坩埚移动式转运抱爪装置制造方法及图纸

技术编号:37951999 阅读:12 留言:0更新日期:2023-06-29 08:12
一种坩埚移动式转运抱爪装置涉及石英坩埚加工技术领域,包括夹持机构及高度调节机构,夹持机构设有横梁及抱持组件,抱持组件设置于横梁的下端面上,抱持组件包括力臂、一对相对设置的抱爪及旋转组件,力臂的一端与横梁固定连接,力臂的另一端与抱爪连接,旋转组件与抱爪连接,实现抱爪的全方位旋转;高度调节机构包括立杆和横杆,立杆的顶部与横杆的一端连接,立杆在沿高度方向上下滑动,横梁在横杆上沿水平方向滑动,在高度调节机构的高度调节作用下,满足不同大小坩埚的夹持需求,同时力臂也能够调节所述抱爪的夹持高度,在高度调节机构和力臂的双重调节作用下,更好的对坩埚进行翻转,满足不同尺寸的坩埚搬运,提高适用性。提高适用性。提高适用性。

【技术实现步骤摘要】
坩埚移动式转运抱爪装置


[0001]本技术涉及石英坩埚加工
,尤其涉及一种坩埚移动式转运抱爪装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚是用于单晶硅行业的加工工具。通常石英坩埚的制造方法是电弧法加工:将石英砂加入到成型模具中,用成型棒将石英砂均匀的铺在成型模具内壁上,通过电极起弧放热的热量将石英砂熔融成型。坩埚成型后需要进行后道操作,为了坩埚转运方便,在操作之前按需要将坩埚从接埚车搬到转运小车上。
[0003]例如公开号为“CN202120395043.X”的中国技术专利坩埚90
°
翻转装置,包括架体;夹爪,夹爪成对设置在坩埚两侧,夹爪与架体活动连接,夹爪夹紧坩埚;翻转组件,翻转组件包括翻转气缸,翻转气缸固定在架体上,翻转气缸连接并驱动夹爪转动;其中,当翻转气缸中的气缸活塞向前运动时,气缸活塞推动夹爪转动,进而带动坩埚转动;可以解决现有技术中坩埚直接倒扣在酸槽中清洗使得坩埚内上表面具有真空从而导致坩埚不能完全浸泡的问题,提高了坩埚的清洗效率。
[0004]然而,上述坩埚90
°
翻转装置在对坩埚进行翻转时,高度无法调节,对于较大的坩埚无法进行翻转,可适用性低。

