【技术实现步骤摘要】
水循环系统、控制方法、装置、控制器及存储介质
[0001]本专利技术涉及废水处理
，尤其涉及一种水循环系统、控制方法、装置、控制器及存储介质。
技术介绍
[0002]如图1所示，废气处理设备，主要处理半导体生产制造过程中产生的废气，主要是有毒有害的气体，例如：CF2CL2、SiO4等气体，该气体在处理过后会产生酸液、SiO2粉末等。
[0003]目前，废气处理设备利用新水(自来水)降低设备内部温度，同时降低设备在运行过程中产生的酸液浓度。该方式会消耗大量的自来水，同时产生较高的酸液。因而酸液需要在二次处理，会额外产生很高的二次处理酸液的成本。废气处理设备在运行过程中需要处理主设备的工艺气体，处理后的产物含有大量粉尘，例如：SiO2。SiO2在设备内部积累过多，会导致设备堵塞，从而导致设备异常停机。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种水循环系统、控制方法、装置、控制器及存储介质，用以解决现有技术中设备用水量大、设备运行过程中产生的酸液多、水循环系统易堵塞、二次处理酸液的成本较高的缺陷，实...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种水循环系统，其特征在于，包括：净水池、酸液池、外循环水泵、内循环水泵、第一过滤器、第二过滤器、第一液位计、第一PH传感器、第二液位计、第二PH传感器、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第六阀门、第七阀门和控制器；所述酸液池，其内设置有所述第一液位计和所述第一PH传感器，其进水管道分别与所述第一过滤器的后端和所述第二过滤器的后端相连，且设置有所述第五阀门，其碱液输入管道设置有所述第六阀门，其出水管道与所述内循环水泵的进水口相连；所述净水池，其内设置有所述第二液位计和所述第二PH传感器，其第一进水管道设置有所述第七阀门，其第二进水管道与所述内循环水泵的出水口相连，其第三进水管道分别与所述第一过滤器的后端和所述第二过滤器的后端相连，其第三进水管道设置有所述第四阀门，其出水管道与所述外循环水泵的进水口相连，其第四进水管道用于输送废水；所述第一过滤器的前端和所述第二过滤器的前端分别通过所述第一阀门和所述第二阀门与所述外循环水泵的出水口相连，所述第一过滤器和所述第二过滤器的出口均与排水管道相连，所述排水管道上设置有所述第三阀门；所述控制器用于基于所述第一液位计、所述第一PH传感器、所述第二液位计以及所述第二PH传感器采集的数据，对所述外循环水泵、所述内循环水泵以及各个阀门进行控制，以保持所述净水池和所述酸液池的液位和PH值稳定、以及防止所述水循环系统堵塞。2.根据权利要求1所述的水循环系统，其特征在于，所述水循环系统还包括：第一温度传感器、第二温度传感器和报警器，所述第一温度传感器设置于所述净水池内，所述第二温度传感器设置于所述酸液池内，所述控制器还用于在所述第一温度传感器和/或所述第二温度传感器的采集温度高于第一预设温度时控制所述报警器进行报警，在所述第一温度传感器和/或所述第二温度传感器的采集温度高于第二预设温度时控制所述水循环系统停止工作。3.一种如权利要求1或2所述的水循环系统的控制方法，其特征在于，包括：控制所述第七阀门打开；实时检测所述净水池的液位值和PH值；若所述净水池的液位值高于第一预设液位值，则控制所述外循环泵启动、所述第四阀门打开以及所述第七阀门关闭；若所述净水池的PH值小于等于第一预设PH值，则控制所述第五阀门和所述第六阀门打开以及所述第四阀门关闭；若所述酸液池的液位值高于第二预设液位值，则控制所述第五阀门和所述第六阀门关闭；若所述酸液池的PH值大于等于第二预设PH值，则控制所述内循环水泵开启。4.根据权利要求3所述的水循环系统的控制方法，其特征在于，通过以下步骤调节所述第五阀门和所述第六阀门的开度值：当所述净水池的PH值小于等于所述第一预设PH值时，基于所述酸液池的PH值，采用位置式PID调节法调节所述第五阀门和所述第六阀门的开度值；当所述净水池的PH值大于所述第一预设PH值、且小于等于第二预设PH值时，采用增量式PID调节法调节所述第五阀门的开度值，采用反向线性增量调节法调节所述第六阀门的开度值。
5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：张坤，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。