一种碳化硅半导体加工设备制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，具体为一种碳化硅半导体加工设备，包括粉碎结构，所述粉碎结构的顶部设有拨料结构，所述粉碎结构的底部设有冲洗结构，所述拨料结构包括两个旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有拉簧，一个所述旋转电机的输出杆的另一端固定连接有凸轮，且外壁活动连接有固定环，所述凸轮一侧的底部活动连接有转轴，所述转轴的顶部固定连接有钢丝绳，所述钢丝绳的中部贯穿有连块，所述连块内活动连接有两个转轮，所述钢丝绳的另一端固定连接有连接块，通过设有拨料结构，能够有效地对其橡胶挡板上所搁置的物料进行清理，使其装置能够更好的对其物料进行碾磨，同时拨料结构采用与粉碎结构相同的动力源进行驱动。进行驱动。进行驱动。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅半导体加工设备


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体为一种碳化硅半导体加工设备。

技术介绍

[0002]碳化硅半导体材料是一种共价键晶体，有闪锌矿型和铅锌矿型两种结晶形式，碳化硅半导体在制备成物体时需要进行加工，而碳化硅半导体在加工过程中需要对其进行破碎处理，以方便碳化硅在后续制作过程中能够进行塑形，使其能够塑造成使用者所需要的形状。
[0003]根据授权公告号为CN215507210U所公开的一种碳化硅半导体加工设备，通过将碳化硅半导体物料进行粉碎再进行碾磨，从而为碳化硅半导体物料碾磨打下良好的基础，有利于碳化硅半导体物料的碾磨作业，且加快了碾磨的速率，并且碾磨后的碳化硅半导体物料大小均匀，从而提高了碾磨的质量，并满足了后期产品生产的质量要求。
[0004]虽然上述申请在一定程度上满足了使用者的使用需求，但在使用过程中仍存在一定的缺陷，具体问题如下：
[0005]在碳化硅进行下料的时候，现有的装置为了使其碳化硅精准的掉落在两个粉碎轮之间，为其下料口加装了一个橡胶挡板，在对其下料位置进行定位的同时，也造成了橡胶挡板上会搁置碳化硅物料，阻挡下料的速率。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种碳化硅半导体加工设备，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅半导体加工设备，包括粉碎结构，所述粉碎结构的顶部设有拨料结构，所述粉碎结构的底部设有冲洗结构，所述拨料结构包括两个旋转电机，一个所述旋转电机的输出杆的另一端固定连接有凸轮，一个旋转电机的输出杆外壁活动连接有固定环，所述凸轮一侧的底部活动连接有转轴，所述转轴的顶部固定连接有钢丝绳，所述钢丝绳的中部贯穿有连块，所述连块内活动连接有两个转轮，所述钢丝绳的另一端固定连接有连接块，所述连接块的一侧固定连接有推板，所述连接块的另一端固定连接有推动杆，所述推动杆的外壁设有弹簧，所述推板的两端均固定连接有连接柱，所述连接柱的另一端也固定连接有推板、连接块和推动杆，另一侧所述推动杆的外壁设有拉簧。
[0008]进一步的，所述冲洗结构包括收集盒，所述收集盒的底部固定连接有导流板，所述导流板的顶部设有放置布，所述粉碎结构外壁的底部开设有流水槽，且流水槽的顶部固定连接有喷头，所述喷头的一侧固定连接有水管，所述水管的另一端固定连接有水泵，所述水泵的外壁设有固定块。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术结构科学合理，使用安全方便：
[0010]1、通过设有拨料结构，能够有效地对其橡胶挡板上所搁置的物料进行清理，使其装置能够更好的对其物料进行碾磨，同时拨料结构采用与粉碎结构相同的动力源进行驱动，为其拨料结构提供动力来源，节省其装置对的能源开支，减少使用者的能源消耗。
[0011]2、通过设有冲洗结构能够帮助使用者在粉碎结构不使用时，对粉碎结构内部进行冲刷清洗，防止粉碎结构内壁粘接有粉尘的问题，加速粉碎结构内部的清理，以确保粉碎结构内部的清洁，防止多次对碳化硅半导体进行粉碎时，导致碳化硅半导体大小不一的物料产生混淆的问题。
附图说明
[0012]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0013]在附图中：
[0014]图1是本技术一种碳化硅半导体加工设备的结构示意图；
[0015]图2是本技术的拨料结构剖视图；
[0016]图3是本技术的冲洗结构示意图；
