一种高效真空退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效真空退火炉，包括炉体、炉盖、底板，所述炉体的内底部固定连接有基座，所述基座的上端固定连接有炉膛，所述炉膛的内底壁固定连接有料台，所述料台的下端固定连接有第二加热元件，所述炉膛的内壁固定连接有若干个第一加热元件，所述炉盖的下端固定连接有保温垫，所述炉盖的上端固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有循环风扇，所述炉盖的下端固定连接有密封块，所述密封块的外侧固定连接有隔热垫，所述炉体与炉膛之间设置有循环水箱，所述底板的上端固定连接有冷却水箱，所述冷却水箱的内部固定连接有循环水泵。通过设置隔热垫，对密封块进行隔热，延长密封块的使用寿命。延长密封块的使用寿命。延长密封块的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种高效真空退火炉


[0001]本技术涉及真空退火炉
，特别涉及一种高效真空退火炉。

技术介绍

[0002]真空退火炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于集成电路、分立器件、太阳能光伏行业中退火、合金及烧结等工艺。该工艺能够显著改善材料表面的性能，提高材料表面纯度，提高材料的疲劳强度、塑性、初性和耐腐蚀性等参数，是材料改性方面高精度、优质、节能和清洁无污染的加工制造技术，是当今制造技术的重要领域和工艺发展的热点领域。
[0003]但是现有的真空退火炉中炉盖的密封圈在长时间高温下容易老化，使得密封效果降低，依然会使得氧气进入炉体，影响退火效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的，提供一种高效真空退火炉，能够通过隔热垫，对密封块进行隔热，延长密封块的使用寿命。
[0005]为实现上述目的，提供一种高效真空退火炉，包括：炉体、炉盖、底板，所述炉体的内底部固定连接有基座，所述基座的上端固定连接有炉膛，所述炉膛的内底壁固定连接有料台，所述料台的下端固定连接有第二加热元件，所述炉膛的内壁固定连接有若干个第一加热元件，所述炉盖的下端固定连接有保温垫，所述炉盖的上端固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有循环风扇，所述炉盖的下端固定连接有密封块，所述密封块的外侧固定连接有隔热垫；
[0006]所述炉体与炉膛之间设置有循环水箱，所述底板的上端固定连接有冷却水箱，所述冷却水箱的内部固定连接有循环水泵，所述循环水泵的上端固定连接有进水管，所述冷却水箱的上端固定连接有安装架，所述安装架的上端固定连接有第二电机，所述第二电机的输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆的外表面固定连接有搅拌杆。
[0007]根据所述的一种高效真空退火炉，所述炉体的下端固定连接有若干个支撑脚，所述支撑脚固定于底板的上端。
[0008]根据所述的一种高效真空退火炉，所述炉盖的上端对称设置有真空管，所述真空管贯穿所述炉盖、保温垫。
[0009]根据所述的一种高效真空退火炉，所述炉体的上端面开设有密封槽。
[0010]根据所述的一种高效真空退火炉，所述进水管的一端与所述循环水箱的一侧固定连接。
[0011]根据所述的一种高效真空退火炉，所述循环水箱的一侧固定连接有出水管，所述出水管贯穿所述炉体。
[0012]根据所述的一种高效真空退火炉，所述出水管的一侧与所述冷却水箱的一侧固定连接。
[0013]本技术的目的在于，提供一种高效真空退火炉，主要创新点：
[0014]1、该一种高效真空退火炉，通过设置隔热垫，对密封块进行隔热，延长密封块的使用寿命。
[0015]2、该一种高效真空退火炉，通过设置第二电机、转动杆、搅拌杆，对冷却水箱内部冷却液进行搅动，增加与空气的接触面积，使其保持冷却液的冷却效果。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0018]图1为本技术提出的一种高效真空退火炉的立体图；
[0019]图2为本技术提出的一种高效真空退火炉的截面图；
[0020]图3为本技术提出的图2中A处的结构示意图；
[0021]图4为本技术提出的图2中B处的结构示意图。
[0022]图例说明：
