加工装置、显示面板以及显示面板的制造方法制造方法及图纸

一种加工装置、显示面板以及显示面板的制造方法，加工装置包括移动构件、平台以及缓冲垫。移动构件用于移动第一基板。平台用于固定第二基板。缓冲垫设置于移动构件或平台上。缓冲垫的弹性模数小于8.54Mpa。在移动构件移动第一基板时，缓冲垫设置于移动构件与第一基板之间；或在平台固定第二基板时，缓冲垫设置于平台与第二基板之间。平台与第二基板之间。平台与第二基板之间。

【技术实现步骤摘要】
加工装置、显示面板以及显示面板的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种加工装置、显示面板以及显示面板的制造方法。

技术介绍

[0002]微发光二极管显示器(Micro light emitting diode display，micro LED display)为新一代的显示技术，其关键技术在于如何将大量的微型发光二极管接合至像素阵列基板上。许多微发光二极管显示器中的微型发光二极管是利用焊接的方式而与像素阵列基板。具体而言，在生长基板上形成多个微型发光二极管，接着通过巨量转移将微型发光二极管转移至像素阵列基板上，并通过加热而使微型发光二极管的电极焊接至像素阵列基板。然而，在将微型发光二极管的焊接至像素阵列基板时，若设备表面不平整或像素阵列基板表面不平整，可能会导致部分的微型发光二极管没有接触像素阵列基板，进而导致焊接失败。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种加工装置，可以改善第一基板及/或第二基板的表面不平整导致元件接合良率不足的问题。
[0004]本专利技术提供一种显示面板及其制造方法，可以改善第一基板及/本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加工装置，包括：一移动构件，用于移动一第一基板；一平台，用于固定一第二基板；以及一缓冲垫，设置于该移动构件或该平台上，其中该缓冲垫的弹性模数小于8.54Mpa，其中：在该移动构件移动该第一基板时，该缓冲垫设置于该移动构件与该第一基板之间；或在该平台固定该第二基板时，该缓冲垫设置于该平台与该第二基板之间。2.如权利要求1所述的加工装置，其中该缓冲垫包括多个第一孔洞，且该平台包括多个第二孔洞，其中部分该些第二孔洞重叠并连接于该些第一孔洞，且另一部分该些第二孔洞不重叠于该些第一孔洞。3.如权利要求1所述的加工装置，其中该缓冲垫包括多个第一孔洞，且该移动构件包括多个第二孔洞，其中部分该些第二孔洞重叠并连接于该些第一孔洞，且另一部分该些第二孔洞不重叠于该些第一孔洞。4.一种显示面板的制造方法，包括：提供多个发光二极管于一第一基板上；将该第一基板上的该些发光二极管压在一第二基板上，其中一缓冲垫设置于该第一基板或该第二基板中的外侧，且该缓冲垫的弹性模数小于8.54Mpa；以及将该第一基板上的至少部分该些发光二极管转移至该第二基板上。5.如权利要求4所述的显示面板的制造方法，其中将该第一基板上的至少部分该些发光二极管转移至该第二基板上的方法包括：通过激光将该些发光二极管焊接至该第二基板或通过异方性导电胶将该些发光二极管粘接至该第二基板，并使该些发光二极管电性连接至该第二基板。6.如权利要求4所述的显示面板的制造方法，还包括：将该缓冲垫设置于一平台上，其中该缓冲垫包括多个第一孔洞，且该平台包括多个第二孔洞，其中部分该些第二孔洞重叠并连接于该些第一孔洞，且另一部分该些第二孔洞不重叠于该些第一孔洞，其中通过该另一部分该些第二孔洞以真空吸附的方式将该缓冲垫吸附于该平台上；以及将...

【专利技术属性】
技术研发人员：林宗范，赵骏铭，莫尧安，来汉中，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：