)包括激光器。3.根据权利要求1所述的一种芯片缺陷检测的触发装置，其特征在于，所述镜头(3)为远心镜头。4.根据权利要求3所述的一种芯片缺陷检测的触发装置，其特征在于，所述远心镜头为具有大景深的远心镜头。5.根据权利要求1所述的一种芯片缺陷检测的触发装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊林，张建伟，代荣富，章志远，
申请(专利权)人：成都宋元光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：