[0023]1、炉体；2、炉盖；3、冷却水箱；4、底板；5、支撑脚；6、第一电机；7、真空管；8、循环风扇；9、循环水泵；10、进水管；11、出水管；12、循环水箱；13、炉膛；14、第一加热元件；15、料台；16、第二加热元件；17、基座；18、密封槽；19、密封块；20、隔热垫；21、安装架；22、第二电机；23、转动杆；24、搅拌杆；25、保温垫。
具体实施方式
[0024]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0025]参照图1
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4，本技术实施例一种高效真空退火炉，其包括炉体1、炉盖2、底板4，炉体1的内底部固定连接有基座17，基座17的上端固定连接有炉膛13，炉膛13的内底壁固定连接有料台15，料台15的下端固定连接有第二加热元件16，炉膛13的内壁固定连接有若干个第一加热元件14，炉盖2的下端固定连接有保温垫25，炉盖2的上端固定连接有第一电机6，第一电机6的输出端固定连接有循环风扇8，启动第一电机6，带动循环风扇8转动，使第一加热元件14、第二加热元件16产生的热量在炉膛13内均匀分布，炉盖2的下端固定连接有密封块19，密封块19的外侧固定连接有隔热垫20，通过设置隔热垫20，对密封块19进行隔热，延长密封块19的使用寿命；
[0026]炉体1与炉膛13之间设置有循环水箱12，底板4的上端固定连接有冷却水箱3，冷却水箱3的内部固定连接有循环水泵9，循环水泵9的上端固定连接有进水管10，冷却水箱3的上端固定连接有安装架21，安装架21的上端固定连接有第二电机22，第二电机22的输出轴固定连接有转动杆23，转动杆23的外表面固定连接有搅拌杆24，通过设置第二电机22、转动杆23、搅拌杆24，对冷却水箱3内部冷却液进行搅动，增加与空气的接触面积，使其保持冷却液的冷却效果。
[0027]炉体1的下端固定连接有若干个支撑脚5，对炉体1进行支撑，支撑脚5固定于底板4
的上端，炉盖2的上端对称设置有真空管7，真空管7连接真空泵，进行抽真空作业，真空管7贯穿炉盖2、保温垫25，炉体1的上端面开设有密封槽18，进水管10的一端与循环水箱12的一侧固定连接，循环水箱12的一侧固定连接有出水管11，出水管11贯穿炉体1，出水管11的一侧与冷却水箱3的一侧固定连接。
[0028]工作原理：该一种高效真空退火炉，在使用时，接通电源，通过真空管7、真空泵将炉体1内空气抽出，使炉体1内处于真空状态，通过第一加热元件14、第二加热元件16，对位于料台15上的材料进行退火工作，在完成材料的退火工作后，打开炉盖2，启动循环水泵9，循环水泵9抽取冷却水箱3内的冷却水，通过进水管10进入到循环水箱12内，对炉膛13进行冷却，冷却后的冷却水通过出水管11进入到冷却水箱3内，启动第二电机22，第二电机22带动转动杆23转动，转动杆23带动搅拌杆24对冷却水进行搅动。
[0029]上面结合附图对本技术实施例作了详细说明，但是本技术不限于上述实施例，在所述
普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本技术宗旨的前提下作出各种变化。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效真空退火炉，其特征在于，包括：炉体(1)、炉盖(2)、底板(4)，所述炉体(1)的内底部固定连接有基座(17)，所述基座(17)的上端固定连接有炉膛(13)，所述炉膛(13)的内底壁固定连接有料台(15)，所述料台(15)的下端固定连接有第二加热元件(16)，所述炉膛(13)的内壁固定连接有若干个第一加热元件(14)，所述炉盖(2)的下端固定连接有保温垫(25)，所述炉盖(2)的上端固定连接有第一电机(6)，所述第一电机(6)的输出端固定连接有循环风扇(8)，所述炉盖(2)的下端固定连接有密封块(19)，所述密封块(19)的外侧固定连接有隔热垫(20)；所述炉体(1)与炉膛(13)之间设置有循环水箱(12)，所述底板(4)的上端固定连接有冷却水箱(3)，所述冷却水箱(3)的内部固定连接有循环水泵(9)，所述循环水泵(9)的上端固定连接有进水管(10)，所述冷却水箱(3)的上端固定连接有安装架(21)，所述安装架(21)的上端固定连接有第二电机(22)，所述第二电...

【专利技术属性】
技术研发人员：南佳树，南楠，
申请(专利权)人：西安市科邦机械有限公司，
类型：新型
国别省市：