锆基过氧化氢溶液净化吸附剂及过氧化氢净化方法技术

本申请公开了一种锆基过氧化氢溶液净化吸附剂及过氧化氢净化方法，锆基过氧化氢溶液净化吸附剂的制备方法包括将活性炭分散在去离子水中，得到悬浮液；向悬浮液中加入锆盐，在水热条件下混合反应，得到反应液；将反应液依次过滤、洗涤、干燥。本申请通过将氧化锆复合于具有较大比表面积的活性炭，氧化锆的吸附位点得到有效利用，同时意外发现，复合氧化锆后的活性炭的TOC吸附效果有所提升，氧化锆和活性炭之间的协同效应增强了吸附性能，这使得该吸附剂具有优异的酸根离子及TOC吸附效果，本申请锆基过氧化氢溶液净化吸附剂在过氧化氢溶液中对有机杂质、酸根阴离子和金属离子均有较好的吸附效果，并且吸附前后过氧化氢的分解率不超过1.96％。不超过1.96％。不超过1.96％。

【技术实现步骤摘要】
锆基过氧化氢溶液净化吸附剂及过氧化氢净化方法


[0001]本申请属于吸附材料
，具体涉及一种锆基过氧化氢溶液净化吸附剂及过氧化氢净化方法。

技术介绍

[0002]超纯过氧化氢在电子集成电路生产过程中充当清洗剂、刻蚀剂。超纯过氧化氢通常由工业级过氧化氢制备而成。当下，生产工业级过氧化氢的主流工艺方法是蒽醌法。该法主要包括加氢、氧化、萃取三个步骤，受限于工艺方法，所生产的过氧化氢中杂质种类较多，如：有机物、酸根阴离子、金属阳离子等。为得到电子级过氧化氢，需要对工业级过氧化氢进行后处理以去除相关杂质。
[0003]目前，工业级过氧化氢提纯净化的方法主要有精馏法、膜分离法、吸附法和离子交换。其中，精馏法操作条件苛刻、能耗高，并且需要净化和浓缩预处理。膜分离法仅对金属离子有较好的脱除效果，且因有机膜抗氧化性能差而限制了其应用。吸附法采用活性炭吸附，仅对TOC有较好的脱除效果，对金属阳离子和酸根阳离子脱除效果较差。离子交换法工艺较为成熟，应用普遍，但在用阴离子交换树脂脱除酸根离子以及各种树脂再生时，不可避免地会引起过氧化氢分解，且大孔吸附树脂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锆基过氧化氢溶液净化吸附剂的制备方法，其特征在于，包括：将活性炭分散在去离子水中，得到悬浮液；向所述悬浮液中加入锆盐，调节pH值至9～11，在水热条件下混合反应，得到反应液；将所述反应液依次过滤、洗涤、干燥，得到锆基过氧化氢溶液净化吸附剂。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述活性炭包括椰壳活性炭、药物脱水活性炭、净水活性炭、生物基活性炭、煤基活性炭中的一种或多种组合。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锆盐包括氯化锆、硫酸锆、乙酸锆、正丙醇锆、硅酸锆、氟化锆、丙酸锆、丙烯酸锆中一种或多种组合。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述水热条件为150～180℃。5.一种如权利要求1至4任一所述的制备方法制备得到的锆基过氧化氢溶液净...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱兴宝，刘晓阳，张乾晓，刘兴民，王莅，刘国柱，张香文，
申请(专利权)人：天津大学浙江研究院，
类型：发明
国别省市：