一种直线电机式晶圆检测平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种直线电机式晶圆检测平台，包括底座、下板、上板以及接头部件；所述下板通过第一电机与底座活动连接，所述上板通过第二电机与下板活动连接，所述上板上设置有用于定位晶圆的定位吸盘，所述接头部件通过钣金件与底座连接，所述第一电机和第二电机均为直线电机，所述第一电机和第二电机垂直，所述下板的侧面通过滑轨组件与底座活动连接，所述上板的侧面通过滑轨组件与下板活动连接。本实用新型专利技术提供一种直线电机式晶圆检测平台，直线电机的移动速度快，重复定位精度高，提高了检测速度，减少了检测误差。减少了检测误差。减少了检测误差。

【技术实现步骤摘要】
一种直线电机式晶圆检测平台


[0001]本技术涉及晶圆检测领域，具体涉及一种直线电机式晶圆检测平台。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，在生产出来后需要检测晶圆的尺寸是否合格，晶圆精密程度高，需要检测的尺寸非常多。
[0003]现在常用的晶圆检测方式是：将晶圆放置于二次元检测仪内检测，在检测过程中二测元检测仪的检测头不断的移动，对晶圆上所有的尺寸进行检测；由于二次元的检测头的移动机构是丝杆电机组件，移动速度慢，降低了检测速度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是：提供一种直线电机式晶圆检测平台，解决以上问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供如下的技术方案：
[0006]一种直线电机式晶圆检测平台，包括底座、下板、上板以及接头部件；所述下板通过第一电机与底座活动连接，所述上板通过第二电机与下板活动连接，所述上板上设置有用于定位晶圆的定位吸盘，所述接头部件通过钣金件与底座连接，所述第一电机和第二电机均为直线电机，所述第一电机和第二电机垂直，所述下板的侧面通过滑轨组件与底座活动连接，所述上板的侧面通过滑轨组件与下板活动连接。
[0007]进一步的，所述底座上设置有中槽和侧槽，所述下板通过滑轨组件与侧槽底部活动连接，所述第一电机的线圈部位于中槽内，所述第一电机的磁路位于下板的下槽内。
[0008]进一步的，所述上板上设置有第一槽和第二槽，所述下板通过滑轨组件与第二槽活动连接，所述第二电机的线圈部位于第一槽内。
>[0009]进一步的，所述第二电机的磁路位于下板的上槽内。
[0010]进一步的，所述定位吸盘与第一电机和第二电机均平行。
[0011]本技术的有益效果为：提供一种直线电机式晶圆检测平台，通过底座、下板、上板以及接头部件相互配合使用，实现制作以直线电机为动力的旋转平台在检测晶圆的过程中带动晶圆快速移动，二次元检测仪的检测头静止不动检测晶圆尺寸的效果，直线电机的移动速度快，重复定位精度高，提高了检测速度，减少了检测误差。
附图说明
[0012]图1为本技术一种直线电机式晶圆检测平台的整体结构轴测图。
[0013]图2为本技术一种直线电机式晶圆检测平台的另一整体结构轴测图。
[0014]图3为本技术一种直线电机式晶圆检测平台的整体结构主视图。
[0015]图4为本技术一种直线电机式晶圆检测平台的整体结构左视图。
[0016]图中：1、底座；101、中槽；102、侧槽；2、第一电机；3、第二电机；4、下板；41、下槽；42、上槽；5、上板；51、第一槽；52、第二槽；6、定位吸盘。
具体实施方式
[0017]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0018]参考图1至图4，一种直线电机式晶圆检测平台，包括底座1、下板4、上板5以及接头部件7；所述下板4通过第一电机2与底座1活动连接，用于带动下板4在左右方向运动，所述上板5通过第二电机3与下板4活动连接，用于带动上板5在前后方向运动，所述上板5上设置有用于定位晶圆的定位吸盘6，用于定位需要检测的晶圆，所述接头部件7通过钣金件与底座1连接，用于与第一电机2、第三电机3以及定位吸盘6连接，所述第一电机2和第二电机3均为直线电机，用于提高运动速度和重复定位的精度，所述第一电机2和第二电机3垂直，所述下板4的侧面通过滑轨组件与底座1活动连接，所述上板5的侧面通过滑轨组件与下板4活动连接，用于确保运动路径的精准性，所述第一电机2、第二电机3以及定位吸盘6均通过接头部件7与外部控制系统连接。
[0019]所述底座1上设置有中槽101和侧槽102，所述下板4通过滑轨组件与侧槽102底部活动连接，所述第一电机2的线圈部位于中槽101内，所述第一电机2的磁路位于下板4的下槽41内，用于节约空间。
[0020]所述上板5上设置有第一槽51和第二槽52，所述下板4通过滑轨组件与第二槽52活动连接，所述第二电机3的线圈部位于第一槽51内，用于节约空间。
[0021]所述第二电机3的磁路位于下板4的上槽42内，用于节约空间。
[0022]所述定位吸盘6与第一电机2和第二电机3均平行。
[0023]本技术的工作原理为：当开始检测工作前，将检测平台放置于二次元检测仪的检测平面上，外部搬运机构将需要检测的晶圆搬运到定位吸盘6上，然后在外部控制系统的控制下定位吸盘6将晶圆吸附定位；然后开始晶圆的检测步骤：二次元检测仪工作使其检测头到达晶圆正上方开始对晶圆进行检测，当完成一个部分的检测后在外部控制系统的控制下第一电机2和第二电机3相互配合，带动定位吸盘6在平面上运动，在此过程中二次元检测仪的检测头对晶圆上所有的尺寸依次进行检测，保持上述工序直到工作结束。
[0024]上述实施例用于对本技术作进一步的说明，但并不将本技术局限于这些具体实施方式。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直线电机式晶圆检测平台，其特征在于：包括底座(1)、下板(4)、上板(5)以及接头部件(7)；所述下板(4)通过第一电机(2)与底座(1)活动连接，所述上板(5)通过第二电机(3)与下板(4)活动连接，所述上板(5)上设置有用于定位晶圆的定位吸盘(6)，所述接头部件(7)通过钣金件与底座(1)连接，所述第一电机(2)和第二电机(3)均为直线电机，所述第一电机(2)和第二电机(3)垂直，所述下板(4)的侧面通过滑轨组件与底座(1)活动连接，所述上板(5)的侧面通过滑轨组件与下板(4)活动连接。2.根据权利要求1所述的一种直线电机式晶圆检测平台，其特征在于：所述底座(1)上设置有中槽(101)和侧槽(102)，所述下...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯镜超，朱小瑞，王长征，
申请(专利权)人：江苏群科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：