一种辉光放电质谱仪测试辅助进样箔片制造技术

本实用新型专利技术涉及辉光放电质谱仪测试设备技术领域，具体涉及一种辉光放电质谱仪测试辅助进样箔片。为解决低熔点金属如铟、镓在GDMS测试过程受热，易融化导致短路，使测试终止的问题。所述箔片布置在辉光放电质谱仪的样品夹上，测试样品放置在所述箔片上部，所述箔片俯视图为圆环状，其内径为12

【技术实现步骤摘要】
一种辉光放电质谱仪测试辅助进样箔片


[0001]本技术涉及辉光放电质谱仪测试设备
，尤其涉及一种辉光放电质谱仪测试辅助进样箔片。

技术介绍

[0002]GDMS是辉光放电质谱法的简称，具有高灵敏度（E10cps以上）、低检出限（亚ppb级）、广泛的元素分析范围（可测试74种元素）等优点。ELEMENTGD是美国赛默飞世尔公司研发的一种辉光放电质谱仪，ELEMENTGD采用的是Grimm离子源，这种离子源的特点之一是阳极帽和样品（即阴极）靠的特别近，两者间距约200μm，这种设计可以使溅射区域被严格限制在特定范围，获得好的溅射形貌。但是劣势在于受样品表面平整度影响大，如果样品表面有凸起，或者溅射过程中有较多的反沉积，会导致样品和阳极帽短接，即产生短路。短路会严重影响GDMS的测试效率，需要重新制样进样。ELEMENTGD应用中遇到的最多问题就是短路，这限制了该仪器的进一步推广使用。尤其是低熔点金属如铟、镓，在GDMS测试过程中受热易融化，导致短路，进而使测试终止。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提出一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种辉光放电质谱仪测试辅助进样箔片，布置在辉光放电质谱仪的样品夹(1)上，测试样品(2)放置在所述箔片(3)上部，其特征在于，所述箔片(3)俯视图为圆环状，其内径为12
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18毫米，外径为20
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40毫米，厚度为0.1
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0.3mm。2.根据权利要求1所述的辉光放电质谱仪测试辅助...

【专利技术属性】
技术研发人员：周童，徐国军，张蛟，蒋明伟，
申请(专利权)人：安徽狄拉克新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：