技术实现思路

[0005]有鉴于此,有必要提供一种坩埚移动式转运抱爪装置。
[0006]本技术解决其所述技术问题的方案是:
[0007]一种坩埚移动式转运抱爪装置,包括夹持机构及高度调节机构,所述夹持机构设有横梁及抱持组件,所述抱持组件设置于所述横梁的下端面上,所述抱持组件包括力臂、一对相对设置的抱爪及旋转组件,所述力臂的一端与横梁固定连接,力臂的另一端与所述抱爪连接,所述旋转组件与抱爪连接,实现抱爪的全方位旋转;
[0008]所述高度调节机构包括立杆和横杆,所述立杆的顶部与横杆的一端连接,所述立杆在沿高度方向上下滑动,所述横梁在横杆上沿水平方向滑动。
[0009]优选的,所述力臂设有第一力臂和第二力臂,所述第一力臂的一端与所述横梁固定连接,所述第一力臂的另一端与所述第二力臂活动连接,所述第二力臂能够沿第一力臂上下移动,所述一对相对设置的抱爪安装在所述第二力臂上。
[0010]优选的,所述立杆包括固定杆和伸缩杆,所述固定杆固定安装,所述伸缩杆安装在所述固定杆的内部,所述伸缩杆能够沿所述固定杆的上下移动,用于调节所述夹持机构的垂直高度。
[0011]优选的,所述横梁上设有检测装置,所述检测装置安装在所述横梁的中心处,用于检测坩埚的夹持位置。
[0012]优选的,一对相对设置的所述抱爪的接触面设有防滑层。
[0013]优选的,所述坩埚移动式转运抱爪装置的底部设有供电装置。
[0014]优选的,所述夹持机构的下方设有转运装置预放置位置,用于放置转运装置。
[0015]优选的,所述转运装置的承接面的高度能够被调节,所述转运装置的承接面设有减震层。
[0016]优选的,所述坩埚移动式转运抱爪装置包括龙门架,所述龙门架上设有第一位置及第二位置,所述夹持机构能够沿第一位置移动到第二位置。
[0017]有益效果:所述坩埚移动式转运抱爪装置,在所述高度调节机构的高度调节作用下,满足不同大小坩埚的夹持需求,同时所述力臂也能够调节所述抱爪的夹持高度,在高度调节机构和力臂的双重调节作用下,更好的对坩埚进行翻转,满足不同尺寸的坩埚搬运,提高适用性。
附图说明
[0018]图1为本技术的坩埚移动式转运抱爪装置的轴侧图;
[0019]图2为本技术的坩埚移动式转运抱爪装置中转运装置的轴测图;
[0020]图3为本技术的坩埚移动式转运抱爪装置中龙门架的正视图;
[0021]图中:夹持机构10、横梁101、抱持组件102、检测装置1011、力臂1021、抱爪1022、旋转组件1023、第一力臂1024、第二力臂1025、防滑层1026、高度调节机构20、立杆201、横杆202、固定杆2011、伸缩杆2012、供电装置30、预放置位置40、转运装置401、减震层4011、龙门架50。
具体实施方式
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]请参看图1,所述坩埚移动式转运抱爪装置,包括所述夹持机构10及所述高度调节机构20,所述夹持机构10设有所述横梁101及所述抱持组件102,所述抱持组件102设置于所述横梁101的下端面上,所述抱持组件102包括所述力臂1021、一对相对设置的所述抱爪1022及所述旋转组件1023,所述力臂1021的一端与所述横梁101固定连接,所述力臂1021的另一端与所述抱爪1022连接,所述旋转组件1023与所述抱爪1022连接,实现所述抱爪1022的全方位旋转;
[0024]所述高度调节机构20包括所述立杆201和所述横杆202,所述立杆201的顶部与所述横杆202的一端连接,所述立杆201在沿高度方向上下滑动,所述横梁101在所述横杆202上沿水平方向滑动。
[0025]当需要夹持坩埚时,控制所述夹持机构10到达坩埚的上空,紧接着所述力臂1021调节与坩埚的垂直距离,使一对相对设置的所述抱爪1022向下移动,操控一对相对设置的所述抱爪1022对坩埚进行夹持,在实际操作过程中,由于部分坩埚较大,无法进行夹持及旋转,这时需要再次调节垂直距离,通过所述高度调节机构20中的所述立杆201进行高度调节,同时由于所述横梁101与所述横杆202滑动连接,由此所述横杆202也可对所述横梁101
的水平位置进行调节,确保对坩埚的受力中心点进行夹持,提高适用性。
[0026]在一优选方案中,请参看图1,所述力臂1021设有所述第一力臂1024和所述第二力臂1025,所述第一力臂1024的一端与所述横梁101固定连接,所述第一力臂1024的另一端与所述第二力臂1025活动连接,所述第二力臂1025能够沿所述第一力臂1024上下移动,所述一对相对设置的抱爪1022安装在所述第二力臂1025上。
[0027]在对于尺寸过小或者尺寸过大的坩埚时,所述高度调节机构20下降的尺寸达不到高度要求,这时减小所述第一力臂1024和所述第二力臂1025的接触面积,将所述第二力臂1025向下移动,调节一对相对设置的所述抱爪1022与坩埚的垂直距离,增加所述坩埚移动式转运抱爪装置的适用性。
[0028]进一步的,请参看图1,所述立杆201包括所述固定杆2011和所述伸缩杆2012,所述固定杆2011固定安装,所述伸缩杆2012安装在所述固定杆2011的内部,所述伸缩杆2012能够沿所述固定杆2011的上下移动,用于调节所述夹持机构10的垂直高度。
[0029]所述伸缩杆2012嵌套在所述固定杆2011内部,在使用时所述伸缩杆20本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚移动式转运抱爪装置,其特征在于:包括夹持机构及高度调节机构,所述夹持机构设有横梁及抱持组件,所述抱持组件设置于所述横梁的下端面上,所述抱持组件包括力臂、一对相对设置的抱爪及旋转组件,所述力臂的一端与横梁固定连接,力臂的另一端与所述抱爪连接,所述旋转组件与抱爪连接,实现抱爪的全方位旋转;所述高度调节机构包括立杆和横杆,所述立杆的顶部与横杆的一端连接,所述立杆在沿高度方向上下滑动,所述横梁在横杆上沿水平方向滑动。2.如权利要求1所述的坩埚移动式转运抱爪装置,其特征在于:所述力臂设有第一力臂和第二力臂,所述第一力臂的一端与所述横梁固定连接,所述第一力臂的另一端与所述第二力臂活动连接,所述第二力臂能够沿第一力臂上下移动,所述一对相对设置的抱爪安装在所述第二力臂上。3.如权利要求1所述的坩埚移动式转运抱爪装置,其特征在于:所述立杆包括固定杆和伸缩杆,所述固定杆固定安装,所述伸缩杆安装在所述固定杆的内部,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:周勇吴伟华方志远郎俊刘涛徐立涛
申请(专利权)人:宁夏鑫晶新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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