一种狭缝式涂布机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种狭缝式涂布机，其包括机架、设置于所述机架上的传送滑台和升降滑台、设置于所述传送滑台上的涂布平台、以及涂布模头，还包括连通于所述涂布模头进液口的精密柱塞泵装置、设置于所述升降滑台移动端的单轴微动滑台、设置于所述单轴微动滑台移动端的双轴微动滑台、以及至少两个测距仪，所述升降滑台、单轴微动滑台和双轴微动滑台的移动方向相互平行、并与所述传送滑台的移动方向垂直，所述涂布模头按照出液口朝向涂布平台移动路径的方式安装于所述双轴微动滑台的移动端，这些测距仪按照测距方向与涂布模头出液方向平行的方式安装于所述双轴微动滑台的移动端。本实用新型专利技术具有操作简便、膜厚调节简单、且制备薄膜精度高的优点。薄膜精度高的优点。薄膜精度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种狭缝式涂布机


[0001]本技术涉及半导体器件加工的
，尤其是涉及一种狭缝式涂布机。

技术介绍

[0002]ITO导电膜玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法沉积二氧化硅和氧化铟锡（ITO）薄膜加工制作成的。ITO是一种具有良好透明导电性能的金属化合物，具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等特性，广泛地应用于平板显示器件、太阳能电池、特殊功能窗口涂层及其他光电器件等半导体器件领域，也是目前LCD、PDP、OLED、触摸屏等各类平板显示器件唯一的透明导电电极材料。
[0003]常规方法制备的ITO导电膜表面功函数只有4.5~4.8eV，而OLED的有机功能层的最高电子占据轨道（HOMO）能级约为5.7~6.3eV，空穴要克服大于1eV的势垒高度注入OLED内部较困难，需要给OLED施加很高的电压，且空穴注入效率不高，从而导致OLED发光强度和光效低，器件稳定性差。现有技术中，一般会在ITO导电膜上通过狭缝涂布的方式引入空穴注入层，如聚乙撑二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸盐层、氧化钼、氧化镍层等，用以匹配HOMO能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种狭缝式涂布机，包括机架(4)、设置于所述机架(4)上的传送滑台(11)和升降滑台(21)、设置于所述传送滑台(11)上的涂布平台(12)、以及涂布模头(25)，其特征在于：还包括连通于所述涂布模头(25)进液口的精密柱塞泵装置(3)、设置于所述升降滑台(21)移动端的单轴微动滑台(23)、设置于所述单轴微动滑台(23)移动端的双轴微动滑台(24)、以及至少两个测距仪(26)，所述升降滑台(21)、单轴微动滑台(23)和双轴微动滑台(24)的移动方向相互平行、并与所述传送滑台(11)的移动方向垂直，所述涂布模头(25)按照出液口朝向涂布平台(12)移动路径的方式安装于所述双轴微动滑台(24)的移动端，这些测距仪(26)按照测距方向与涂布模头(25)出液方向平行的方式安装于所述双轴微动滑台(24)的移动端。2.根据权利要求1所述的一种狭缝式涂布机，其特征在于：所述传送滑台(11)和升降滑台(21)分别设置为直线电机模组。3.根据权利要求1所述的一种狭缝式涂布机，其特征在于：所述精密柱塞泵装置(3)包括安装座(31)、设置于所述安装座(31)上的进样器(32)和电动丝杆副(33)、以及连通于所述涂布模头(25)进液口的三通阀(34)，所述进样器(32)的活塞杆设置于所述电动丝杆副(33)的移动端、进出液口连通于所述三通阀(34)的接口。4.根据权利要求3所述的一种狭缝式涂布机，其特征在于：所述电动丝杆副(33)包括设置于所述安装座(31)上的丝杆电机(331)和滑轨(332)、以及螺纹连接于所述丝杆电机(331)的丝杆轴上并滑动连接于所述滑轨(332)上的传动螺母(333)，所述进样器(32...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱伟杰，刘东立，刘林，徐程武，
申请(专利权)人：西湖仪器杭州技术有限公司，
类型：新型
国别省市：