【技术实现步骤摘要】
超高纯气体单侧供气系统
[0001]本技术涉及的是一种供气系统，具体涉及一种超高纯气体单侧供气系统。
技术介绍
[0002]现有的供气系统，由于结构上的设计缺陷，导致供气系统控制面板的供气纯度不高，而且现有的供气控制面板的控制效果不佳，导致气体输出的稳定性差。为了解决上述问题，本技术设计了一种超高纯气体单侧供气系统。
技术实现思路
[0003]针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种超高纯气体单侧供气系统，结构设计合理，面板配有两个过滤器以保证气体纯度，面板配有两个减压阀，使压力更加稳定的输出，并设置有排空阀，用于更换钢瓶之后把管内可能进入得空气排出，以保证气体纯度。
[0004]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：超高纯气体单侧供气系统，包括初级过滤器、一级调压阀、泄压阀、第一球阀、第二球阀、精细过滤器、单向阀、二级减压阀、压力表和隔膜阀，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器、初级过滤器通过一级调压阀分别与泄压阀、第一球阀和第二球阀相连，第一球阀通过精细过滤器与二级减压阀相连，第二球阀与单向阀相连，二级减压阀通过焊接三通分别与隔膜阀和压力表相连。
[0005]作为优选，所述的压力表通过螺纹与减压器相连。
[0006]作为优选，所述的隔膜阀是控制气体的排空开关，与不锈钢管VCR连接。
[0007]本技术的有益效果：本技术的面板配有两个过滤器，分别为初级过滤器和精细过滤器，通过过滤器来加纯气体纯度，面板配有一个一级减压阀和一个二级减压阀，使压力更...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.超高纯气体单侧供气系统，其特征在于，包括初级过滤器(1)、一级调压阀(2)、泄压阀(3)、第一球阀(4)、第二球阀(5)、精细过滤器(6)、单向阀(7)、二级减压阀(8)、压力表(9)和隔膜阀(10)，供气系统的面板上的进气口连接有初级过滤器(1)、初级过滤器(1)通过一级调压阀(2)分别与泄压阀(3)、第一球阀(4)和第二球阀(5)相连，第一球阀(4)通过精细过滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵英杰，
申请(专利权)人：上海洁安流体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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