【技术实现步骤摘要】
一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置
[0001]本技术涉及蓝宝石加工
,尤其涉及一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置。
技术介绍
[0002]蓝宝石衬底片加工流程一般包括定向、切片、研磨、倒角、抛光、清洗和品检等步骤,其中抛光和倒角的工艺是为了改善薄片边缘的机械强度,避免应力集中造成缺陷,同时改善晶片的粗糙度,达到指定晶级精度。
[0003]传统的对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置通槽只设有单个倒角刀,每次只能对蓝宝石薄片进行单边倒角,不仅效率低下,而且容易造成两边倒角不一致,影响美观。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置通槽只设有单个倒角刀,每次只能对蓝宝石薄片进行单边倒角,不仅效率低下,而且容易造成两边倒角不一致,影响美观的问题,而提出的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,包括底座和真空吸工作台,所述真 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,包括底座(1)和真空吸工作台(2),其特征在于,所述真空吸工作台(2)固定设置于底座(1)的上表面,所述底座(1)的上表面两侧均设置有电动滑轨(19),两个所述电动滑轨(19)的内部均配套设置有滑块(20),两个所述滑块(20)的上表面均固定设置有竖板(3),两个所述竖板(3)的上端固定设置有横板(4),所述横板(4)的下侧设置有气缸(5),所述气缸(5)的活塞杆末端固定设置有推板(6),所述推板(6)的下侧设置有多个U型板(7),多个所述U型板(7)的内部均转动设置有转杆(9),所述转杆(9)的下端固定设置有倒角刀(11),两个所述竖板(3)之间设置有带动多个所述转杆(9)转动的传动机构,所述推板(6)的下侧设置有带动多个所述U型板(7)移动的调节机构。2.根据权利要求1所述的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,其特征在于,所述传动机构包括蜗轮(10)和蜗杆(8),多个所述蜗杆(8)转动设置于U型板(7)的内侧,多个所述蜗杆(8)的内部均开设有方槽,两个所述竖板(3)之间设置有方杆(14),所述方杆(14)匹配穿设于多个所述方槽,所述方杆(14)的两端均与对应的竖板(3)转动连接,所述竖板(3)的一侧设置有电机(15),所述电机(15)的输出端与方杆(14)的一端固定连接,多个所述蜗轮(10)均啮合设置于对应的蜗杆(8)的一侧,多个所述蜗轮(10)均与对应的转杆(9)固定套接。3.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:万峰,阮金陵,
申请(专利权)人:江苏美伦光电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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