[0017]图中：1、粉碎结构；2、拨料结构；201、旋转电机；202、拉簧；203、连接块；204、推板；205、连接柱；206、弹簧；207、推动杆；208、钢丝绳；209、转轮；210、连块；211、转轴；212、凸轮；213、固定环；3、冲洗结构；301、收集盒；302、放置布；303、导流板；304、水管；305、水泵；306、固定块；307、喷头。
具体实施方式
[0018]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]实施例：如图1
‑
2所示，本技术提供技术方案，一种碳化硅半导体加工设备，包括粉碎结构1，粉碎结构1的顶部设有拨料结构2，粉碎结构1的底部设有冲洗结构3，拨料结构2包括两个旋转电机201，一个旋转电机201的输出杆的另一端固定连接有凸轮212，一个旋转电机201的输出杆外壁活动连接有固定环213，凸轮212一侧的底部活动连接有转轴211，转轴211的顶部固定连接有钢丝绳208，钢丝绳208的中部贯穿有连块210，连块210内活动连接有两个转轮209，钢丝绳208的另一端固定连接有连接块203，连接块203的一侧固定连接有推板204，连接块203的另一端固定连接有推动杆207，推动杆207的外壁设有弹簧206，推板204的两端均固定连接有连接柱205，连接柱205的另一端也固定连接有推板204、连接块203和推动杆207，另一侧推动杆207的外壁设有拉簧202，通过设有拨料结构2，能够有效地对其橡胶挡板上所搁置的物料进行清理，使其装置能够更好的对其物料进行碾磨，同时拨料结构2采用与粉碎结构1相同的动力源进行驱动，为其拨料结构2提供动力来源，节省其装置对的能源开支，减少使用者的能源消耗。
[0020]参照图3，冲洗结构3包括收集盒301，收集盒301的底部固定连接有导流板303，导流板303的顶部设有放置布302，粉碎结构1外壁的底部开设有流水槽，且流水槽的顶部固定连接有喷头307，喷头307的一侧固定连接有水管304，水管304的另一端固定连接有水泵305，水泵305的外壁设有固定块306，通过设有冲洗结构3能够帮助使用者在进行工作的时
候能对其装置所碾碎的碳化硅粉尘进行沉淀，防止粉尘由于装置运转所产生的震动飞出，防止粉尘造成危害使用者的身体及健康。
[0021]参照图2，一个转轮209的安装方向为横向安装，另一个安装方向为纵向安装，通过上述的连接关系与配合，能够帮助钢丝绳208改变用力方向，驱动装置运行。
[0022]参照图2，固定环213的中部开设有圆孔，且圆孔尺寸与旋转电机201输出轴直径相适配，固定环213的一侧设有四个贯穿固定环213与粉碎结构1螺纹连接的螺栓，通过上述的连接关系与配合，能够帮助装置更好的运行。
[0023]参照图3，导流板303的长宽尺寸与收集盒301内壁长宽尺寸相适配，放置布302长宽尺寸与收集盒301内壁长宽尺寸相适配，通过上述的连接关系与配合，能够帮助更好的对其橡胶挡板清理。
[0024]参照图1
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3，旋转电机201与水泵305的输入端均与外部电源输出端相连接，通过上述的连接关系与配合，能够为其装置提供动力来源。
[0025]本技术的工作原理及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅半导体加工设备，包括粉碎结构(1)，其特征在于：所述粉碎结构(1)的顶部设有拨料结构(2)，所述粉碎结构(1)的底部设有冲洗结构(3)，所述拨料结构(2)包括两个旋转电机(201)，一个所述旋转电机(201)的输出杆的另一端固定连接有凸轮(212)，一个所述旋转电机(201)的输出杆外壁活动连接有固定环(213)，所述凸轮(212)一侧的底部活动连接有转轴(211)，所述转轴(211)的顶部固定连接有钢丝绳(208)，所述钢丝绳(208)的中部贯穿有连块(210)，所述连块(210)内活动连接有两个转轮(209)，所述钢丝绳(208)的另一端固定连接有连接块(203)，所述连接块(203)的一侧固定连接有推板(204)，所述连接块(203)的另一端固定连接有推动杆(207)，所述推动杆(207)的外壁设有弹簧(206)，所述推板(204)的两端均固定连接有连接柱(205)，所述连接柱(205)的另一端也固定连接有推板(204)、连接块(203)和推动杆(207)，另一侧所述推动杆(207)的外壁设有拉簧(202)。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：石铁宾，
申请(专利权)人：正芯半导体技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：